แผ่นกรอง HEPA สารอินทรีย์ต่ำ/โบรอนต่ำ Nouvelle TGML - โซน NIPPON MUKI | Baisheng Tech
รหัสสินค้า:NM-TGMLโซน NIPPON MUKIHEPA มาตรฐาน
โซน NIPPON MUKI

แผ่นกรอง HEPA สารอินทรีย์ต่ำ/โบรอนต่ำ Nouvelle TGML

รายละเอียดสินค้า

TGML เป็นแผ่นกรอง HEPA แบบมินิพลีทที่ทั้งสารอินทรีย์ต่ำและโบรอนต่ำพร้อมกัน ประสิทธิภาพ 99.99% @ 0.3 μm รวมข้อได้เปรียบด้านความดันตกคร่อมต่ำของมินิพลีทเข้ากับการควบคุม AMC ทั้งสองประเภท จึงเป็นระดับสูงสุดสำหรับ FFU ของกระบวนการต่ำกว่า 14 นาโนเมตร คุณสมบัติเด่น ・สารอินทรีย์ต่ำและโบรอนต่ำพร้อมกัน ・HEPA 99.99% @ 0.3 μm ・โครงสร้างมินิพลีท (ความดันตกคร่อมต่ำ) ・ระดับสูงสุดสำหรับ FFU ของกระบวนการขั้นสูง อุตสาหกรรมเป้าหมาย:การแพทย์ เภสัชกรรม อิเล็กทรอนิกส์

สเปกสำคัญ

ประสิทธิภาพการกรอง
99.99%@0.3μm
อัตราลมพิกัด
2 – 39.5 CMM (120 – 2370 CMH)
ความดันตกเริ่มต้น
84 – 127 Pa
ขนาดมาตรฐาน
W 305–1500 × H 305–915 × D 50–98 mm
ขอใบเสนอราคา

Email:sales@baisheng-tech.com

โทรศัพท์:+886-2-25981958

ประสิทธิภาพการกรอง
99.99%@0.3μm
อัตราลมพิกัด
2 – 39.5 CMM (120 – 2370 CMH)
ความดันตกเริ่มต้น
84 – 127 Pa
ขนาดมาตรฐาน
W 305–1500 × H 305–915 × D 50–98 mm
ลำดับรุ่นประสิทธิภาพW (mm)H (mm)D (mm)อัตราลม (CMM)อัตราลม (CMH)ความดันตกเริ่มต้น (Pa)
1TGML-10-E2599.99%@0.3μm6106105010.0598127
2TGML-20-E2599.99%@0.3μm12206105020.51232127
3TGML-Z-E4199.99%@0.3μm305305652.012098
4TGML-Z-E4199.99%@0.3μm457457655.030098
5TGML-Z-E4199.99%@0.3μm305610654.527098
6TGML-10-E4199.99%@0.3μm6106106510.060098
7TGML-Z-E4199.99%@0.3μm7626106512.575098
8TGML-Z-E4199.99%@0.3μm9156106515.090098
9TGML-20-E4199.99%@0.3μm12206106520.5123098
10TGML-Z-E4199.99%@0.3μm15009156539.0234098
11TGML-Z-E2399.99%@0.3μm305305752.012088
12TGML-Z-E2399.99%@0.3μm457457755.030088
13TGML-Z-E2399.99%@0.3μm305610754.527088
14TGML-10-E2399.99%@0.3μm6106107510.060088
15TGML-Z-E2399.99%@0.3μm7626107512.575088
16TGML-Z-E2399.99%@0.3μm9156107515.090088
17TGML-20-E2399.99%@0.3μm12206107520.5123088
18TGML-Z-E2399.99%@0.3μm15009157539.0234088
19TGML-Z-E3899.99%@0.3μm305305982.012084
20TGML-Z-E3899.99%@0.3μm457457985.030084
21TGML-Z-E3899.99%@0.3μm508508986.539084
22TGML-Z-E3899.99%@0.3μm305610984.527084
23TGML-10-E3899.99%@0.3μm6106109810.060084
24TGML-Z-E3899.99%@0.3μm7626109812.575084
25TGML-Z-E3899.99%@0.3μm9156109815.593084
26TGML-Z-E3899.99%@0.3μm10006109817.0102084
27TGML-20-E3899.99%@0.3μm12206109820.5123084
28TGML-Z-E3899.99%@0.3μm15009159839.5237084

คำอธิบายโดยละเอียด

TGML คือสเปก AMC ขั้นสูงสุดของแบบมินิพลีท:ควบคุมทั้งสารอินทรีย์และโบรอนไปพร้อมกัน ออกแบบสำหรับ FFU ของกระบวนการต่ำกว่า 14nm ที่ต้องการความดันตกคร่อมต่ำและประนีประนอมเรื่องความสะอาดไม่ได้

วัสดุและโครงสร้าง

รายการข้อกำหนด
กรอบALUMINUM
วัสดุกรองGLASS PAPER
อุณหภูมิใช้งานสูงสุด60°C
ความชื้นสัมพัทธ์60%RH
แผ่นคั่นHOT MELT ADHESIVE
ปะเก็นEPDM
ตะแกรงป้องกันด้านลมออก-
ตะแกรงป้องกันด้านลมเข้า-
กาวซีลPOLYURETHANE RESIN
อัตราลมสูงสุดCan be calculated on request
ความดันตกคร่อมช่วงปลายสูงสุด294

Airflow vs Pressure Drop (representative)

010020030040050002004006008001000Air volume (m³/h)Pressure drop (Pa)TGML 50mmTGML 75mmTGML 98mm
กราฟแสดงความลึก 3 แบบ ยิ่งความลึกมาก ความดันตกคร่อมยิ่งต่ำ

พื้นที่การใช้งาน

- FFU ของโรงงานเวเฟอร์ต่ำกว่า 14nm - FFU บริเวณรอบเครื่อง EUV/DUV - FFU ของโซนเคลือบโฟโตรีซิสต์

ข้อแนะนำในการเลือกรุ่น

- เฉพาะโบรอนต่ำ → BGML จะประหยัดกว่า - เฉพาะสารอินทรีย์ต่ำ → ติดต่อเพื่อสั่งทำพิเศษ - ต้องการทั้งสองอย่าง → เลือกรุ่นนี้ (ระดับสูงสุด)

ข้อมูลอ้างอิงสำหรับการเลือกใช้

ก่อนสั่งซื้อ โปรดตรวจสอบระดับประสิทธิภาพ ชนิดของวัสดุกรอง และสภาพแวดล้อมการใช้งานว่าตรงกับความต้องการของคุณหรือไม่