ガス精製装置 — 半導体グレード超高純度精製システム
Gas Purifiers
ガス精製装置は、工業グレードのガスを半導体プロセスに必要な超高純度まで引き上げる装置です。5N（99.999%）表示の窒素・水素・アルゴン・酸素であっても ppm レベルの H₂O、O₂、CO、CO₂、CH₄、NMHC が残留し、エピタキシャル成長・エッチング・成膜工程で膜欠陥、界面酸化、歩留まり低下を引き起こします。使用点または工場供給ヘッダーに設置し、吸着・触媒変換・ゲッター技術により ppb ないし ppt レベルまで低減します。
製品は三種類：常温 POU インライン型（5～4000 SLPM、加熱・再生ガス不要、18/24 MPa の高圧仕様あり）、小流量加熱ゲッター型（0.2～150 LPM、CH₄ と N₂ も除去可能、ゲッター筒は現場交換可）、大流量全自動型（10～50000 Nm³/h、複数吸着塔の並列構成で常温精製と高温再生を交互運転、PLC 制御により 24 時間連続供給）。
ガス種ごとに対応機種をご用意しています。窒素（CH₄ 除去用の触媒型を含む）、水素（吸着式・ゲッター式・複合式の 3 方式に加え、CH₄・N₂・Ar を深度除去できる液体窒素深冷型）、酸素、希ガス（Ar、He、Kr、Ne、Xe）、アンモニア、二酸化炭素（超臨界 CO₂ 専用型を含む）、XCDA クリーンドライエア、最高使用圧力 240 Bar の高圧型、臨時供給・予備機に適した大流量常温型。POU シリーズは HCl、Cl₂、BF₃、SiHCl₃、GeH₄、H₂S、AsH₃、PH₃ など三十種類以上の特殊ガスにも対応します。
代表的な用途：300 mm ウェーハファブのプロセスガス供給、ディスプレイ・LED エピタキシャル用ガス、リチウム電池ドライルームの不活性ガス、光ファイバー母材プロセス、分析装置のキャリアガス。選定にあたってはガス種、最大流量と平均流量、ガス源品質、精製後の品質要件、使用環境と用ガス特性をご確認ください。
純化器の選び方：型番コード・選定情報・シリーズ比較
型番そのものに仕様が書かれています。コードの読み方が分かれば、シリーズ・方式・流量・オプションが型番から直接読み取れます。逆に、以下の六項目を揃えていただければ、機種選定は一度で決まります。
型番コードの構成
BS-P-G-500-N-HV を例にすると、左から会社略称・シリーズ・方式・流量・ガス種・オプションの六欄です。
LPM は L/min、CMH は Nm³/h を表します。S シリーズの実際の構成は各機種ページをご覧ください。
選定に必要な六項目
この六項目が吸着材の配合・筒体サイズ・システム構成を決めます。一つでも欠けると、見積も選定も仮定値での推定になります。
設備の吸着材は特定のガス向けに構成されており、ガス種の任意変更はできません
最大流量が設備サイズを、平均流量が消耗品寿命を決めるため、両方必要です
ppb レベルと ppt レベルでは工程ルートも検収方法も全く異なります
入口不純物濃度が吸着床の負荷と再生頻度を直接決めます
連続供給か間欠か、停止の可否、設置スペースとユーティリティ条件
継手形式、圧力等級、材質制限、防爆区分など
P／H／S 三シリーズの見分け方
まず流量帯を見て、次に CH₄ と N₂ の除去要否、そして停止の可否 —— この三つで一つのシリーズに絞り込めます。
| シリーズ | 流量範囲 | 選ぶ条件 | 技術ポイント |
|---|---|---|---|
| P シリーズ（POU 常温型） | 5～4000 LPM | 流量が小さく、自動再生も CH₄ 除去も不要な場合 | 常温常圧の触媒吸着。小型・低コスト・設置容易で、返却再生が可能 |
| H シリーズ（加熱型） | 0.2～150 LPM | 流量は小さいが、CH₄ または N₂ の除去が必要な場合 | 合金ゲッターを高温で使用。常温吸着より除去深度が高く、ゲッターは現場交換 |
| S シリーズ（全自動型） | 10～50000 CMH | 流量が大きく、全自動運転で 24 時間連続供給が必要な場合 | 吸着塔が自動切替・再生。PLC 制御と安全インターロック、使用寿命 20 年以上 |
シリーズは決まったが型番が分からない、あるいはガス分析報告書しか手元にない —— そのような場合も、上記六項目をお送りいただければ型番をご提案します。
よくあるご質問
すでに 5N の高純度ガスなのに、なぜ精製装置が必要なのですか？
常温 POU 型・加熱型・全自動型はどのように選べばよいですか？
吸着式（ADS）・ゲッター式（GET）・触媒式（CAT）の違いは何ですか？
吸着剤が飽和したらどう処理しますか？頻度はどのくらいですか？
なぜ N₂ は不活性ガス精製で最も処理が難しい不純物なのですか？
精製装置の選定にはどのような情報が必要ですか？
型番の英数字はそれぞれ何を表していますか？
精製後の純度はどのように検証しますか？
カスタムフィルターが必要ですか？
特殊サイズ、特定効率、特殊素材など、お客様のご要望に合わせてオーダーメイドで製造いたします。お気軽にお問い合わせください。