Nouvelle TGML 저유기물·저붕소 HEPA 필터 - NIPPON MUKI 전용관 | Baisheng Tech
품번:NM-TGMLNIPPON MUKI 전용관표준 HEPA
NIPPON MUKI 전용관

Nouvelle TGML 저유기물·저붕소 HEPA 필터

제품 개요

TGML은 저유기물과 저붕소를 동시에 만족하는 Mini-pleats형 HEPA 필터로 효율은 0.3 μm 기준 99.99%입니다. Mini-pleats의 저압손 장점과 두 종류의 AMC 오염 문제를 한 번에 해결하여 14nm 이하 공정 FFU의 최고 등급입니다. 주요 특징 ・저유기물과 저붕소를 동시에 충족 ・HEPA 효율 99.99% @ 0.3 μm ・Mini-pleats 구조(저압손) ・선단 공정 FFU 최고 등급 적용 산업: 의료, 제약, 전자

주요 규격

여과 효율
99.99%@0.3μm
정격 풍량
2 – 39.5 CMM (120 – 2370 CMH)
초기 압력손실
84 – 127 Pa
표준 치수
W 305–1500 × H 305–915 × D 50–98 mm

Email:sales@baisheng-tech.com

전화:+886-2-2598-1958

팩스: +886-2-6602-1920

여과 효율
99.99%@0.3μm
정격 풍량
2 – 39.5 CMM (120 – 2370 CMH)
초기 압력손실
84 – 127 Pa
표준 치수
W 305–1500 × H 305–915 × D 50–98 mm
번호모델여과 효율W (mm)H (mm)D (mm)풍량 (CMM)풍량 (CMH)초기 압력손실 (Pa)
1TGML-10-E2599.99%@0.3μm6106105010.0598127
2TGML-20-E2599.99%@0.3μm12206105020.51232127
3TGML-Z-E4199.99%@0.3μm305305652.012098
4TGML-Z-E4199.99%@0.3μm457457655.030098
5TGML-Z-E4199.99%@0.3μm305610654.527098
6TGML-10-E4199.99%@0.3μm6106106510.060098
7TGML-Z-E4199.99%@0.3μm7626106512.575098
8TGML-Z-E4199.99%@0.3μm9156106515.090098
9TGML-20-E4199.99%@0.3μm12206106520.5123098
10TGML-Z-E4199.99%@0.3μm15009156539.0234098
11TGML-Z-E2399.99%@0.3μm305305752.012088
12TGML-Z-E2399.99%@0.3μm457457755.030088
13TGML-Z-E2399.99%@0.3μm305610754.527088
14TGML-10-E2399.99%@0.3μm6106107510.060088
15TGML-Z-E2399.99%@0.3μm7626107512.575088
16TGML-Z-E2399.99%@0.3μm9156107515.090088
17TGML-20-E2399.99%@0.3μm12206107520.5123088
18TGML-Z-E2399.99%@0.3μm15009157539.0234088
19TGML-Z-E3899.99%@0.3μm305305982.012084
20TGML-Z-E3899.99%@0.3μm457457985.030084
21TGML-Z-E3899.99%@0.3μm508508986.539084
22TGML-Z-E3899.99%@0.3μm305610984.527084
23TGML-10-E3899.99%@0.3μm6106109810.060084
24TGML-Z-E3899.99%@0.3μm7626109812.575084
25TGML-Z-E3899.99%@0.3μm9156109815.593084
26TGML-Z-E3899.99%@0.3μm10006109817.0102084
27TGML-20-E3899.99%@0.3μm12206109820.5123084
28TGML-Z-E3899.99%@0.3μm15009159839.5237084

상세 설명

TGML은 Mini-pleats형의 최상위 AMC 사양으로 유기물과 붕소를 동시에 제어합니다. 저압손이 필요하면서 청정도도 양보할 수 없는 14nm 이하 공정 FFU를 위해 설계했습니다.

재질과 구조

항목사양
프레임ALUMINUM
여재GLASS PAPER
최고 사용 온도60°C
상대 습도60%RH
세퍼레이터HOT MELT ADHESIVE
개스킷EPDM
토출측 보호망-
흡입측 보호망-
실링재POLYURETHANE RESIN
최대 풍량Can be calculated on request
최대 최종 압력손실294

풍량 vs 압력손실 곡선(대표값)

010020030040050002004006008001000풍량 (m³/h)압력손실 (Pa)TGML 50mmTGML 75mmTGML 98mm
3가지 깊이의 곡선을 보여 줍니다. 깊이가 클수록 압력손실이 낮아집니다.

적용 현장

- 14nm 이하 웨이퍼 공장 FFU - EUV/DUV 장비 주변 FFU - 포토레지스트 코팅 구역 FFU

선정 권장

- 저붕소만 필요하면 → BGML이 더 경제적입니다. - 저유기물만 필요하면 → 주문제작으로 문의하십시오. - 둘 다 필요하면 → 이 기종(최고 등급)을 선택합니다.

선정 참고자료

주문 전에 등급 사양, 여재 특성, 운전 환경이 요구 조건에 맞는지 먼저 확인하시기 바랍니다.