NIPPON MUKI 전용관
Iochemix ECSL 순환 공기 이온교환 수지 필터
제품 개요
ECSL은 이온교환 수지를 쓰는 Mini-pleats형 케미컬 필터로 효율은 약 90%입니다. 초저압손 설계(12-35 Pa)라 반도체 클린룸 내부의 순환 공기 처리에 적합하며 HF, HCl, SO2 같은 산성 가스를 제거합니다.
주요 특징
・이온교환 수지 여재
・초저압손(12-35 Pa)
・Mini-pleats 구조
・반도체 순환 공기 케미컬 여과
적용 산업: 전자
주요 규격
- 여과 효율
- Approx. 90%*2
- 정격 풍량
- 3 – 20.5 CMM (180 – 1230 CMH)
- 초기 압력손실
- 12 – 35 Pa
- 표준 치수
- W 289–1220 × H 594–610 × D 50–75 mm
규격 총표
- 정격 풍량
- 3 – 20.5 CMM (180 – 1230 CMH)
- 초기 압력손실
- 12 – 35 Pa
- 표준 치수
- W 289–1220 × H 594–610 × D 50–75 mm
모델 대조표
| 번호 | 모델 | 여과 효율 | W (mm) | H (mm) | D (mm) | 풍량 (CMM) | 풍량 (CMH) | 초기 압력손실 (Pa) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | ECSL-Z-S-E-*1 | Approx. 90%*2 | 289 | 594 | 50 | 3.0 | 180 | Approx. 12 |
| 2 | ECSL-7-S-E-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 50 | 7.0 | 420 | Approx. 12 |
| 3 | ECSL-Z-S-E-*1 | Approx. 90%*2 | 1220 | 610 | 50 | 14.0 | 840 | Approx. 12 |
| 4 | ECSL-Z-RS-E-*1 | Approx. 90%*2 | 289 | 594 | 65 | 4.0 | 240 | Approx. 20 |
| 5 | ECSL-10-RS-E-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 65 | 10.0 | 600 | Approx. 20 |
| 6 | ECSL-Z-RS-E-*1 | Approx. 90%*2 | 1220 | 610 | 65 | 20.5 | 1230 | Approx. 20 |
| 7 | ECSL-Z-R-E-*1 | Approx. 90%*2 | 289 | 594 | 75 | 4.0 | 240 | Approx. 35 |
| 8 | ECSL-10-R-E-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 75 | 10.0 | 600 | Approx. 35 |
| 9 | ECSL-Z-R-E-*1 | Approx. 90%*2 | 1220 | 610 | 75 | 20.5 | 1230 | Approx. 35 |
상세 설명
Iochemix ECSL은 반도체 클린룸의 순환 공기 시스템을 위해 설계했으며, 산성 AMC(HF, HCl 등) 제거 효과가 기존 활성탄보다 뛰어납니다. 초저압손이라 기존 FFU 시스템에 추가로 달 수 있습니다.
재질과 구조
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 프레임 | ALUMINUM |
| 여재 | Ion exchange resin |
| 최고 사용 온도 | 40°C |
| 상대 습도 | 90%RH |
| 세퍼레이터 | HOT MELT ADHESIVE |
| 개스킷 | EPDM |
| 실링재 | POLYURETHANE RESIN |
| 최대 풍량 | Can be calculated on request |
