活性炭ケミカルフィルター

活性炭フィルター（化学フィルターとも呼ばれる、英語 Activated Carbon Filter / Chemical Filter）は通常の粒子フィルターでは処理できないガス状汚染物を対象とし、分子レベルの吸着および化学反応除去メカニズムを提供します。化学フィルターの処理対象は揮発性有機化合物（VOC、トルエン、ホルムアルデヒド）、酸性ガス（HCl、SO₂、H₂S、NOₓ、HF）、アルカリ性ガス（NH₃、アミン類）、オゾンおよび悪臭分子です。

ろ材構造は三種類に分類されます。ハニカム型（Honeycomb）はハニカム基材に活性炭を含浸させ、圧力損失が低く高風量システムに適します。顆粒充填型（Granular Bed）は活性炭顆粒をハウジングに充填し、吸着容量が大きく高濃度用途に適します。化学含浸型（Chemical Impregnated）は特定の酸アルカリガスを化学結合で除去します。フレーム設計は V-Bank（4V / 6V マルチ V 字型）低圧損構造、深プリーツ高負荷構造、パネル平板型を取り揃え、クリーンルーム風路位置により MAU（Make-Up Air、外気導入段）と RC（Recirculation、循環風段）の二大用途に分類されます。選定の重要点は目標汚染物の種類と濃度、炭素含有量、吸着容量および破過曲線です。

主な適用場所：半導体フォトリソグラフィーエリアの AMC（浮遊分子汚染）制御、化学実験室ドラフトチャンバー排気、製薬工場の溶剤ガス処理、病院の病理検査部門、下水処理場の臭気制御、印刷・塗装工場の排気前処理。