โซน NIPPON MUKI
แผ่นกรองคาร์บอนกัมมันต์สำหรับอากาศหมุนเวียน PureChemix G ACGM/ACGL
รายละเอียดสินค้า
ACGM/ACGL เป็นแผ่นกรองเคมีคาร์บอนกัมมันต์ชนิดเกล็ด ประสิทธิภาพราว 90% รุ่น ACGL (มินิพลีท) มีความดันตกคร่อมต่ำมาก (15-40 Pa) เหมาะกับอากาศหมุนเวียน ส่วนรุ่น ACGM (แบบมีแผ่นคั่น) รองรับอัตราลมสูงสำหรับงานกรองเคมีปริมาณมาก เป้าหมายหลักคือก๊าซด่างอย่าง NH3 และก๊าซอินทรีย์ VOC
คุณสมบัติเด่น
・วัสดุกรองคาร์บอนกัมมันต์ชนิดเกล็ด
・มีสองรูปแบบ: ACGL (มินิพลีท) และ ACGM (แบบมีแผ่นคั่น)
・กำจัดก๊าซด่าง NH3 และ VOC อินทรีย์
・อายุใช้งานยาวในระบบอากาศหมุนเวียน
อุตสาหกรรมเป้าหมาย：อิเล็กทรอนิกส์
สเปกสำคัญ
- ประสิทธิภาพการกรอง
- Approx. 90%*2
- อัตราลมพิกัด
- 3 – 70.5 CMM (180 – 4230 CMH)
- ความดันตกเริ่มต้น
- 15 – 98 Pa
- ขนาดมาตรฐาน
- W 289–1220 × H 594–610 × D 50–290 mm
ตารางสเปก
- อัตราลมพิกัด
- 3 – 70.5 CMM (180 – 4230 CMH)
- ความดันตกเริ่มต้น
- 15 – 98 Pa
- ขนาดมาตรฐาน
- W 289–1220 × H 594–610 × D 50–290 mm
ตารางเทียบรุ่น
| ลำดับ | รุ่น | ประสิทธิภาพ | W (mm) | H (mm) | D (mm) | อัตราลม (CMM) | อัตราลม (CMH) | ความดันตกเริ่มต้น (Pa) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | ACGL-Z-R-E-*1 | Approx. 90%*2 | 289 | 594 | 50 | 3.0 | 180 | Approx. 15 |
| 2 | ACGL-10-R-E-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 50 | 10.0 | 600 | Approx. 15 |
| 3 | ACGL-20-R-E-*1 | Approx. 90%*2 | 1220 | 610 | 50 | 20.0 | 1200 | Approx. 15 |
| 4 | ACGL-Z-RS-E-*1 | Approx. 90%*2 | 289 | 594 | 65 | 4.0 | 240 | Approx. 30 |
| 5 | ACGL-10-RS-E-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 65 | 10.0 | 600 | Approx. 30 |
| 6 | ACGL-20-RS-E-*1 | Approx. 90%*2 | 1220 | 610 | 65 | 20.0 | 1200 | Approx. 30 |
| 7 | ACGL-Z-S-E-*1 | Approx. 90%*2 | 289 | 594 | 75 | 4.0 | 240 | Approx. 40 |
| 8 | ACGL-7-S-E-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 75 | 7.0 | 420 | Approx. 40 |
| 9 | ACGL-14-S-E-*1 | Approx. 90%*2 | 1220 | 610 | 75 | 14.0 | 840 | Approx. 40 |
| 10 | ACGM-56H-E42-*1 | Approx. 90%*2 | 305 | 610 | 290 | 28.0 | 1680 | Approx. 98 |
| 11 | ACGM-56-E42-*1 | Approx. 90%*2 | 610 | 610 | 290 | 56.0 | 3360 | Approx. 98 |
| 12 | ACGM-Z-E42-*1 | Approx. 90%*2 | 760 | 610 | 290 | 70.5 | 4230 | Approx. 98 |
คำอธิบายโดยละเอียด
PureChemix ซีรีส์ G ใช้คาร์บอนกัมมันต์เป็นสารดูดซับหลัก มุ่งจัดการ AMC ที่เป็นด่าง (NH3) และสารปนเปื้อนอินทรีย์ที่โรงงานเซมิคอนดักเตอร์ให้ความสำคัญที่สุด รุ่นมินิพลีท ACGL มีความดันตกคร่อมต่ำมากจึงติดตั้งเพิ่มใน FFU ได้เลย；ส่วนรุ่นแผ่นคั่น ACGM ให้ความสามารถรองรับอัตราลมสูง
วัสดุและโครงสร้าง
| รายการ | ACGL | ACGM |
|---|---|---|
| กรอบ | ALUMINUM | ALUMINUM |
| วัสดุกรอง | Granular activated carbon | Granular activated carbon |
| อุณหภูมิใช้งานสูงสุด | 40°C | 40°C |
| ความชื้นสัมพัทธ์ | 90%RH | 90%RH |
| แผ่นคั่น | HOT MELT ADHESIVE | ALUMINUM |
| ปะเก็น | EPDM | EPDM |
| กาวซีล | POLYURETHANE RESIN | POLYURETHANE RESIN |
| อัตราลมสูงสุด | Can be calculated on request | Can be calculated on request |
Airflow vs Pressure Drop (representative)
พื้นที่การใช้งาน
- การควบคุม NH3 ของโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ - การดูดซับ VOC ในอากาศหมุนเวียน - การควบคุม AMC บริเวณรอบโซน EUV/DUVข้อแนะนำในการเลือกรุ่น
- อากาศหมุนเวียน＋ต้องการความดันตกคร่อมต่ำ → เลือก ACGL (มินิพลีท) - การจัดการอากาศภายนอกอัตราลมสูง → เลือก ACGM (แผ่นคั่น) - หากต้องกำจัดก๊าซกรด → เลือก ECSLข้อมูลอ้างอิงสำหรับการเลือกใช้
ก่อนสั่งซื้อ โปรดตรวจสอบระดับประสิทธิภาพ ชนิดของวัสดุกรอง และสภาพแวดล้อมการใช้งานว่าตรงกับความต้องการของคุณหรือไม่
