Iochemix ECSL 循環空氣離子交換樹脂濾網 - 日本無機專區 | 佰聖科技
編號NM-ECSL日本無機專區化學濾網
日本無機專區

Iochemix ECSL 循環空氣離子交換樹脂濾網

產品概述

ECSL 為採離子交換樹脂的 Mini-pleats 型化學濾網,效率約 90%。超低壓損設計(僅 12-35 Pa)適合半導體無塵室內的循環空氣處理,可去除酸性氣體(如 HF、HCl、SO2)。 主要特色 ・離子交換樹脂濾材 ・超低壓損(12-35 Pa) ・Mini-pleats 結構 ・半導體循環空氣化學過濾 適用產業:電子

產品特性

編號型號過濾效率W (mm)H (mm)D (mm)風量 (CMM)風量 (CMH)初期壓損 (Pa)
1ECSL-Z-S-E-*1Approx. 90%*2289594503.0180Approx. 12
2ECSL-7-S-E-*1Approx. 90%*2610610507.0420Approx. 12
3ECSL-Z-S-E-*1Approx. 90%*212206105014.0840Approx. 12
4ECSL-Z-RS-E-*1Approx. 90%*2289594654.0240Approx. 20
5ECSL-10-RS-E-*1Approx. 90%*26106106510.0600Approx. 20
6ECSL-Z-RS-E-*1Approx. 90%*212206106520.51230Approx. 20
7ECSL-Z-R-E-*1Approx. 90%*2289594754.0240Approx. 35
8ECSL-10-R-E-*1Approx. 90%*26106107510.0600Approx. 35
9ECSL-Z-R-E-*1Approx. 90%*212206107520.51230Approx. 35

Email:sales@baisheng-tech.com

電話(02) 2598-1958

詳細說明

Iochemix ECSL 專為半導體無塵室循環空氣系統設計,針對酸性 AMC(如 HF、HCl)的去除效果優於傳統活性碳。超低壓損讓其可加裝於現有 FFU 系統。

材質與結構

項目規格
框架ALUMINUM
濾材Ion exchange resin
最高使用溫度40°C
相對濕度90%RH
分隔板HOT MELT ADHESIVE
墊片EPDM
密封膠POLYURETHANE RESIN
最大風量Can be calculated on request

風量 vs 壓損曲線(代表值)

02040608010002004006008001000風量 (m³/h)壓損 (Pa)ECSL 50mmECSL 65mmECSL 75mm
3 種深度曲線展示。壓損均遠低於 100 Pa,適合既有 FFU 加裝。

應用場域

- 半導體廠循環空氣去酸 - 晶圓廠 FFU 下游化學過濾 - 微影區酸性氣體控制

選型建議

- 主攻鹼性氣體(NH3)→ 選 ACGM/ACGL(活性碳)。 - 主攻酸性氣體 → 選本機種(離子交換樹脂)。 - 深度選擇:淺版壓損最低,深版壽命最長。

選型參考

在下單前,建議先確認:等級規格、濾材特性、以及運作環境是否符合需求。