Khu vô cơ Nhật Bản

NIPPON MUKI

34Sản phẩm

NIPPON MUKI Co., Ltd. là nhà sản xuất Nhật Bản chuyên về màng lọc không khí hiệu suất cao. Dòng sản phẩm bao gồm HEPA (H13/H14), ULPA (U15/U16/U17), màng lọc chịu nhiệt (150°C–500°C), màng lọc cấp bán dẫn thấp boron / thấp khí thải hữu cơ, màng lọc hóa học và màng lọc sơ cấp / trung cấp — phục vụ nhà máy wafer bán dẫn, nhà máy màn hình phẳng, cơ sở GMP dược phẩm và phòng sấy pin lithium.

Các dòng sản phẩm chính: ATMOS (ATML/ATMC/ATMPK) cho ứng dụng HEPA/ULPA tiêu chuẩn trong trần phòng sạch và FFU; HEATMOS (ATMCH/ATMCU/ATMV/ATMWC) phủ 250°C–500°C sử dụng vật liệu sợi thủy tinh hoặc thạch anh với khung thép không gỉ; Nouvelle (TGML/TGMC/TGMML) với đặc điểm khí thải hữu cơ cực thấp và thấp boron cho quy trình bán dẫn tiên tiến (≤7nm); PureChemix (ACGM) cho hấp phụ VOC và Iochemix (ECSL) cho trao đổi ion khử axit.

Màng lọc NIPPON MUKI nổi tiếng với sản xuất 100% tại Nhật Bản, kiểm tra quét DOP/PAO từng chiếc tại nhà máy, và chất lượng ổn định đáp ứng tiêu chí nghiệm thu ISO 14644-1 Class 1–5.

Màng lọc hóa học than hoạt tính

Màng lọc trung tính

HEPA chịu nhiệt

HEPA tiêu chuẩn

ULPA tiêu chuẩn

Màng lọc sơ cấp

Câu hỏi thường gặp

Màng lọc HEPA của NIPPON MUKI khác gì so với HEPA tiêu chuẩn?
Màng lọc HEPA/ULPA của NIPPON MUKI được sản xuất 100% tại Nhật Bản, mỗi tấm đều được kiểm tra quét DOP/PAO riêng lẻ kèm báo cáo kiểm tra. Dòng ATMOS sử dụng giấy lọc sợi thủy tinh siêu mịn với thiết kế tổn thất áp thấp để giảm tiêu thụ năng lượng FFU. Dòng Nouvelle đạt khí thải hữu cơ cực thấp (≤5 μg/m³) và phát thải boron thấp (≤1 ng/m³), đáp ứng yêu cầu AMC nghiêm ngặt cho quy trình bán dẫn tiên tiến ≤7nm.
Màng lọc chịu nhiệt NIPPON MUKI chịu được tối đa bao nhiêu độ?
Dòng HEATMOS bao phủ các dải nhiệt độ khác nhau: ATMCH (250°C), ATMCU (350°C), ATMV/ATMVC (350°C lưu lượng lớn), ATMWC (500°C). Vật liệu lọc nâng cấp từ sợi thủy tinh lên sợi thạch anh, khung hoàn toàn bằng thép không gỉ. Ứng dụng: khí thải lò khuếch tán bán dẫn, phòng sấy pin lithium, khí vào lò thiêu kết gốm, lọc khí thải lò sấy nhiệt độ cao.
Tại sao nhà máy bán dẫn cần màng lọc Nouvelle thấp boron thay vì HEPA tiêu chuẩn?
Dòng Nouvelle (TGML/TGMC/TGMML) sử dụng giấy lọc công thức đặc biệt và vật liệu bịt kín đã xử lý để giảm thiểu khí thải hữu cơ và phát thải boron. Ở node ≤7nm, boron gây sai lệch pha tạp linh kiện và hợp chất hữu cơ tạo ô nhiễm phân tử trên bề mặt wafer — cả hai đều dẫn đến tổn thất năng suất. Khu vực quang khắc EUV và đoạn nạp khí CVD/ALD cần màng lọc HEPA/ULPA cấp thấp boron, thấp khí thải hữu cơ.

Cần màng lọc tùy chỉnh?

Kích thước đặc biệt, hiệu suất cụ thể, vật liệu đặc biệt — chúng tôi có thể tùy chỉnh theo đúng yêu cầu của bạn. Liên hệ để nhận báo giá.