Khu vô cơ Nhật Bản
Màng trao đổi ion tuần hoàn không khí Iochemix ECSL
Tổng quan sản phẩm
ECSL là màng lọc hóa học mini-pleats với nhựa trao đổi ion, hiệu suất ~90%. Tổn áp siêu thấp (12-35 Pa) — phù hợp lọc không khí tuần hoàn phòng sạch bán dẫn cho khí acid (HF, HCl, SO2).
Đặc điểm chính
・Nhựa trao đổi ion
・Tổn áp siêu thấp (12-35 Pa)
・Cấu trúc mini-pleats
・Lọc hóa học cho khí tuần hoàn phòng sạch
Ngành ứng dụng：Điện tử
Tính năng & Thông số kỹ thuật
| Số | Mã sản phẩm | Hiệu suất | W (mm) | H (mm) | D (mm) | Lưu lượng (CMM) | Lưu lượng (CMH) | Tổn áp ban đầu (Pa) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | ECSL-Z-S-E-*1 | Approx. 90%*2 | 289 | 594 | 50 | 3.0 | 180 | Approx. 12 |
| 2 | ECSL-7-S-E-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 50 | 7.0 | 420 | Approx. 12 |
| 3 | ECSL-Z-S-E-*1 | Approx. 90%*2 | 1220 | 610 | 50 | 14.0 | 840 | Approx. 12 |
| 4 | ECSL-Z-RS-E-*1 | Approx. 90%*2 | 289 | 594 | 65 | 4.0 | 240 | Approx. 20 |
| 5 | ECSL-10-RS-E-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 65 | 10.0 | 600 | Approx. 20 |
| 6 | ECSL-Z-RS-E-*1 | Approx. 90%*2 | 1220 | 610 | 65 | 20.5 | 1230 | Approx. 20 |
| 7 | ECSL-Z-R-E-*1 | Approx. 90%*2 | 289 | 594 | 75 | 4.0 | 240 | Approx. 35 |
| 8 | ECSL-10-R-E-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 75 | 10.0 | 600 | Approx. 35 |
| 9 | ECSL-Z-R-E-*1 | Approx. 90%*2 | 1220 | 610 | 75 | 20.5 | 1230 | Approx. 35 |
Mô tả chi tiết
Iochemix ECSL chuyên dụng cho hệ khí tuần hoàn trong phòng sạch bán dẫn, hiệu quả hơn than hoạt tính với AMC acid (HF, HCl). Tổn áp siêu thấp cho phép lắp thêm trên FFU sẵn có.
Vật liệu & Cấu trúc
| Thông số | Chi tiết |
|---|---|
| Khung | ALUMINUM |
| Lớp lọc | Ion exchange resin |
| Nhiệt độ tối đa | 40°C |
| Độ ẩm tương đối | 90%RH |
| Vách ngăn | HOT MELT ADHESIVE |
| Gioăng | EPDM |
| Keo dán | POLYURETHANE RESIN |
| Lưu lượng tối đa | Can be calculated on request |
Lưu lượng vs Tổn áp (giá trị tiêu biểu)
Ứng dụng
- Khử acid trong khí tuần hoàn bán dẫn - Lọc hóa học sau FFU trong fab wafer - Kiểm soát khí acid khu lithographyHướng dẫn chọn loại
- Chủ yếu khí kiềm (NH3) → chọn ACGM / ACGL (than hoạt tính). - Chủ yếu khí acid → chọn ECSL (mẫu này, nhựa trao đổi ion). - Chọn độ sâu: nông = tổn áp thấp nhất; sâu = tuổi thọ dài nhất.Tham khảo chọn sản phẩm
Trước khi đặt hàng, hãy xác nhận cấp hiệu suất, loại vật liệu lọc, và môi trường vận hành có phù hợp yêu cầu.
