HEPA 고성능 필터 기술 완벽 가이드

HEPA 최고 등급 H14는 0.1–0.3μm 입자를 99.995% 여과하고, ULPA U15는 99.9995%로 투과율이 10배 차이 납니다. 그러나 ULPA는 압력손실이 HEPA보다 약 27% 높아 에너지 소비와 필터 교체 비용도 커집니다. 반도체 리소그래피 구역, 초고등급 실험실이라야 ULPA로 올릴 가치가 있고, 일반 공정은 H14로 충분합니다.

공장 내 선정은 ISO 14644 등급에 따라 결정합니다. Class 5(FED 100)는 H14, Class 6–7은 H13, Class 8은 H12면 충분합니다. 실측은 PAO 또는 DOP 스캔 시험으로, 현장에서 필터 토출면을 지점별로 스캔하여 어느 한 지점이라도 투과율이 0.01%를 넘으면 누설로 판정합니다.

가정용에 표시된 99%는 보통 0.3μm 기준 HEPA 10–11 등급이지만, 웨이퍼 팹이 신경 쓰는 것은 0.1μm 이하 입자입니다(선폭 결함과 수율 저하의 원인). 반도체는 외기 AHU 프리필터 → MAU 미디엄 → FFU 말단 HEPA/ULPA의 3중 방어선을 채택하며 각 단계가 서로 다른 입경을 맡습니다.

일반 HEPA는 유리섬유 여재에 PU 또는 실리콘 실런트를 쓰는데, 70°C 이상이면 실런트가 연화되어 가스를 방출합니다. 확산로, LPCVD 등 350°C 환경에는 세라믹 섬유 여재와 무기 접착제를 쓴 특수 내열 HEPA가 필요하며 350–500°C에서 연속 운전이 가능합니다.

시간은 주요 지표가 아니며 세 가지 트리거 중 하나를 봅니다. ① 차압이 초기 압력손실의 2배 도달 ② PAO 스캔 시험에서 누설점 발견 ③ 외관 또는 냄새 이상. 클린룸의 일반적 수명은 2–4년, 가전은 약 12개월이지만 실제 편차는 3배 이상 날 수 있습니다.

ISO Class 1–9는 등급마다 입자 농도가 10배씩 차이 나며, Class 1(m³당 ≥0.1μm 입자 10개 미만)부터 Class 9(일반 사무실 수준)까지입니다. 대응 필터는 Class 5 이상은 반드시 H14+FFU, Class 7–8은 H13, Class 9는 H11–H12면 충분합니다.