Nouvelle TGML 低有機物/低ボロン HEPA フィルター - 日本無機 | 佰聖科技(バイシェンテック)
製品IDNM-TGML日本無機標準 HEPA
日本無機

Nouvelle TGML 低有機物/低ボロン HEPA フィルター

製品概要

TGML は低有機物+低ボロンを同時実現したミニプリーツ型 HEPA フィルターで、捕集効率 99.99% @ 0.3 μm。ミニプリーツの低圧損メリットと両 AMC の制御を両立、14 nm 以下先端プロセス FFU の最高等級。 主な特長 ・低有機物+低ボロンを同時実現 ・HEPA 99.99% @ 0.3 μm ・ミニプリーツ構造(低圧損) ・先端プロセス FFU 最高等級 対象業界:医療、医薬、電子

特長・仕様

No.型式捕集効率W (mm)H (mm)D (mm)風量 (CMM)風量 (CMH)初期圧損 (Pa)
1TGML-10-E2599.99%@0.3μm6106105010.0598127
2TGML-20-E2599.99%@0.3μm12206105020.51232127
3TGML-Z-E4199.99%@0.3μm305305652.012098
4TGML-Z-E4199.99%@0.3μm457457655.030098
5TGML-Z-E4199.99%@0.3μm305610654.527098
6TGML-10-E4199.99%@0.3μm6106106510.060098
7TGML-Z-E4199.99%@0.3μm7626106512.575098
8TGML-Z-E4199.99%@0.3μm9156106515.090098
9TGML-20-E4199.99%@0.3μm12206106520.5123098
10TGML-Z-E4199.99%@0.3μm15009156539.0234098
11TGML-Z-E2399.99%@0.3μm305305752.012088
12TGML-Z-E2399.99%@0.3μm457457755.030088
13TGML-Z-E2399.99%@0.3μm305610754.527088
14TGML-10-E2399.99%@0.3μm6106107510.060088
15TGML-Z-E2399.99%@0.3μm7626107512.575088
16TGML-Z-E2399.99%@0.3μm9156107515.090088
17TGML-20-E2399.99%@0.3μm12206107520.5123088
18TGML-Z-E2399.99%@0.3μm15009157539.0234088
19TGML-Z-E3899.99%@0.3μm305305982.012084
20TGML-Z-E3899.99%@0.3μm457457985.030084
21TGML-Z-E3899.99%@0.3μm508508986.539084
22TGML-Z-E3899.99%@0.3μm305610984.527084
23TGML-10-E3899.99%@0.3μm6106109810.060084
24TGML-Z-E3899.99%@0.3μm7626109812.575084
25TGML-Z-E3899.99%@0.3μm9156109815.593084
26TGML-Z-E3899.99%@0.3μm10006109817.0102084
27TGML-20-E3899.99%@0.3μm12206109820.5123084
28TGML-Z-E3899.99%@0.3μm15009159839.5237084

Email:sales@baisheng-tech.com

電話+886-2-25981958

詳細説明

TGML はミニプリーツ型での究極 AMC 仕様:有機物とボロンを同時制御。14 nm 以下プロセス FFU 向けで、低圧損と清浄度の両立を必要とするシステム向けに設計。

材質と構造

項目仕様
フレームALUMINUM
濾材GLASS PAPER
最高使用温度60°C
相対湿度60%RH
セパレーターHOT MELT ADHESIVE
ガスケットEPDM
グリル(下流)-
グリル(上流)-
シール剤POLYURETHANE RESIN
最大風量Can be calculated on request
最大終期圧損 (Pa)294

風量 vs 圧力損失(代表値)

010020030040050002004006008001000風量 (m³/h)圧力損失 (Pa)TGML 50mmTGML 75mmTGML 98mm
3 種深さ代表曲線。深いほど圧損が低い。

用途

- 14 nm 以下ウェハー工場 FFU - EUV・DUV 機周辺 FFU - フォトレジスト塗布区 FFU

選定の目安

- 低ボロンのみ → BGML が経済的。 - 低有機物のみ → カスタムご相談。 - 両方必要 → 本機種(最高等級)。

選定リファレンス

ご発注の前に、効率グレード・ろ材特性・運転環境がご要件に合うかをご確認ください。