Thiết bị phòng sạch

Thiết bị phòng sạch bao gồm các cấu phần ngoại vi cần thiết cho môi trường sạch hoàn chỉnh, gồm buồng thổi khí (Air Shower), hộp truyền (Pass Box, bao gồm loại khử trùng VHP), cụm quạt lọc FFU (Fan Filter Unit) dùng cho phòng sạch mô-đun, bàn làm việc sạch (Clean Bench) và buồng sạch cục bộ (Clean Booth). Kiểm soát độ sạch toàn diện cần tích hợp dòng khí tốc độ cao (≥25 m/s), khử nhiễm nhân viên, cách ly truyền vật liệu và làm sạch vùng làm việc — mua màng lọc đơn thuần không thể đạt mục tiêu hệ thống.

Các loại thiết bị chính: Buồng tắm khí (Air Shower) dùng dòng khí sạch tốc độ cao (≥25 m/s) thổi sạch hạt bám trên quần áo nhân viên; Hộp truyền (Pass Box) gồm loại tiêu chuẩn, loại tự làm sạch và loại niêm phong bơm hơi, chọn theo mức độ rủi ro vật liệu truyền; Phòng sạch mô-đun FFU dùng mảng FFU kết hợp khung đỡ, tấm vách và cửa để tạo không gian sạch mở rộng được; Bàn làm việc sạch (Clean Bench) gồm loại dòng ngang và dòng đứng.

Ứng dụng điển hình: kiểm soát lối vào phòng sạch bán dẫn, khu GMP nghiên cứu phát triển công nghệ sinh học, phòng pha chế dược phẩm bệnh viện, đóng gói vô trùng thực phẩm, khu lắp ráp PCB sạch.

Các thiết bị ngoại vi khác gồm: miệng cấp gió hiệu suất cao (bao gồm loại niêm phong rãnh chất lỏng) làm bộ lọc đầu cuối trên trần cho hệ thống điều hòa trung tâm; hệ thống điều khiển nhóm FFU quản lý tập trung việc bật/tắt theo vùng và điều chỉnh tốc độ cho số lượng lớn FFU; van xả áp tự động mở khi áp suất vượt giá trị cài đặt để duy trì chênh áp giữa các khu vực; khung cố định màng lọc giúp định vị và niêm phong màng lọc HEPA / ULPA trong ống gió hoặc trần; tủ nitơ và tủ chống ẩm lưu trữ linh kiện điện tử và wafer dễ bị ẩm, oxy hóa; tủ hút khí độc inox hút thải khí độc hại phát sinh khi thao tác thí nghiệm; và máy rửa tay sấy khô tự động tích hợp đặt ở lối vào khu thay đồ, hoàn tất rửa và sấy tay không cần tiếp xúc.