クリーンルームフィルター — 高効率 HEPA / ULPA

HEPA フィルター（高効率粒子捕集）および ULPA フィルター（超低透過性）は高潔浄度環境のコア構成要素です。EN 1822 規格に基づき、HEPA 等級は H13（99.95%）と H14（99.995%）、ULPA 等級は U15、U16、U17 で総合ろ過効率は最大 99.9999995% に達します。市場で一般的な H10、H11、H12 は EN 1822 では EPA（Efficient Particulate Air、高効率）等級に分類され、効率は 85% から 99.5% で、主に前段プレフィルターとして使用されます。HEPA フィルターの試験基準は MPPS（最大透過粒径、約 0.12～0.25μm）を採用し、最も捕集困難な粒径域での実際の性能を最も正確に反映します。

仕様オプションは標準アルミ枠ゲルシール型、ナイフエッジシール型、ステンレス枠耐食型、乾燥剤ボックス型などがあり、セパレーターはアルミ箔、ホットメルト接着剤線または無セパレーター構造から選択できます。出荷前に一枚ずつ DOP/PAO エアロゾルスキャン試験を実施し、出荷試験報告書を添付します。選定は定格風量、初期圧力損失、枠材の適合性、シール機構および試験方法を総合的に評価する必要があります。

主な適用場所：半導体前工程ウェーハ製造および後工程パッケージング、TFT-LCD および OLED パネル生産ライン、BSL-2/3 バイオセーフティー実験室、無菌医薬品充填ゾーン、病院の正・負圧手術室、PCR 検査施設。

クリーンルームフィルターの選定は ISO 14644-1 清浄度等級に合わせる必要があります。ISO Class 1–3 は ULPA U15–U17、ISO Class 4–5（半導体前工程クリーンルーム）は HEPA H14（99.995%）、ISO Class 6（一般クリーンルーム）は HEPA H13（99.95%）、ISO Class 7–8（包装エリア・実験室）は EPA 級 H10–H12 が適切です。実際の選定では天井カバー率 [要確認]、FFU 循環比率、端末設置方式（ゲルシール式 vs ナイフエッジ式）も考慮が必要です。

多段ろ過組合せ戦略はクリーンルームフィルターの寿命を効果的に延長し、総保有コスト（TCO）を削減します。一般的な三段構成：プレフィルター（G4）で 5μm 以上の粗粒子を捕集 → 中性能フィルター（F7–F9）で 1–5μm 微粒子をろ過 → HEPA/ULPA 端末ろ過。中性能フィルターの品質が HEPA 寿命を直接決定し、適切な構成で HEPA 使用寿命を 2–3 倍延長可能 [要確認] です。