無塵室濾網 — 高效 HEPA / ULPA 濾網
HEPA / ULPA Filters
HEPA 濾網（High Efficiency Particulate Air）與 ULPA 濾網（Ultra Low Particulate Air）是無塵室濾網系統中高潔淨度環境的核心過濾構件。依 EN 1822 規範，HEPA 等級涵蓋 H13（99.95%）、H14（99.995%）兩級；ULPA 等級涵蓋 U15、U16、U17，過濾效率最高可達 99.9999995%。市場常見的 H10、H11、H12 在 EN 1822 中屬 EPA（Efficient Particulate Air，高效）級別，效率自 85% 至 99.5%，多用於前段預過濾。HEPA 濾網測試基準採用 MPPS（Most Penetrating Particle Size，約 0.12~0.25μm），能最真實反映濾材在最難攔截粒徑區間的實際性能。
規格選項涵蓋標準鋁框凝膠液槽密封型、刀口密封型、不鏽鋼框耐腐蝕型、乾燥劑箱型，以及無分離器或鋁箔分離器結構。出廠前逐片進行 DOP / PAO 氣膠掃描測試，並附出廠檢測報告。選型須同步評估額定風量、初始壓損、框材相容性、密封機構與測試方法。
典型應用場域：半導體前段晶圓製造與後段封測、TFT-LCD 及 OLED 面板產線、BSL-2/3 生物安全實驗室、無菌藥品充填區、醫院正負壓手術房、PCR 檢驗空間。
無塵室濾網選型須依 ISO 14644-1 潔淨等級對應適當濾網規格：ISO Class 1–3 環境需搭配 ULPA U15–U17 濾網；ISO Class 4–5（半導體前段潔淨室）建議使用 HEPA H14（99.995%）；ISO Class 6（一般無塵室）適用 HEPA H13（99.95%）；ISO Class 7–8（包裝區、實驗室）可選用 EPA 級 H10–H12。實際選型須同步考量天花板覆蓋率 [需查證]、FFU 迴風比例與終端安裝方式（液槽式 vs 刀口式）。
多段式過濾組合策略能有效延長無塵室濾網壽命並降低總持有成本（TCO）。典型配置為三段式：初效濾網（G4）攔截 5μm 以上粗粒子 → 中效濾網（F7–F9）過濾 1–5μm 細粒子 → HEPA/ULPA 終端過濾。中效濾網的品質直接決定 HEPA 壽命，配置得當可延長 HEPA 使用壽命 2–3 倍 [需查證]，大幅降低更換頻率與停機成本。
