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HEPA / ULPAフィルター
HEPA / ULPA Filters
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HEPA フィルター（高効率粒子捕集）および ULPA フィルター（超低透過性）は高潔浄度環境のコア構成要素です。EN 1822 規格に基づき、HEPA 等級は H13（99.95%）と H14（99.995%）、ULPA 等級は U15、U16、U17 で総合ろ過効率は最大 99.9999995% に達します。市場で一般的な H10、H11、H12 は EN 1822 では EPA（Efficient Particulate Air、高効率）等級に分類され、効率は 85% から 99.5% で、主に前段プレフィルターとして使用されます。HEPA フィルターの試験基準は MPPS（最大透過粒径、約 0.12～0.25μm）を採用し、最も捕集困難な粒径域での実際の性能を最も正確に反映します。
仕様オプションは標準アルミ枠ゲルシール型、ナイフエッジシール型、ステンレス枠耐食型、乾燥剤ボックス型などがあり、セパレーターはアルミ箔、ホットメルト接着剤線または無セパレーター構造から選択できます。出荷前に一枚ずつ DOP/PAO エアロゾルスキャン試験を実施し、出荷試験報告書を添付します。選定は定格風量、初期圧力損失、枠材の適合性、シール機構および試験方法を総合的に評価する必要があります。
主な適用場所：半導体前工程ウェーハ製造および後工程パッケージング、TFT-LCD および OLED パネル生産ライン、BSL-2/3 バイオセーフティー実験室、無菌医薬品充填ゾーン、病院の正・負圧手術室、PCR 検査施設。
よくあるご質問
HEPAフィルター等級対照表：H10/H11/H12/H13/H14/U15 の選び方
EN 1822 規格では：H13（99.95%）が基本 HEPA、H14（99.995%）が標準 HEPA、U15–U17 が ULPA（99.9995%+）です。市場で一般的な H10/H11/H12 は EN 1822 では EPA（高効率、85%–99.5%）に分類され、前段プレフィルターとして使用されます。ISO 14644 等級対応：Class 5 は H14、Class 6–7 は H13、Class 8 は H12、Class 9 は H11。半導体リソグラフィやナノ製造のみ ULPA にアップグレードします。
HEPA フィルターは水洗いできますか？
できません。HEPA フィルターはガラス繊維ろ材の緻密構造とエレクトレット静電効果で 0.3μm 微粒子を捕捉します。水洗いは繊維構造と電荷を破壊し、ろ過効率が永久に低下します。プロフェッショナル HEPA フィルター（H13/H14）は使い捨て設計で、寿命到達時に全体交換します。市販の水洗い可能フィルターは G3/G4 プレフィルター等級が中心で、効率 30%–95% のみで真の HEPA ではありません。
HEPA フィルターの寿命はどのくらい？いつ交換すべき？
寿命は 3 つのトリガーで決まり、いずれか到達時に交換します：1) 圧力損失が初期値の 2 倍（通常 1–3 年）、2) 清浄度試験不合格、3) 累計使用時間がメーカー推奨を超過（通常 18–36 か月）。半導体工程では差圧オンライン監視と組み合わせると、定時交換比 30%–40% コスト削減できます。佰聖は現場差圧測定および交換コンサルティングを提供します。
HEPA フィルターと ULPA フィルターの違いは何ですか？
EN 1822 に基づき、HEPA は H13（99.95%）と H14（99.995%）、ULPA は U15（99.9995%）、U16（99.99995%）、U17（99.9999995%）です。ULPA は半導体前工程のウェーハ製造、ナノスケール製造、BSL-4 実験室など HEPA より厳しい用途に使用されます。
MPPS とは何ですか？なぜ試験基準として使われるのですか？
MPPS（最大透過粒径）は最も捕集が難しい粒径で、約 0.12～0.25μm です。EN 1822 が MPPS を試験基準とすることで、フィルターの実際の性能を最も正確に反映できます。従来の 0.3μm DOP 試験と比べ、MPPS はより厳格で最悪ケースのろ過効率を代表します。
HEPA フィルターにはどのようなシール方式がありますか？
主な 3 種類：ゲルシール（最高気密性、半導体クリーンルーム向け）、ナイフエッジ（バイオセーフティキャビネット向け）、ガスケット（コスト低、一般清浄度向け）。必要な気密レベルと設置環境に応じて選択します。
HEPA フィルターは出荷前に個別テストされますか？
はい。佰聖科技のすべての HEPA/ULPA フィルターは出荷前に DOP/PAO エアロゾルスキャン試験を個別に実施し、試験風量、透過率、初期圧力損失を含む試験報告書を同梱します。ご要望に応じて適合証明書（Certificate of Conformance）を提供できます。
Customization
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特殊サイズ、特定効率、特殊素材など、お客様のご要望に合わせてオーダーメイドで製造いたします。お気軽にお問い合わせください。