Nouvelle TGMML 저유기물·저붕소 ULPA 필터

제품 개요

TGMML은 저유기물과 저붕소(Low-Organic / Low-Boron)를 동시에 만족하는 Mini-pleats형 ULPA 필터로 효율은 0.1 μm 기준 99.9995%입니다. 필터 본체의 유기물과 붕소 방출량을 함께 제어하여 반도체 선단 공정과 포토레지스트 민감 구역을 위한 최고 등급 ULPA입니다. 주요 특징 ・ULPA 효율 99.9995% @ 0.1 μm ・저유기물과 저붕소를 동시에 충족 ・Mini-pleats 구조(저압손) ・14nm 이하 AMC 민감 구역 표준 사양 적용 산업: 의료, 제약, 전자

주요 규격

여과 효율: 99.9995%@0.1μm
정격 풍량: 2 – 39.5 CMM (120 – 2370 CMH)
초기 압력손실: 118 – 147 Pa
표준 치수: W 305–1500 × H 305–915 × D 65–98 mm

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규격 총표

여과 효율: 99.9995%@0.1μm
정격 풍량: 2 – 39.5 CMM (120 – 2370 CMH)
초기 압력손실: 118 – 147 Pa
표준 치수: W 305–1500 × H 305–915 × D 65–98 mm

모델 대조표

번호	모델	여과 효율	W (mm)	H (mm)	D (mm)	풍량 (CMM)	풍량 (CMH)	초기 압력손실 (Pa)
1	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	305	305	65	2.0	120	147
2	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	305	610	65	4.5	270	147
3	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	457	457	65	5.0	300	147
4	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	610	610	65	10.0	598	147
5	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	762	610	65	12.5	750	147
6	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	915	610	65	15.0	900	147
7	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	1220	610	65	20.5	1230	147
8	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	1500	915	65	39.0	2340	147
9	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	305	305	98	2.0	120	118
10	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	305	610	98	4.5	270	118
11	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	457	457	98	5.5	328	118
12	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	610	610	98	10.0	600	118
13	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	762	610	98	12.5	750	118
14	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	915	610	98	15.5	930	118
15	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	1500	915	98	39.5	2370	118

상세 설명

TGMML은 반도체 공장이 가장 신경 쓰는 두 가지 AMC(카바메이트계 유기물, 붕소)를 함께 해결합니다. 리소그래피 장비 주변, 포토레지스트 코팅 구역처럼 유기물과 붕소 모두에 민감한 환경에 적합합니다.

재질과 구조

항목	사양
프레임	ALUMINUM
여재	GLASS PAPER
최고 사용 온도	60°C
상대 습도	60%RH
세퍼레이터	HOT MELT ADHESIVE
개스킷	EPDM
토출측 보호망	-
흡입측 보호망	-
실링재	POLYURETHANE RESIN
최대 풍량	Can be calculated on request
최대 최종 압력손실	294