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NIPPON MUKI 전용관

NIPPON MUKI

34종 제품

NIPPON MUKI(니폰무키, NIPPON MUKI Co., Ltd.)는 일본의 고성능 에어필터 전문 제조사입니다. 제품군은 HEPA(H13/H14), ULPA(U15/U16/U17), 내열 필터(150°C~500°C), 저붕소·저유기물 반도체급 필터, 케미컬 필터, 프리필터와 미디엄 필터를 아우르며 반도체 웨이퍼 공장, 디스플레이 패널 공장, 제약 GMP 공장, 리튬전지 드라이룸 등 고청정 현장에 폭넓게 적용됩니다.

주요 제품 시리즈는 다음과 같습니다. ATMOS 시리즈(ATML/ATMC/ATMPK)는 표준형 HEPA/ULPA로 일반 클린룸 천장과 FFU에 적합합니다. HEATMOS 시리즈(ATMCH/ATMCU/ATMV/ATMWC)는 250°C~500°C 내열 요구를 아우르며 유리섬유 또는 석영섬유 여재에 스테인리스 프레임을 조합합니다. Nouvelle 시리즈(TGML/TGMC/TGMML)는 유기물 휘발과 붕소 방출이 적은 것이 특징으로 선단 반도체 공정(≤7nm)을 겨냥해 설계되었습니다. PureChemix 시리즈(ACGM)와 Iochemix 시리즈(ECSL)는 각각 VOC 흡착과 이온교환 제산에 사용됩니다.

NIPPON MUKI 필터는 전 품목 일본 생산, 엄격한 출하 전수 검사(매 장 DOP / PAO 스캔), 안정적인 품질 일관성으로 정평이 나 있으며 ISO 14644-1 Class 1~Class 5 청정 등급의 검수 기준을 충족합니다.

활성탄 케미컬 필터

미디엄 필터

내열 HEPA

표준 HEPA

표준 ULPA

프리필터

자주 묻는 질문

NIPPON MUKI HEPA 필터는 일반 HEPA와 무엇이 다릅니까?
NIPPON MUKI(니폰무키)의 HEPA/ULPA 필터는 전 품목 일본 생산이 특징이며, 출하 전 한 장씩 개별 DOP/PAO 스캔 검사를 거쳐 검사 성적서를 첨부하므로 품질 일관성이 확보됩니다. 여재 면에서 ATMOS 시리즈는 초극세 유리섬유 여과지를 사용하고 저압손 설계로 FFU 소비 전력을 낮춥니다. Nouvelle 시리즈는 한 걸음 더 나아가 유기물 휘발량 ≤5 μg/m³, 붕소 방출량 ≤1 ng/m³ 수준을 달성하여 7nm 이하 선단 반도체 공정의 엄격한 AMC 요구에 적합합니다.
NIPPON MUKI 내열 필터는 최고 몇 도까지 견디며 어떤 공정에 적합합니까?
NIPPON MUKI HEATMOS 시리즈 내열 필터는 형번에 따라 온도 범위가 나뉩니다. ATMCH(250°C), ATMCU(350°C), ATMV/ATMVC(350°C 대풍량), ATMWC(500°C)입니다. 여재는 유리섬유에서 석영섬유까지 단계적으로 올라가고 프레임은 모두 스테인리스를 씁니다. 대표적인 용도는 반도체 확산로 배기, 리튬전지 드라이룸, 세라믹 소결로 흡기, 고온 오븐 배기 여과 등 고온 환경에서 청정 공기를 유지해야 하는 현장입니다.
Nouvelle 저붕소·저유기물 필터는 표준 HEPA와 어디가 다릅니까? 반도체에서 왜 이것을 씁니까?
Nouvelle 시리즈(TGML/TGMC/TGMML)는 특수 배합 여과지와 처리를 거친 실링재를 사용하여 유기물 휘발량과 붕소 방출량을 극히 낮은 수준으로 억제합니다. 7nm 이하 선단 공정에서는 붕소(Boron)가 소자의 도핑 편차를 일으키고 유기물이 웨이퍼 표면에 분자 수준의 오염을 형성하여 둘 다 수율 손실로 이어질 수 있습니다. 그래서 EUV 리소그래피 구역, CVD/ALD 흡기 단 같은 핵심 공정에는 저붕소·저유기물 등급의 HEPA/ULPA 필터를 써야 합니다.

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