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日本無機專區
NIPPON MUKI
34款產品
日本無機株式會社（NIPPON MUKI Co., Ltd.）為日本高效空氣濾網專業製造商，產品線涵蓋 HEPA（H13/H14）、ULPA（U15/U16/U17）、耐高溫濾網（150°C～500°C）、低硼低有機物半導體級濾網、化學濾網及初效中效濾網，廣泛應用於半導體晶圓廠、面板廠、製藥 GMP 廠房、鋰電池乾燥房等高潔淨度場域。
主要產品系列：ATMOS 系列（ATML/ATMC/ATMPK）為標準型 HEPA/ULPA，適用一般無塵室天花板與 FFU；HEATMOS 系列（ATMCH/ATMCU/ATMV/ATMWC）覆蓋 250°C～500°C 耐高溫需求，採玻璃纖維或石英纖維濾材搭配不鏽鋼框架；Nouvelle 系列（TGML/TGMC/TGMML）以低有機物揮發、低硼釋出為特色，專為先進半導體製程（≤7nm）設計；PureChemix 系列（ACGM）與 Iochemix 系列（ECSL）分別用於 VOC 吸附與離子交換除酸。
日本無機濾網以全品項日本製造、嚴格的出廠全檢（每片 DOP / PAO 掃描）、穩定的品質一致性著稱，能滿足 ISO 14644-1 Class 1～Class 5 潔淨等級驗收標準。
耐高溫 HEPA
ASTCE 150°C 耐高溫大風量中效濾網
ASTCH 250°C 耐高溫中效濾網
ATMCE 150°C 耐高溫大風量 HEPA 濾網
ATMCH 250°C 耐高溫大風量 HEPA 濾網
ATMCH-SL 250°C 無矽耐高溫大風量 HEPA 濾網
ATMCU 350°C 耐高溫 HEPA 濾網
ATMMC 120°C 耐高溫 ULPA 濾網
ATMV/ATMVC 350°C 耐高溫 HEPA 濾網
ATMWC 500°C 耐高溫 HEPA 濾網
CKR 450°C 耐高溫初效濾網
DSH 180/240°C 耐高溫初效濾網
GCV 350°C 耐高溫 Semi-HEPA 濾網
GCW 500°C 耐高溫 Semi-HEPA 濾網
H14CH/H13CH 符合 EN 標準 250°C HEPA 濾網
HEATMOS H14CU/H13CU 符合 EN 標準 350°C HEPA 濾網
MMTC 110°C 耐高溫 ULPA 濾網
標準 HEPA
標準 ULPA
常見問題
日本無機 HEPA 濾網跟一般 HEPA 有什麼差別？
日本無機（NIPPON MUKI）的 HEPA/ULPA 濾網以全品項日本製造為特色，每片出廠前均經過個別 DOP/PAO 掃描檢測並附帶檢測報告，確保品質一致性。在濾材方面，ATMOS 系列採用超細玻璃纖維濾紙，低壓損設計可降低 FFU 能耗；Nouvelle 系列進一步達到低有機物揮發（≤5 μg/m³）與低硼釋出（≤1 ng/m³），適合 7nm 以下先進半導體製程對 AMC 的嚴格要求。
日本無機耐高溫濾網最高可耐幾度？適用哪些製程？
日本無機 HEATMOS 系列耐高溫濾網依型號覆蓋不同溫度範圍：ATMCH（250°C）、ATMCU（350°C）、ATMV/ATMVC（350°C 大風量）、ATMWC（500°C）。濾材從玻璃纖維逐步升級到石英纖維，框架一律採用不鏽鋼。典型應用包括半導體擴散爐排氣、鋰電池乾燥房、陶瓷燒結爐進氣、高溫烘箱排氣過濾等需要在高溫環境下維持潔淨空氣的場域。
Nouvelle 低硼低有機物濾網跟標準 HEPA 差在哪？為什麼半導體要用？
Nouvelle 系列（TGML/TGMC/TGMML）使用特殊配方濾紙與經處理的密封材料，將有機物揮發量與硼釋出量控制在極低水準。在 7nm 以下先進製程中，硼（Boron）會造成元件摻雜偏移、有機物會在晶圓表面形成分子級污染，兩者均可能導致良率損失。因此 EUV 光刻區、CVD/ALD 進氣段等關鍵製程需採用低硼低有機物等級的 HEPA/ULPA 濾網。