HEPA高効率フィルター技術ガイド

HEPA 最上位の H14 は 0.1–0.3 µm 粒子を 99.995% 捕集、ULPA U15 では 99.9995% と透過率で 10 倍の差があります。ただし ULPA は圧損が HEPA より約 27% 高く、エネルギー・交換コストも増加。半導体リソグラフィや超高清浄ラボ以外は、H14 で十分です。

ISO 14644 クラスで決めます。Class 5（FED 100）は H14、Class 6–7 は H13、Class 8 は H12 で足ります。検証は PAO または DOP スキャンテストで、濾材面を点走査し、いずれかの点で透過率が 0.01% を超えると漏れと判定します。

家庭用の「99%」は通常 0.3 µm 基準の HEPA 10–11 相当。ウェハー工場では 0.1 µm 以下の粒子（線幅欠陥と歩留まり低下の原因）が問題です。ファブは三段防衛——外気 AHU プレ → MAU 中性能 → FFU 終段 HEPA/ULPA——で粒径ごとに対策しています。

通常の HEPA はガラス繊維濾材に PU またはシリコンシールを使用、70°C を超えるとシール材が軟化してアウトガスします。拡散炉や LPCVD などの 350°C 環境では、セラミック繊維濾材＋無機接着剤の耐熱 HEPA（350–500°C 連続運転対応）が必要です。

時間だけでは不十分。次のいずれか 1 つが発生したら交換：① 差圧が初期値の 2 倍に到達 ② PAO スキャンで漏れ検出 ③ 外観・臭気の異常。クリーンルーム用で 2–4 年、家電用で約 12 ヶ月が目安ですが、実寿命は 3 倍以上変動します。

ISO Class 1–9 は各級で粒子濃度が 10 倍変化し、Class 1（1 m³ あたり ≥0.1 µm 粒子 10 個未満）から Class 9（一般オフィス相当）まで。対応：Class 5 以上は H14+FFU 必須、Class 7–8 は H13、Class 9 は H11–H12 で対応可。