클린룸 필터 — 고성능 HEPA / ULPA 필터

HEPA 필터(High Efficiency Particulate Air)와 ULPA 필터(Ultra Low Particulate Air)는 클린룸 필터 시스템에서 고청정 환경을 담당하는 핵심 여과 구성품입니다. EN 1822 규격에 따르면 HEPA 등급은 H13(99.95%)과 H14(99.995%) 두 단계이며, ULPA 등급은 U15, U16, U17로 여과 효율은 최대 99.9999995%에 이릅니다. 시장에서 흔히 보이는 H10, H11, H12는 EN 1822에서 EPA(Efficient Particulate Air, 고효율) 등급에 속하며 효율은 85%부터 99.5%까지로 주로 전단 예비 여과에 사용됩니다. HEPA 필터의 시험 기준은 MPPS(Most Penetrating Particle Size, 약 0.12~0.25μm)를 채택하여, 가장 포집하기 어려운 입경 구간에서 여재의 실제 성능을 가장 사실적으로 반영합니다.

규격 옵션으로는 표준 알루미늄 프레임 젤 실링(액조식), 나이프 에지 실링, 스테인리스 프레임 내식형, 건조제 박스형이 있으며, 세퍼레이터 없는 구조와 알루미늄 호일 세퍼레이터 구조를 모두 제공합니다. 출하 전 전량에 대해 DOP / PAO 에어로졸 스캔 시험을 실시하고 출하 검사 성적서를 첨부합니다. 선정 시에는 정격 풍량, 초기 압력손실, 프레임 재질 호환성, 실링 방식, 시험 방법을 함께 검토해야 합니다.

대표적인 적용 현장은 반도체 전공정 웨이퍼 제조와 후공정 패키징·테스트, TFT-LCD 및 OLED 패널 라인, BSL-2/3 생물안전 실험실, 무균 의약품 충전 구역, 병원 양압·음압 수술실, PCR 검사 공간입니다.

클린룸 필터는 ISO 14644-1 청정 등급에 맞추어 규격을 선정해야 합니다. ISO Class 1–3 환경에는 ULPA U15–U17 필터가 필요하고, ISO Class 4–5(반도체 전공정 클린룸)에는 HEPA H14(99.995%)를 권장합니다. ISO Class 6(일반 클린룸)에는 HEPA H13(99.95%)이 적합하며, ISO Class 7–8(포장 구역, 실험실)에는 EPA 등급 H10–H12를 선택할 수 있습니다. 실제 선정에서는 천장 커버율[확인 필요], FFU 리턴 비율, 말단 설치 방식(액조식 vs 나이프 에지식)도 함께 고려해야 합니다.

다단 여과 조합 전략은 클린룸 필터의 수명을 늘리고 총소유비용(TCO)을 낮추는 데 효과적입니다. 전형적인 구성은 3단입니다. 프리필터(G4)가 5μm 이상의 조대 입자를 걸러내고 → 미디엄 필터(F7–F9)가 1–5μm 미세 입자를 여과한 뒤 → HEPA/ULPA가 말단 여과를 담당합니다. 미디엄 필터의 품질이 HEPA의 수명을 좌우하므로, 제대로 구성하면 HEPA 사용 수명을 2–3배까지 연장하여[확인 필요] 교체 빈도와 가동 중단 비용을 크게 줄일 수 있습니다.

HEPA 필터 등급 대조표 (H10–H14 / U15)와 MPPS 시험 원리 →