NIPPON MUKI 전용관
Iochemix ECSL 순환 공기 이온교환 수지 필터
제품 개요
ECSL은 이온교환 수지를 쓰는 Mini-pleats형 케미컬 필터로 효율은 약 90%입니다. 초저압손 설계(12-35 Pa)라 반도체 클린룸 내부의 순환 공기 처리에 적합하며 HF, HCl, SO2 같은 산성 가스를 제거합니다.
주요 특징
・이온교환 수지 여재
・초저압손(12-35 Pa)
・Mini-pleats 구조
・반도체 순환 공기 케미컬 여과
적용 산업: 전자
제품 특성
| No. | Model | Efficiency | W (mm) | H (mm) | D (mm) | Airflow (CMM) | Airflow (CMH) | Initial PD (Pa) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | ECSL-Z-S-E-*1 | Approx. 90%*2 | 289 | 594 | 50 | 3.0 | 180 | Approx. 12 |
| 2 | ECSL-7-S-E-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 50 | 7.0 | 420 | Approx. 12 |
| 3 | ECSL-Z-S-E-*1 | Approx. 90%*2 | 1220 | 610 | 50 | 14.0 | 840 | Approx. 12 |
| 4 | ECSL-Z-RS-E-*1 | Approx. 90%*2 | 289 | 594 | 65 | 4.0 | 240 | Approx. 20 |
| 5 | ECSL-10-RS-E-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 65 | 10.0 | 600 | Approx. 20 |
| 6 | ECSL-Z-RS-E-*1 | Approx. 90%*2 | 1220 | 610 | 65 | 20.5 | 1230 | Approx. 20 |
| 7 | ECSL-Z-R-E-*1 | Approx. 90%*2 | 289 | 594 | 75 | 4.0 | 240 | Approx. 35 |
| 8 | ECSL-10-R-E-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 75 | 10.0 | 600 | Approx. 35 |
| 9 | ECSL-Z-R-E-*1 | Approx. 90%*2 | 1220 | 610 | 75 | 20.5 | 1230 | Approx. 35 |
상세 설명
Iochemix ECSL is engineered for recirculated-air systems in semiconductor cleanrooms, outperforming conventional activated carbon for acidic AMCs (HF, HCl). Ultra-low PD allows retrofitting onto existing FFUs.
Materials & Construction
| Property | Specification |
|---|---|
| Filter frame | ALUMINUM |
| Media | Ion exchange resin |
| Max. temperature | 40°C |
| Relative humidity | 90%RH |
| Separator | HOT MELT ADHESIVE |
| Gasket | EPDM |
| Sealant | POLYURETHANE RESIN |
| Max airflow | Can be calculated on request |
