แผ่นกรองห้องคลีนรูม — HEPA / ULPA ประสิทธิภาพสูง
HEPA / ULPA Filters
แผ่นกรอง HEPA (High Efficiency Particulate Air) และ ULPA (Ultra Low Particulate Air) เป็นองค์ประกอบหลักของการกรองในสภาพแวดล้อมที่ต้องการความสะอาดสูง ตามมาตรฐาน EN 1822 ระดับ HEPA ครอบคลุม H13 (99.95%) และ H14 (99.995%) ส่วน ULPA ครอบคลุม U15, U16 และ U17 ซึ่งมีประสิทธิภาพสูงถึง 99.9999995% ระดับ H10, H11 และ H12 ที่พูดถึงกันบ่อยนั้น EN 1822 จัดไว้ในกลุ่ม EPA (Efficient Particulate Air) มีประสิทธิภาพ 85% ถึง 99.5% และมักใช้เป็นการกรองขั้นต้น การทดสอบแผ่นกรอง HEPA อ้างอิงที่ MPPS (Most Penetrating Particle Size ราว 0.12–0.25 μm) ซึ่งสะท้อนสมรรถนะจริงของแผ่นกรองที่ช่วงขนาดอนุภาคที่ดักจับยากที่สุด
ตัวเลือกด้านข้อมูลจำเพาะมีทั้งแบบกรอบอะลูมิเนียมซีลเจลมาตรฐาน แบบซีลคมมีด (knife-edge) แบบสเตนเลสทนการกัดกร่อน และแบบ dry-box โดยใช้แผ่นคั่นชนิดฟอยล์อะลูมิเนียมหรือเส้นกาวร้อน หรือจะเป็นโครงสร้างแบบไม่มีแผ่นคั่นก็ได้ แผ่นกรองทุกชิ้นผ่านการทดสอบสแกนละอองลอย DOP/PAO เป็นรายชิ้นที่โรงงาน พร้อมแนบรายงานผลทดสอบ การเลือกใช้ต้องพิจารณาอัตราลมพิกัด ความดันตกคร่อมเริ่มต้น ความเข้ากันได้ของวัสดุกรอบ กลไกการซีล และวิธีทดสอบ
การใช้งานทั่วไป: การผลิตเวเฟอร์ต้นน้ำและการประกอบบรรจุปลายน้ำของเซมิคอนดักเตอร์ สายการผลิตจอ TFT-LCD และ OLED ห้องปฏิบัติการชีวนิรภัยระดับ BSL-2/3 พื้นที่บรรจุยาปลอดเชื้อ ห้องผ่าตัดความดันบวกและความดันลบในโรงพยาบาล และห้องตรวจ PCR
การเลือกแผ่นกรองสำหรับห้องคลีนรูมต้องสอดคล้องกับระดับความสะอาดตาม ISO 14644-1 ได้แก่ ISO Class 1–3 ต้องใช้แผ่นกรอง ULPA U15–U17, ISO Class 4–5 (โรงงานเซมิคอนดักเตอร์ต้นน้ำ) ต้องใช้ HEPA H14 (99.995%), ISO Class 6 (ห้องคลีนรูมทั่วไป) ใช้ HEPA H13 (99.95%) และ ISO Class 7–8 (พื้นที่บรรจุ ห้องปฏิบัติการ) ใช้ระดับ EPA H10–H12 ได้ การเลือกจริงยังต้องพิจารณาสัดส่วนพื้นที่ฝ้าเพดานที่ติดตั้งแผ่นกรอง [verify] อัตราการหมุนเวียนของ FFU และวิธีติดตั้งที่ปลายทาง (ซีลเจลหรือซีลคมมีด) ประกอบด้วย
กลยุทธ์การกรองแบบหลายขั้นช่วยยืดอายุแผ่นกรองในห้องคลีนรูมและลดต้นทุนรวมของการเป็นเจ้าของ (TCO) ได้จริง การจัดวางสามขั้นที่พบบ่อยคือ แผ่นกรองขั้นต้น (G4) ดักอนุภาคที่ใหญ่กว่า 5 μm → แผ่นกรองประสิทธิภาพปานกลาง (F7–F9) ดักอนุภาค 1–5 μm → HEPA/ULPA กรองที่ปลายทาง คุณภาพของแผ่นกรองประสิทธิภาพปานกลางเป็นตัวกำหนดอายุ HEPA โดยตรง การจัดวางที่ออกแบบมาดีสามารถยืดอายุ HEPA ได้ 2–3 เท่า [verify] ซึ่งลดความถี่ในการเปลี่ยนและต้นทุนการหยุดเดินเครื่องได้อย่างมีนัยสำคัญ
ตารางเทียบระดับแผ่นกรอง HEPA (H10–H14 / U15) และหลักการทดสอบ MPPS →
คำถามที่พบบ่อย
เทียบระดับแผ่นกรอง HEPA: H10, H11, H12, H13, H14, U15 เลือกอย่างไร
แผ่นกรอง HEPA ล้างน้ำได้ไหม
แผ่นกรอง HEPA ใช้ได้นานแค่ไหน ควรเปลี่ยนเมื่อไร
แผ่นกรอง HEPA กับ ULPA ต่างกันอย่างไร
MPPS คืออะไร และทำไมจึงใช้เป็นเกณฑ์ทดสอบ
แผ่นกรอง HEPA มีวิธีซีลแบบใดบ้าง
แผ่นกรอง HEPA ทดสอบเป็นรายชิ้นก่อนส่งมอบหรือไม่
เลือกแผ่นกรองห้องคลีนรูมอย่างไร แต่ละ ISO Class ใช้สเปกไหน
ทำไมต้องกรองหลายขั้น ใช้ HEPA ตรง ๆ เลยไม่ได้หรือ
ต้องการแผ่นกรองสั่งทำพิเศษใช่ไหม
ขนาดพิเศษ ประสิทธิภาพเฉพาะทาง วัสดุเฉพาะ เราผลิตตามข้อกำหนดของคุณได้ทั้งหมด ติดต่อเราเพื่อขอใบเสนอราคา