99.95 % 跟 99.995 % 聽起來只差 0.045 %。但 —— 穿透濾網的粒子數差 10 倍。
「多一個 9」就是貴一個數量級
依照 EN 1822 / ISO 29463 國際標準，高效濾網分成五個等級：
圖表 1：HEPA / ULPA 效率階梯（EN 1822 / ISO 29463）
每上升一階，「穿透數」降一個數量級 — 效率差 10 倍
| 等級 | 效率（@MPPS） | 每百萬顆穿透數 |
|---|---|---|
| H13 | 99.95 % | ≤ 500 顆 / 百萬 |
| H14 | 99.995 % | ≤ 50 顆 / 百萬 |
| U15 | 99.9995 % | ≤ 5 顆 / 百萬 |
| U16 | 99.99995 % | ≤ 0.5 顆 / 百萬 |
| U17 | 99.999995 % | ≤ 0.05 顆 / 百萬 |
效率 % 依 EN 1822 / ISO 29463 於 MPPS（最具穿透性粒徑，約 0.1–0.3 μm）量測。「穿透」= 每 100 萬顆挑戰粒子中通過濾網的顆數。
每上升一階，「穿透率」降一個數量級。換句話說：
- ▸H13（≥99.95 %）— 每 100 萬顆挑戰粒子最多穿透 500 顆
- ▸H14（≥99.995 %）— 最多 50 顆
- ▸U15（≥99.9995 %）— 最多 5 顆
- ▸U16（≥99.99995 %）— 最多 0.5 顆
- ▸U17（≥99.999995 %）— 最多 0.05 顆
效率從 H13 到 U17 差了 1 萬倍。這就是「多一個 9」真正的意義。
MPPS：濾網最弱的那一點
你可能以為濾網對越小的粒子越難擋。錯。
濾網捕捉靠三種機制混合運作：慣性撞擊（大粒子）、攔截（中粒子）、布朗擴散（小粒子）。在中間的 0.1–0.3 μm 區間，三種機制都不是最強 —— 這就是 MPPS（Most Penetrating Particle Size，最具穿透性粒徑）。
EN 1822 / ISO 29463 所有效率標示都以 MPPS 量測。不是在隨便的粒徑測、挑一個好看的數字寫上去 —— 是在濾網最弱的那一點測。
「H14 ≥99.995%」真正的意思是： 即使是最難擋的那種粒子，也只能讓 50 ppm 溜過去。
多花 27% 的壓損，買到什麼？
同樣尺寸（佰聖科技 610 × 610 × 292 mm）、同樣風量（1,000 CMH）：
圖表 2：H14 HEPA vs U15 ULPA 初始壓損比較
佰聖科技 610 × 610 × 292 mm 濾網，額定風量 1,000 CMH 實測值
壓損每高 60 Pa，風機功率約需多 10–15%；一支 FFU 一年多耗 200–400 kWh。過度升級 ULPA 不只增加採購成本，運維電費也會明顯增加。
U15 比 H14 高 60 Pa —— 壓損大約增加 27 %。
這 60 Pa 不是白給的。它代表：
- ▸風機要多 10–15 % 的功率才推得動空氣
- ▸一支 FFU 一年多耗 200–400 kWh（視運轉時數而定）
- ▸1,000 支 FFU 的晶圓廠，一年電費多燒數十萬
每多一個 9，壓損和能耗都會上去。該花的花，不該花的別花。
該選 HEPA 還是 ULPA？看你的 ISO Class
選 HEPA / ULPA 不是看「越高越好」—— 而是回到 ISO 14644-1 對潔淨度的要求：
圖表 3：ISO Class 與濾網等級對照
依 ISO 14644-1 潔淨度等級，對應建議的濾網等級與氣流型態
| ISO Class | 建議濾網 | 典型應用 | 氣流 |
|---|---|---|---|
| Class 3 (↓) | U15 / U16 ULPA | 先進半導體微影、EUV 光學區 | 層流 |
| Class 4–5 | H14 HEPA | 一般半導體、OLED、無菌製劑 | 層流 |
| Class 6–7 | H13 HEPA | 電子組裝、光學檢測、製藥 C/D | 紊流可 |
| Class 8–9 | 中/高效濾網 | 食品包裝、手術室周邊、一般無塵 | 紊流可 |
此為一般工程建議；實際選型須考量應用製程、粒徑控制目標、落塵限值與驗收狀態。ISO Class 1–2 已超出本表範圍，屬極端應用。
幾個直接的對照：
- ▸先進半導體微影 / EUV（ISO Class 3 以下）—— 必須用 U15 或 U16 ULPA
- ▸一般半導體、OLED、無菌製劑（ISO Class 4–5）—— H14 HEPA 就夠
- ▸電子組裝、光學檢測、醫藥 C/D 級（ISO Class 6–7）—— H13 HEPA 足矣
- ▸食品包裝、手術室周邊（ISO Class 8–9）—— 中/高效濾網即可
在 ISO Class 5 的無菌充填區硬上 U16，除了燒錢，沒有任何工程意義。反過來，在 EUV 光學區省錢用 H14，一片光罩就可能幾百萬報廢。
三個實務選型陷阱
陷阱 1：盲目追求最高等級
過度規格會同時推高初期採購成本和長期運維費用（更高壓損 = 更多電費）。先確認 ISO Class，再選濾網，不要反過來。
陷阱 2：只看平均效率，不看逐台 Scan Test
「整支濾網平均效率達到 H14」不代表局部沒有針孔洩漏。EN 1822-4 規定 H14 / U15 以上濾網必須做逐台掃瞄測試（Scan Test）—— 用移動式探頭掃過整片濾網，確認任何一點的局部穿透率都不超標。
進貨時一定要求原廠提供該支濾網的 Scan Test 報告。 沒有 Scan Test 就只是一張平均效率證書，局部洩漏它抓不出來。
陷阱 3：忘記設定「終壓損」= 換濾網的時機
濾網不會永遠維持初壓損。隨著粉塵累積，壓損會持續上升。工程實務建議：把終壓損設定為初壓損的 2–2.5 倍作為更換時機。
以 H14 HEPA 為例：初壓損 220 Pa → 終壓損訂 440–550 Pa。到了就換，別讓風機拖著高壓損跑，電費和壽命都會付代價。
結論：濾網不是越高級越好，是「剛好」最好
選 HEPA / ULPA，真正該問的不是「哪個最厲害」，而是：
- 1我的 ISO Class 要求多少？
- 2MPPS 的效率實際驗證過嗎？（要 Scan Test）
- 3壓損能耗和我的風機曲線匹配嗎？
- 4終壓損什麼時候到？要準備幾次更換預算？
選對等級比選貴的重要。
