Dòng thiết bị phòng sạch

Thiết bị phòng sạch bao gồm các cấu phần ngoại vi cần thiết cho môi trường sạch hoàn chỉnh, gồm buồng tắm khí, hộp truyền, phòng sạch mô-đun FFU và bàn làm việc sạch. Kiểm soát độ sạch toàn diện cần tích hợp quản lý dòng khí, khử nhiễm vào/ra cho nhân viên, cách ly truyền vật liệu và làm sạch vùng làm việc cục bộ — mua màng lọc đơn thuần không thể đạt mục tiêu hệ thống.

Các loại thiết bị chính: Buồng tắm khí (Air Shower) dùng dòng khí sạch tốc độ cao (≥25 m/s) thổi sạch hạt bám trên quần áo nhân viên; Hộp truyền (Pass Box) gồm loại tiêu chuẩn, loại tự làm sạch và loại niêm phong bơm hơi, chọn theo mức độ rủi ro vật liệu truyền; Phòng sạch mô-đun FFU dùng mảng FFU kết hợp khung đỡ, tấm vách và cửa để tạo không gian sạch mở rộng được; Bàn làm việc sạch (Clean Bench) gồm loại dòng ngang và dòng đứng.

Ứng dụng điển hình: kiểm soát lối vào phòng sạch bán dẫn, khu GMP nghiên cứu phát triển công nghệ sinh học, phòng pha chế dược phẩm bệnh viện, đóng gói vô trùng thực phẩm, khu lắp ráp PCB sạch.