클린룸 장비

클린룸 장비(Cleanroom Equipment)는 완전한 청정 환경에 필요한 주변 구성품 일체를 아우릅니다. 에어샤워(Air Shower), 패스박스(Pass Box, VHP 멸균형 포함), FFU 팬 필터 유닛(Fan Filter Unit) 모듈형 클린룸, 클린벤치(Clean Bench), 국소 청정을 담당하는 클린부스(Clean Booth)가 여기에 속합니다. 청정도를 온전히 관리하려면 고속 기류 정화(≥ 25 m/s), 인원 출입 정화, 물자 반입 격리, 국소 작업 구역 청정을 함께 갖추어야 하며, 필터만 따로 구매해서는 시스템 차원의 목표에 이를 수 없습니다.

주요 장비 분류는 다음과 같습니다. 에어샤워(Air Shower)는 고속 청정 기류(≥ 25 m/s)로 인원 의복 표면에 붙은 입자를 씻어냅니다. 패스박스(Pass Box)는 표준형, 자정형, 기밀 가압형으로 나뉘며 반입 물자의 위험 등급에 따라 선택합니다. FFU 모듈형 클린룸은 FFU 어레이에 프레임, 벽 패널, 문·창을 조합해 확장 가능한 청정 공간을 구성합니다. 클린벤치(Clean Bench)는 국소 청정 작업 구역을 제공하며 수평류형과 수직류형으로 나뉩니다.

대표적인 적용 현장은 반도체 클린룸 출입 관리, 바이오 연구개발 GMP 구역, 병원 조제실, 식품 무균 포장, PCB 조립 청정 구역입니다.

그 밖의 주변 장비는 다음과 같습니다. 고성능 취출구(젤 실링형 포함)는 중앙 공조 시스템의 천장 말단 여과에 사용됩니다. FFU 집중 제어 시스템은 다수 FFU의 구역별 기동·정지와 속도 조절을 일괄 관리합니다. 릴리프 댐퍼는 압력이 설정값을 넘으면 자동으로 열려 각 구역의 차압을 유지합니다. 에어필터 고정 프레임은 덕트나 천장 내부에서 HEPA/ULPA의 위치를 잡고 밀봉합니다. 질소 캐비닛과 방습 캐비닛은 습기와 산화에 약한 전자 부품과 웨이퍼를 보관합니다. 스테인리스 흄 후드는 실험 작업에서 발생하는 유해 가스를 배출합니다. 자동 손 세척·건조 일체형 장비는 갱의실 입구에 설치되어 비접촉 방식으로 손 세척과 건조를 마칩니다.