แผ่นกรองเคมีคาร์บอนกัมมันต์

แผ่นกรองคาร์บอนกัมมันต์ (หรือที่เรียกว่าแผ่นกรองเคมี) จัดการกับมลสารในรูปก๊าซที่แผ่นกรองอนุภาคทั่วไปดักไม่ได้ ด้วยกลไกการดูดซับระดับโมเลกุลและการกำจัดด้วยปฏิกิริยาเคมี มลสารเป้าหมายของแผ่นกรองเคมีได้แก่ สารอินทรีย์ระเหยง่าย (VOC เช่น โทลูอีน ฟอร์มาลดีไฮด์) ก๊าซที่เป็นกรด (HCl, SO₂, H₂S, NOₓ, HF) ก๊าซที่เป็นด่าง (NH₃ และเอมีน) โอโซน และโมเลกุลที่ก่อกลิ่นไม่พึงประสงค์

โครงสร้างวัสดุกรองมีสามแบบหลัก ได้แก่ แบบรังผึ้ง ที่อัดคาร์บอนกัมมันต์ลงในโครงรังผึ้ง มีความดันตกคร่อมต่ำ เหมาะกับระบบอัตราลมสูง แบบเบดเม็ด ที่บรรจุคาร์บอนกัมมันต์ชนิดเม็ดไว้ในตัวเรือน มีความจุการดูดซับสูงสำหรับงานที่ความเข้มข้นสูง และแบบชุบสารเคมี ที่ชุบสารเคมีเฉพาะเพื่อกำจัดก๊าซกรดหรือด่างเป้าหมายด้วยพันธะเคมี ส่วนการออกแบบกรอบมีทั้งแบบ V-Bank (จัดเรียงหลาย V แบบ 4V / 6V) เพื่อความดันตกคร่อมต่ำ แบบพับลึกสำหรับภาระฝุ่นสูง และแบบแผ่น โดยแบ่งตามตำแหน่งลมในห้องคลีนรูมเป็นแบบ MAU (Make-Up Air รับอากาศบริสุทธิ์จากภายนอก) และแบบ RC (Recirculation วนอากาศกลับ) ปัจจัยสำคัญในการเลือกใช้คือชนิดและความเข้มข้นของมลสารเป้าหมาย ปริมาณคาร์บอน ความจุการดูดซับ และกราฟการทะลุผ่าน

การใช้งานทั่วไป: การควบคุม AMC (Airborne Molecular Contamination) ในโซนลิโทกราฟีของโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ ระบบดูดอากาศของตู้ควันในห้องปฏิบัติการ การบำบัดไอตัวทำละลายในโรงงานยา แผนกพยาธิวิทยาของโรงพยาบาล การควบคุมกลิ่นในโรงบำบัดน้ำเสีย และการบำบัดอากาศเสียขั้นต้นในโรงพิมพ์และโรงงานเคลือบผิว

กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง (ต่ำกว่า 7 นาโนเมตร) ได้ยกระดับข้อกำหนดการควบคุม AMC จากระดับ ppm ขึ้นเป็นระดับ ppb และแม้กระทั่งต่ำกว่า ppb [verify] ตัวชี้วัดสมรรถนะสำคัญของแผ่นกรองเคมีคือกราฟการทะลุผ่าน กล่าวคือแผ่นกรองถือว่าหมดอายุเมื่อความเข้มข้นด้านปลายน้ำเกินเกณฑ์ที่กระบวนการยอมรับได้ ปัจจัยที่มีผลต่อเวลาการทะลุผ่านได้แก่ ความเข้มข้นขาเข้า ความเร็วลมด้านหน้า ปริมาณคาร์บอนที่บรรจุ ตลอดจนอุณหภูมิและความชื้นของสภาพแวดล้อม การเก็บตัวอย่างวิเคราะห์ตามรอบหรือการต่อเข้ากับระบบเฝ้าระวัง AMC แบบเรียลไทม์ ช่วยให้กำหนดจังหวะเปลี่ยนแผ่นกรองได้แม่นยำ และป้องกันการสูญเสียผลผลิตจากแผ่นกรองที่หมดสภาพ