Nouvelle TGMML 저유기물·저붕소 ULPA 필터

제품 개요

TGMML은 저유기물과 저붕소(Low-Organic / Low-Boron)를 동시에 만족하는 Mini-pleats형 ULPA 필터로 효율은 0.1 μm 기준 99.9995%입니다. 필터 본체의 유기물과 붕소 방출량을 함께 제어하여 반도체 선단 공정과 포토레지스트 민감 구역을 위한 최고 등급 ULPA입니다. 주요 특징 ・ULPA 효율 99.9995% @ 0.1 μm ・저유기물과 저붕소를 동시에 충족 ・Mini-pleats 구조(저압손) ・14nm 이하 AMC 민감 구역 표준 사양 적용 산업: 의료, 제약, 전자

제품 특성

No.	Model	Efficiency	W (mm)	H (mm)	D (mm)	Airflow (CMM)	Airflow (CMH)	Initial PD (Pa)
1	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	305	305	65	2.0	120	147
2	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	305	610	65	4.5	270	147
3	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	457	457	65	5.0	300	147
4	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	610	610	65	10.0	598	147
5	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	762	610	65	12.5	750	147
6	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	915	610	65	15.0	900	147
7	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	1220	610	65	20.5	1230	147
8	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	1500	915	65	39.0	2340	147
9	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	305	305	98	2.0	120	118
10	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	305	610	98	4.5	270	118
11	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	457	457	98	5.5	328	118
12	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	610	610	98	10.0	600	118
13	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	762	610	98	12.5	750	118
14	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	915	610	98	15.5	930	118
15	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	1500	915	98	39.5	2370	118

견적 문의

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Email：sales@baisheng-tech.com

전화：+886-2-2598-1958

상세 설명

TGMML addresses both of the AMCs that matter most in semiconductor fabs: organics (amines, carbamates) and boron. Used in lithography bays and photoresist coating/developing areas sensitive to both contaminant classes.

Materials & Construction

Property	Specification
Filter frame	ALUMINUM
Media	GLASS PAPER
Max. temperature	60°C
Relative humidity	60%RH
Separator	HOT MELT ADHESIVE
Gasket	EPDM
Grille (downstream)	-
Grille (upstream)	-
Sealant	POLYURETHANE RESIN
Max airflow	Can be calculated on request
Max final PD (Pa)	294