โซน NIPPON MUKI
แผ่นกรองเรซินแลกเปลี่ยนไอออนสำหรับอากาศหมุนเวียน Iochemix ECSL
รายละเอียดสินค้า
ECSL เป็นแผ่นกรองเคมีแบบมินิพลีทที่ใช้เรซินแลกเปลี่ยนไอออนเป็นวัสดุกรอง ประสิทธิภาพราว 90% ความดันตกคร่อมต่ำมาก (เพียง 12-35 Pa) จึงเหมาะกับการบำบัดอากาศหมุนเวียนภายในห้องคลีนรูมเซมิคอนดักเตอร์ กำจัดก๊าซกรดอย่าง HF HCl และ SO2
คุณสมบัติเด่น
・วัสดุกรองเรซินแลกเปลี่ยนไอออน
・ความดันตกคร่อมต่ำมาก (12-35 Pa)
・โครงสร้างมินิพลีท
・กรองเคมีสำหรับอากาศหมุนเวียนในงานเซมิคอนดักเตอร์
อุตสาหกรรมเป้าหมาย：อิเล็กทรอนิกส์
สเปกสำคัญ
- ประสิทธิภาพการกรอง
- Approx. 90%*2
- อัตราลมพิกัด
- 3 – 20.5 CMM (180 – 1230 CMH)
- ความดันตกเริ่มต้น
- 12 – 35 Pa
- ขนาดมาตรฐาน
- W 289–1220 × H 594–610 × D 50–75 mm
ตารางสเปก
- อัตราลมพิกัด
- 3 – 20.5 CMM (180 – 1230 CMH)
- ความดันตกเริ่มต้น
- 12 – 35 Pa
- ขนาดมาตรฐาน
- W 289–1220 × H 594–610 × D 50–75 mm
ตารางเทียบรุ่น
| ลำดับ | รุ่น | ประสิทธิภาพ | W (mm) | H (mm) | D (mm) | อัตราลม (CMM) | อัตราลม (CMH) | ความดันตกเริ่มต้น (Pa) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | ECSL-Z-S-E-*1 | Approx. 90%*2 | 289 | 594 | 50 | 3.0 | 180 | Approx. 12 |
| 2 | ECSL-7-S-E-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 50 | 7.0 | 420 | Approx. 12 |
| 3 | ECSL-Z-S-E-*1 | Approx. 90%*2 | 1220 | 610 | 50 | 14.0 | 840 | Approx. 12 |
| 4 | ECSL-Z-RS-E-*1 | Approx. 90%*2 | 289 | 594 | 65 | 4.0 | 240 | Approx. 20 |
| 5 | ECSL-10-RS-E-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 65 | 10.0 | 600 | Approx. 20 |
| 6 | ECSL-Z-RS-E-*1 | Approx. 90%*2 | 1220 | 610 | 65 | 20.5 | 1230 | Approx. 20 |
| 7 | ECSL-Z-R-E-*1 | Approx. 90%*2 | 289 | 594 | 75 | 4.0 | 240 | Approx. 35 |
| 8 | ECSL-10-R-E-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 75 | 10.0 | 600 | Approx. 35 |
| 9 | ECSL-Z-R-E-*1 | Approx. 90%*2 | 1220 | 610 | 75 | 20.5 | 1230 | Approx. 35 |
คำอธิบายโดยละเอียด
Iochemix ECSL ออกแบบมาเฉพาะสำหรับระบบอากาศหมุนเวียนในห้องคลีนรูมเซมิคอนดักเตอร์ กำจัด AMC ที่เป็นกรด (เช่น HF、HCl) ได้ดีกว่าคาร์บอนกัมมันต์แบบดั้งเดิม ความดันตกคร่อมที่ต่ำมากทำให้ติดตั้งเพิ่มในระบบ FFU เดิมได้
วัสดุและโครงสร้าง
| รายการ | ข้อกำหนด |
|---|---|
| กรอบ | ALUMINUM |
| วัสดุกรอง | Ion exchange resin |
| อุณหภูมิใช้งานสูงสุด | 40°C |
| ความชื้นสัมพัทธ์ | 90%RH |
| แผ่นคั่น | HOT MELT ADHESIVE |
| ปะเก็น | EPDM |
| กาวซีล | POLYURETHANE RESIN |
| อัตราลมสูงสุด | Can be calculated on request |
Airflow vs Pressure Drop (representative)
พื้นที่การใช้งาน
- การกำจัดกรดในอากาศหมุนเวียนของโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ - การกรองเคมีด้านท้ายลมของ FFU ในโรงงานเวเฟอร์ - การควบคุมก๊าซกรดในโซนลิโทกราฟีข้อแนะนำในการเลือกรุ่น
- เน้นก๊าซด่างเป็นหลัก (NH3) → เลือก ACGM/ACGL (คาร์บอนกัมมันต์) - เน้นก๊าซกรดเป็นหลัก → เลือกรุ่นนี้ (เรซินแลกเปลี่ยนไอออน) - การเลือกความลึก：รุ่นตื้นมีความดันตกคร่อมต่ำที่สุด รุ่นลึกมีอายุใช้งานยาวที่สุดข้อมูลอ้างอิงสำหรับการเลือกใช้
ก่อนสั่งซื้อ โปรดตรวจสอบระดับประสิทธิภาพ ชนิดของวัสดุกรอง และสภาพแวดล้อมการใช้งานว่าตรงกับความต้องการของคุณหรือไม่
