HEPA 高效濾網技術完全指南

HEPA 最高等級 H14 對 0.1–0.3 微米粒子過濾 99.995%，ULPA U15 則達 99.9995%，滲透率差 10 倍。但 ULPA 壓損比 HEPA 高約 27%，耗能與換網成本也更高。半導體微影區、超高等級實驗室才值得升級 ULPA，一般製程用 H14 就夠。

廠內選用依 ISO 14644 等級決定：Class 5（FED 100）用 H14、Class 6–7 用 H13、Class 8 用 H12 即可。實測要用 PAO 或 DOP 掃描測試，現場逐點掃描濾網出風面，任一點穿透率超過 0.01% 就算漏。

家用標示的 99% 通常是 0.3μm HEPA 10–11 級，但晶圓廠在意的是 0.1μm 以下顆粒（會造成線寬缺陷與良率下降）。半導體採用三道防線——外氣 AHU 預過濾 → MAU 中效 → FFU 末端 HEPA/ULPA，每一層針對不同粒徑。

一般 HEPA 以玻纖濾材 + PU 或矽膠密封，70°C 以上密封膠就會軟化釋氣。擴散爐、LPCVD 等 350°C 環境必須用特殊耐高溫 HEPA（陶瓷纖維濾材 + 無機黏著），可連續運作到 350–500°C。

時間不是主要指標，要看三個觸發條件之一：① 壓差達到初始壓損 2 倍 ② PAO 掃描測試發現漏點 ③ 外觀或氣味異常。無塵室典型壽命 2–4 年，家電約 12 個月，但實際差異可達 3 倍以上。

ISO Class 1–9 每級粒子濃度相差 10 倍，從 Class 1（每 m³ 不到 10 顆 ≥0.1μm 粒子）到 Class 9（相當於一般辦公室）。對應濾網：Class 5 以上必須 H14+FFU、Class 7–8 用 H13、Class 9 用 H11–H12 即可。