活性碳化學濾網
Activated Carbon Chemical Filters
活性碳濾網（又稱化學濾網，英文 Activated Carbon Filter / Chemical Filter）針對一般微粒濾網無法處理之氣態污染物，提供分子層級的吸附與化學反應去除機制。化學濾網處理標的涵蓋揮發性有機化合物（VOC、甲苯、甲醛）、酸性氣體（HCl、SO₂、H₂S、NOₓ、HF）、鹼性氣體（NH₃、胺類）、臭氧及惡臭分子。
濾材結構分為三類：蜂巢型（Honeycomb）以活性碳含浸於蜂窩基材，壓損低、適用高風量系統；顆粒填充型（Granular Bed）以活性碳顆粒填充於框體，吸附容量高、適用高濃度場景；含浸化學濾材（Chemical Impregnated）針對特定酸鹼氣體進行化學鍵結去除。框型設計涵蓋 V-Bank（4V / 6V 多 V 字型）低壓損結構、深褶式高負荷結構、Panel 平板型，並依無塵室風路位置區分為 MAU（Make-Up Air 外氣引入段）與 RC（Recirculation 回風循環段）兩大應用類型。選型關鍵在於目標污染物種類與濃度、碳含量、吸附容量及穿透曲線。
典型應用場域：半導體黃光區 AMC（Airborne Molecular Contamination）控制、化學實驗室抽氣櫃、藥廠溶劑氣體處理、醫院病理科、污水處理廠惡臭控制、印刷與塗裝廠廢氣前處理。
半導體先進製程（7nm 以下）對 AMC 的控制要求已從 ppm 級提升至 ppb 級甚至 sub-ppb [需查證]。化學濾網的效能評估關鍵在於穿透曲線（Breakthrough Curve）：當下游濃度超過製程容許值時即為濾網壽命終點。影響穿透時間的因素包括入口濃度、面風速、碳填充量及環境溫濕度。定期進行採樣分析或搭配即時 AMC 監測系統，能精準掌握更換時機，避免因濾網失效導致的製程良率損失。
