Nouvelle TGML 低有機物/低硼 HEPA 濾網 - 日本無機專區 | 佰聖科技
編號NM-TGML日本無機專區標準 HEPA
日本無機專區

Nouvelle TGML 低有機物/低硼 HEPA 濾網

產品概述

TGML 為同時低有機物+低硼的 Mini-pleats 型 HEPA 濾網,效率 99.99% @ 0.3 μm。同時解決 Mini-pleats 的低壓損優勢與兩類 AMC 污染,為 14nm 以下製程 FFU 的最高等級。 主要特色 ・同時低有機物+低硼 ・HEPA 效率 99.99% @ 0.3 μm ・Mini-pleats 結構(低壓損) ・先進製程 FFU 最高等級 適用產業:醫療、製藥、電子

產品特性

編號型號過濾效率W (mm)H (mm)D (mm)風量 (CMM)風量 (CMH)初期壓損 (Pa)
1TGML-10-E2599.99%@0.3μm6106105010.0598127
2TGML-20-E2599.99%@0.3μm12206105020.51232127
3TGML-Z-E4199.99%@0.3μm305305652.012098
4TGML-Z-E4199.99%@0.3μm457457655.030098
5TGML-Z-E4199.99%@0.3μm305610654.527098
6TGML-10-E4199.99%@0.3μm6106106510.060098
7TGML-Z-E4199.99%@0.3μm7626106512.575098
8TGML-Z-E4199.99%@0.3μm9156106515.090098
9TGML-20-E4199.99%@0.3μm12206106520.5123098
10TGML-Z-E4199.99%@0.3μm15009156539.0234098
11TGML-Z-E2399.99%@0.3μm305305752.012088
12TGML-Z-E2399.99%@0.3μm457457755.030088
13TGML-Z-E2399.99%@0.3μm305610754.527088
14TGML-10-E2399.99%@0.3μm6106107510.060088
15TGML-Z-E2399.99%@0.3μm7626107512.575088
16TGML-Z-E2399.99%@0.3μm9156107515.090088
17TGML-20-E2399.99%@0.3μm12206107520.5123088
18TGML-Z-E2399.99%@0.3μm15009157539.0234088
19TGML-Z-E3899.99%@0.3μm305305982.012084
20TGML-Z-E3899.99%@0.3μm457457985.030084
21TGML-Z-E3899.99%@0.3μm508508986.539084
22TGML-Z-E3899.99%@0.3μm305610984.527084
23TGML-10-E3899.99%@0.3μm6106109810.060084
24TGML-Z-E3899.99%@0.3μm7626109812.575084
25TGML-Z-E3899.99%@0.3μm9156109815.593084
26TGML-Z-E3899.99%@0.3μm10006109817.0102084
27TGML-20-E3899.99%@0.3μm12206109820.5123084
28TGML-Z-E3899.99%@0.3μm15009159839.5237084

Email:sales@baisheng-tech.com

電話(02) 2598-1958

詳細說明

TGML 為 Mini-pleats 型的終極 AMC 規格:同時控制有機物與硼。為需要低壓損又不能妥協潔淨度的 14nm 以下製程 FFU 設計。

材質與結構

項目規格
框架ALUMINUM
濾材GLASS PAPER
最高使用溫度60°C
相對濕度60%RH
分隔板HOT MELT ADHESIVE
墊片EPDM
出風護網-
進風護網-
密封膠POLYURETHANE RESIN
最大風量Can be calculated on request
最大終期壓損294

風量 vs 壓損曲線(代表值)

010020030040050002004006008001000風量 (m³/h)壓損 (Pa)TGML 50mmTGML 75mmTGML 98mm
3 種深度曲線展示。深度越大壓損越低。

應用場域

- 14nm 以下晶圓廠 FFU - EUV/DUV 機台周邊 FFU - 光阻塗佈區 FFU

選型建議

- 僅低硼 → BGML 較經濟。 - 僅低有機物 → 聯絡客製。 - 兩者皆需 → 選本機種(最高等級)。

選型參考

在下單前,建議先確認:等級規格、濾材特性、以及運作環境是否符合需求。