Thiết bị phòng sạch
FFU – Cụm quạt lọc
Tổng quan sản phẩm
FFU (Fan Filter Unit) tích hợp quạt và màng lọc HEPA/ULPA thành một mô-đun cấp khí tự cấp nguồn, lắp trực tiếp vào khung trần kín của phòng sạch. Phần trên là mô-đun quạt, phần dưới là màng lọc, nên khí sạch đến đúng khu vực cần mà không phải đi ống gió.
Vì mỗi bộ tự mang quạt riêng, có thể bật tắt và điều chỉnh tốc độ theo từng vùng. Khi thay đổi dây chuyền, chỉ cần di chuyển hoặc bổ sung mô-đun mà không phải làm lại hệ ống gió. Khoang tĩnh áp phía trên luôn duy trì áp suất âm so với vùng sạch, nên hạt bụi trong khoang không bị đẩy vào phòng sạch và việc làm kín cũng đơn giản hơn hệ ống gió áp dương.
Tính năng & Thông số kỹ thuật
►**Hiệu suất lọc**: ≥99,99~99,999% @0,3μm (US Fed. Std. 209E)
►**Vật liệu thân**: thép mạ nhôm kẽm / thép không gỉ / thép cán nguội sơn tĩnh điện / PP
►**Cánh quạt**: nhôm / thép không gỉ / nylon
►**Công suất mô-tơ**: 80 W (quạt ly tâm rotor ngoài nhập khẩu)
►**Nguồn điện**: AC 220~240V 50Hz
►**Cấp tốc độ**: cao / trung bình / thấp, ba cấp điều chỉnh
►**Kiểu kết cấu**: FFU làm kín khô / FFU làm kín bằng rãnh dịch
Bảng thông số
| Model | Kích thước mô-đun mm | Kích thước lọc mm | Lưu lượng m³/min | Tốc độ mặt m/s | Dòng điện A | Độ ồn dB |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 4′×4′ | 1175×1175×320 | 1170×1170×70 | 40 | 0.55 | 1.3 | ≤58 |
| 2′×4′ | 1175×575×320 | 1170×570×70 | 32 | 0.45 | 1.0 | ≤52 |
| 2′×2′ | 575×575×320 | 570×570×70 | 24 | 0.35 | 0.8 | ≤46 |
Mô tả chi tiết
Tự cấp nguồn nên bố trí luôn thay đổi được
Hệ cấp khí bằng ống gió một khi đã thi công xong thì vị trí thổi cố định. Nhà máy bán dẫn và tấm nền thay đổi dây chuyền mỗi hai ba năm, mỗi lần đều phải động đến ống gió, chi phí và thời gian dừng máy đều lớn. FFU đặt quạt ngay trong mô-đun, biến mỗi bộ thành một điểm cấp khí độc lập. Đặt mô-đun ở đâu thì thổi ở đó, cần bao nhiêu lưu lượng thì chạy bấy nhiêu bộ. Khi đổi dây chuyền chỉ cần dời mô-đun, khung trần giữ nguyên. Bộ ngưng dùng có thể làm kín cất giữ cho dự án sau, không trở thành chi phí chìm.Vì sao khoang tĩnh áp phải giữ áp âm
Bản thân FFU tạo ra áp suất tĩnh, giữ khoang phía trên thấp hơn áp suất vùng sạch. Do đó nếu có khe hở thì khí đi từ phòng sạch vào khoang chứ không ngược lại — bụi tích trong khoang không bao giờ bị đẩy vào vùng sạch. Hệ ống gió áp dương thì ngược lại: chỉ cần mối nối không kín là hạt tích trong ống bị áp suất đẩy ra phòng. Đây là ưu thế kết cấu của FFU ở cấp sạch cao, cũng là lý do công tác làm kín được đơn giản hóa.Ba con số quyết định việc chọn máy
- **Tốc độ mặt**: phòng sạch dòng đơn hướng thẳng đứng thường đặt trong khoảng 0,35 đến 0,55 m/s. Tốc độ quyết định dòng khí có giữ được đơn hướng và cuốn hạt đi hay không, từ đó quyết định số bộ cần lắp. - **Độ ồn**: FFU chạy liên tục, cách người vận hành chỉ hai ba mét. Chênh lệch giữa cấp cao và cấp thấp khoảng 12 dB, nên thực tế thường dùng cấp trung bình, cấp cao để dành cho khởi động và xử lý bất thường. - **Cấp màng lọc**: HEPA và ULPA có tổn thất áp khác nhau. Quạt phải thắng được trở lực màng lọc cộng trở lực toàn bộ đường tuần hoàn; chọn sai cấp sẽ lộ ra ngay bằng lưu lượng không đủ.Làm kín khô và làm kín bằng rãnh dịch
FFU làm kín khô dùng gioăng đệm, thi công nhanh, chi phí thấp, là lựa chọn tiêu chuẩn của phần lớn nhà máy điện tử. Loại rãnh dịch tạo một rãnh keo làm kín trên khung trần, khung màng lọc cắm vào rãnh tạo mặt kín liên tục. Cách này cho độ tin cậy làm kín cao hơn, phù hợp khu dược phẩm và vùng sạch cấp cao có yêu cầu rò rỉ nghiêm ngặt, đổi lại hệ khung phức tạp hơn và phải theo dõi mực dịch khi bảo trì.Tham khảo chọn sản phẩm
Trước khi đặt hàng, hãy xác nhận cấp hiệu suất, loại vật liệu lọc, và môi trường vận hành có phù hợp yêu cầu.







