Bộ lọc HEPA/ULPA hiệu suất cao

Màng lọc HEPA (High Efficiency Particulate Air) và màng lọc ULPA (Ultra Low Particulate Air) là cấu phần lọc cốt lõi cho môi trường độ sạch cao. Theo EN 1822, cấp HEPA gồm H13 (99,95%) và H14 (99,995%); cấp ULPA gồm U15, U16, U17, hiệu suất lọc đạt tới 99,9999995%. Các cấp H10, H11, H12 phổ biến trên thị trường được phân loại là EPA (Efficient Particulate Air, hiệu quả cao) theo EN 1822, hiệu suất 85%–99,5%, thường dùng làm tiền lọc. Màng lọc HEPA sử dụng tiêu chuẩn kiểm tra MPPS (Most Penetrating Particle Size, khoảng 0,12–0,25μm) phản ánh chính xác nhất hiệu suất thực tế tại dải kích thước hạt khó thu giữ nhất.

Các tùy chọn quy cách gồm loại khung nhôm tiêu chuẩn niêm phong gel lỏng, loại niêm phong dao cạnh, loại khung inox chống ăn mòn, và loại hộp chất hút ẩm, với tấm ngăn lá nhôm, keo nóng chảy hoặc không có tấm ngăn. Mỗi đơn vị được kiểm tra quét aerosol DOP/PAO riêng lẻ tại nhà máy và kèm báo cáo kiểm tra xuất xưởng. Chọn lựa cần đánh giá lưu lượng định mức, tổn thất áp ban đầu, tính tương thích vật liệu khung, cơ cấu niêm phong và phương pháp kiểm tra.

Ứng dụng điển hình: sản xuất wafer bán dẫn công đoạn đầu và đóng gói công đoạn sau, dây chuyền sản xuất màn hình TFT-LCD và OLED, phòng thí nghiệm an toàn sinh học BSL-2/3, khu vực chiết rót dược phẩm vô khuẩn, phòng mổ áp suất dương và âm bệnh viện, cơ sở xét nghiệm PCR.