クリーンルーム用ステンレス・耐薬品機器

クリーンルーム用ステンレス・耐薬品機器は、清浄区域とウェットプロセスの現場で使う三つのグループで構成されます。ステンレス作業台・台車・棚・保管庫、PP ドラフトチャンバー・薬品保管庫・洗浄機、そして各種材質の実験台です。一般の清浄区域には清掃しやすく衝撃に強いステンレスを、フッ化水素酸、塩酸、硝酸に触れる場所にはステンレスの腐食貫通を避けるため PP を選びます。

クリーンルーム用ステンレス設備は、清浄区域で使用するキャビネット、作業台、台車、ラックなどで、ステンレスの全溶接で製作し、表面を研磨して死角をなくしているため、発塵も堆塵もせず、繰り返し拭き取り消毒できます。

製品には、クリーンルーム作業台とパソコンラック、棚、ステンレス保管庫、クリーンルーム台車、ボンベ台車とボンベ固定架台、ステンレス製緊急シャワー・洗眼器、および現場寸法に合わせて製作する非標準ステンレス製品があります。設計上のポイントは、接合部に開放管端や清掃しにくい隙間を残さないことです。棚はパンチング板またはワイヤーメッシュの棚板で気流を通し、棚板の下にほこりがたまる死角を作らないようにしています。台車には低発塵の専用キャスターを採用しています。

PP 耐食設備はポリプロピレン（PP）板をシームレス溶接して成形したもので、酸ミストにさらされる金属部品がありません。フッ化水素酸、塩酸、硝酸など、ステンレスを短期間で腐食させ穴をあけてしまうウェットプロセス環境で使用され、洗浄液に金属イオンを持ち込んでワークを汚染することもありません。

製品には、PP ドラフトチャンバー（卓上型・床置型）、PP 耐酸アルカリ薬品保管庫、CDS 薬液供給システム、シリコンウェーハのエッチング洗浄機と PP 単台式手動洗浄機、PP 棚／作業台／洗浄バスケット、PP 耐酸アルカリ台車と炉管・石英台車、さらに炉管・石英保管庫と PP 窒素キャビネットがあります。設備の寸法、槽、構成はプロセスやワークに合わせて製作できます。

実験台は材質により、スチール木製、オールスチール、ステンレス、PP の四種類に分かれ、実験室で使用する薬品、洗浄・消毒の要件、予算に応じて選択します。

スチール木製実験台は鋼製フレームで荷重を支え、木製キャビネットで収納する最も一般的な構成です。オールスチール実験台は木製部品がなく、湿気による膨張の心配がありません。ステンレス実験台は表面が汚れを吸着せず繰り返し消毒できるため、無菌操作や生物・食品検査に適しています。PP 実験台は強酸・強アルカリに耐える PP 板を溶接して一体成形したもので、腐食性薬品や金属イオンに敏感な微量分析に適しています。スチール木製・オールスチール実験台の鋼製部品は 7 工程の前処理を経てエポキシ樹脂粉体塗装を施します。ステンレスと PP の実験台は材料そのものが耐食性を持つため、塗装は不要です。天板はソリッド理化学天板（フェノール樹脂）、エポキシ樹脂、セラミック、ステンレス、PP から選択できます。

代表的な用途：半導体、光電、太陽電池、製薬、食品工場の清浄区域における作業と物品搬送、ウェットプロセスと薬液供給、そして学校・病院・品質管理の実験室。寸法と構成は現場に合わせて製作できます。お見積りの際は寸法、数量、接触する薬品をお知らせください。