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高效HEPA/ULPA濾網
HEPA / ULPA Filters
6款產品
HEPA 濾網（High Efficiency Particulate Air）與 ULPA 濾網（Ultra Low Particulate Air）為高潔淨度環境的核心過濾構件。依 EN 1822 規範，HEPA 等級涵蓋 H13（99.95%）、H14（99.995%）兩級；ULPA 等級涵蓋 U15、U16、U17，過濾效率最高可達 99.9999995%。市場常見的 H10、H11、H12 在 EN 1822 中屬 EPA（Efficient Particulate Air，高效）級別，效率自 85% 至 99.5%，多用於前段預過濾。HEPA 濾網測試基準採用 MPPS（Most Penetrating Particle Size，約 0.12~0.25μm），能最真實反映濾材在最難攔截粒徑區間的實際性能。
規格選項涵蓋標準鋁框凝膠液槽密封型、刀口密封型、不鏽鋼框耐腐蝕型、乾燥劑箱型，以及無分離器或鋁箔分離器結構。出廠前逐片進行 DOP / PAO 氣膠掃描測試，並附出廠檢測報告。選型須同步評估額定風量、初始壓損、框材相容性、密封機構與測試方法。
典型應用場域：半導體前段晶圓製造與後段封測、TFT-LCD 及 OLED 面板產線、BSL-2/3 生物安全實驗室、無菌藥品充填區、醫院正負壓手術房、PCR 檢驗空間。
常見問題
HEPA 濾網等級對照表：H10、H11、H12、H13、H14、U15 怎麼選？
依 EN 1822 規範：H13（99.95%）為基本 HEPA、H14（99.995%）為標準 HEPA、U15–U17 為 ULPA（99.9995%+）。市場常見的 H10/H11/H12 在 EN 1822 中屬 EPA（高效）級，效率 85%–99.5%，作為前濾段。對應 ISO 14644 潔淨度等級：Class 5 用 H14、Class 6–7 用 H13、Class 8 用 H12、Class 9 用 H11 即可。半導體微影區、奈米製程才升級 ULPA。
HEPA 濾網可以水洗嗎？
不可以。HEPA 濾網靠玻璃纖維濾材的細密結構與駐極體靜電效應攔截 0.3μm 微粒，水洗會破壞纖維結構與電荷，過濾效率永久下降。專業 HEPA 濾網（H13/H14）採一次性設計，達使用壽命應整片更換。市售可水洗的多為 G3/G4 初效級，效率僅 30%–95%，不能稱為真正 HEPA。
HEPA 濾網壽命多長？什麼時候要換？
取決於三個觸發條件，任一達標就該換：1) 壓損達初始值 2 倍（一般 1–3 年）、2) 潔淨度檢測不達標、3) 累計使用時間超過原廠建議（通常 18–36 個月）。半導體製程建議搭配壓差線上監測，比定時更換省 30%–40% 成本。佰聖提供現場壓差量測與更換建議服務。
HEPA 與 ULPA 的差別是什麼？
依 EN 1822 規範，HEPA 為 H13（99.95%）、H14（99.995%）；ULPA 為 U15（99.9995%）、U16（99.99995%）、U17（99.9999995%）。ULPA 用於比 HEPA 更嚴苛的場合，如半導體前段晶圓製造、奈米製程、BSL-4 實驗室。
MPPS 是什麼？為什麼以它為測試基準？
MPPS（Most Penetrating Particle Size）為最難攔截粒徑，約 0.12～0.25μm。EN 1822 以 MPPS 為測試基準能最真實反映濾材實際性能，相較於傳統以 0.3μm DOP 測試，MPPS 更嚴格、更能代表最差情況的過濾效率。
HEPA 濾網有哪些密封方式？
主要有凝膠液槽密封（Gel Seal）、刀口密封（Knife Edge）、墊片密封（Gasket）。凝膠液槽密封氣密性最佳、適用半導體無塵室；刀口密封適用生物安全櫃；墊片密封成本較低、適用一般潔淨等級需求。
HEPA 出廠前是否做單片測試？
是。佰聖科技所有 HEPA/ULPA 濾網出廠前逐片進行 DOP / PAO 氣膠掃描測試，並附出廠檢測報告（含測試風量、滲漏率、初始壓損等數據），可依客戶需求提供 Certificate of Conformance。