クリーンルーム設備

クリーンルーム設備は完全な清浄環境に必要な周辺構成要素を網羅し、エアシャワー（Air Shower）、パスボックス（Pass Box、VHP 滅菌タイプ含む）、FFU ファンフィルターユニット（Fan Filter Unit）モジュール式クリーンルーム、クリーンベンチおよびクリーンブース（Clean Booth）を含みます。包括的な清浄度管理には高速気流浄化（≥25 m/s）、人員の入退室浄化、物品移送の隔離およびローカル作業ゾーンの清浄化を統合する必要があり、フィルターの購入のみでシステム的な目標を達成することはできません。

主な設備カテゴリー：エアシャワー（Air Shower）は高速清浄気流（≥25 m/s）で人員の衣服に付着した粒子を除去します。パスボックス（Pass Box）は標準型、自己清浄型、インフレートシール型に分類され、物品移送のリスクレベルに応じて選択します。FFU モジュール式クリーンルームは FFU アレイに支持フレーム、壁パネル、ドアを組み合わせて拡張可能な清浄空間を構築します。クリーンベンチ（Clean Bench）は水平流型と垂直流型に分かれローカル清浄作業ゾーンを提供します。

主な適用場所：半導体クリーンルームの入口管理、バイオテク研究開発 GMP ゾーン、病院薬剤調製室、食品無菌包装、PCB 組立清浄エリア。

その他の周辺設備として、次のものがあります。高性能吹出口（ゲルシール型を含む）は中央空調システムの天井末端ろ過として使用します。FFU 集中制御システムは多数の FFU のゾーン別の起動・停止と風速調整を一括管理します。リリーフダンパーは圧力が設定値を超えると自動で開き、各エリアの差圧を維持します。エアフィルター固定フレームはダクトや天井内で HEPA／ULPA を位置決めし密封します。窒素キャビネットと防湿庫は湿気や酸化に弱い電子部品やウェーハを保管します。ステンレス製ドラフトチャンバーは実験作業で発生する有害ガスを排出します。自動手洗い乾燥一体機は更衣エリアの入口に設置し、非接触で手洗いと乾燥を行います。