日本無機
Iochemix ECSL 循環空気用イオン交換樹脂フィルター
製品概要
ECSL はイオン交換樹脂濾材を採用したミニプリーツ型ケミカルフィルターで、効率約 90%。超低圧損（12-35 Pa）により、半導体クリーンルームの循環空気処理に最適、酸性ガス（HF・HCl・SO2）除去に強みを発揮します。
主な特長
・イオン交換樹脂濾材
・超低圧損（12-35 Pa）
・ミニプリーツ構造
・半導体循環空気のケミカルろ過
対象業界：電子
特長・仕様
| No. | 型式 | 捕集効率 | W (mm) | H (mm) | D (mm) | 風量 (CMM) | 風量 (CMH) | 初期圧損 (Pa) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | ECSL-Z-S-E-*1 | Approx. 90%*2 | 289 | 594 | 50 | 3.0 | 180 | Approx. 12 |
| 2 | ECSL-7-S-E-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 50 | 7.0 | 420 | Approx. 12 |
| 3 | ECSL-Z-S-E-*1 | Approx. 90%*2 | 1220 | 610 | 50 | 14.0 | 840 | Approx. 12 |
| 4 | ECSL-Z-RS-E-*1 | Approx. 90%*2 | 289 | 594 | 65 | 4.0 | 240 | Approx. 20 |
| 5 | ECSL-10-RS-E-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 65 | 10.0 | 600 | Approx. 20 |
| 6 | ECSL-Z-RS-E-*1 | Approx. 90%*2 | 1220 | 610 | 65 | 20.5 | 1230 | Approx. 20 |
| 7 | ECSL-Z-R-E-*1 | Approx. 90%*2 | 289 | 594 | 75 | 4.0 | 240 | Approx. 35 |
| 8 | ECSL-10-R-E-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 75 | 10.0 | 600 | Approx. 35 |
| 9 | ECSL-Z-R-E-*1 | Approx. 90%*2 | 1220 | 610 | 75 | 20.5 | 1230 | Approx. 35 |
詳細説明
Iochemix ECSL は半導体クリーンルーム循環空気システム専用、酸性 AMC（HF・HCl）除去において従来の活性炭を凌駕。超低圧損により既存 FFU への後付けが可能。
材質と構造
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| フレーム | ALUMINUM |
| 濾材 | Ion exchange resin |
| 最高使用温度 | 40°C |
| 相対湿度 | 90%RH |
| セパレーター | HOT MELT ADHESIVE |
| ガスケット | EPDM |
| シール剤 | POLYURETHANE RESIN |
| 最大風量 | Can be calculated on request |
