FFU ファンフィルターユニット

製品概要

FFU（Fan Filter Unit）は、ファンと HEPA／ULPA フィルターを一体化した自蔵動力の送風モジュールで、クリーンルーム天井のシールグリッドに直接取り付けます。上部がファンモジュール、下部がフィルターで、ダクトを設けずに指定エリアへ清浄空気を供給できます。各ユニットが動力を持つため、ゾーンごとの発停と風量調整が可能です。生産ラインの改造時はモジュールを移設・増設するだけで、ダクトの作り直しは不要です。上部のチャンバーは清浄区に対して負圧に保たれるため、チャンバー内の粒子が室内へ押し出されることがなく、シール施工も正圧ダクト方式より単純になります。

特長・仕様

►**捕集効率**：≥99.99～99.999% @0.3μm（US Fed. Std. 209E） ►**本体材質**：ガルバリウム鋼板／ステンレス板／冷延鋼板焼付塗装／PP ►**羽根車**：アルミ／ステンレス／ナイロン ►**モーター出力**：80 W（輸入外転型遠心ファン） ►**電源**：AC 220～240V 50Hz ►**回転数段階**：高速／中速／低速の 3 段階 ►**構造形式**：乾式シール FFU／液槽式シール FFU

仕様表

型式	モジュール寸法 mm	フィルター寸法 mm	風量 m³/min	面風速 m/s	消費電流 A	騒音 dB
4′×4′	1175×1175×320	1170×1170×70	40	0.55	1.3	≤58
2′×4′	1175×575×320	1170×570×70	32	0.45	1.0	≤52
2′×2′	575×575×320	570×570×70	24	0.35	0.8	≤46

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詳細説明

動力を内蔵するからレイアウトを変えられる

ダクト式送風系統は一度完成すると吹出位置が固定されます。半導体・パネル工場は 2〜3 年ごとにラインを改造し、そのたびにダクト工事が発生します。 FFU はファンをモジュール内に収めた独立送風ユニットです。モジュールを置いた場所が吹出口になり、必要風量は稼働台数で決まります。ライン改造時はモジュールを移すだけで、天井グリッドは触りません。使わないユニットは密封保管して次の案件で再利用でき、埋没費用になりません。

チャンバーを負圧に保つ理由

FFU 自体が静圧を発生させ、上部チャンバーを清浄区より低い圧力に保ちます。したがって隙間があっても空気は清浄区からチャンバーへ流れ、逆流しません。チャンバー内の堆積粉塵が室内へ押し出されることがないということです。正圧のダクト方式はこの逆で、継手の不備があれば管内の粒子が室内へ押し出されます。これが高清浄度域における FFU の構造的な優位であり、シール工法を簡素化できる理由です。

選定を決める 3 つの数値

- **面風速**：垂直一方向流のクリーンルームは 0.35〜0.55 m/s に設定するのが一般的です。風速は一方向流を維持して粒子を排出できるかを左右し、必要台数を直接決めます。 - **騒音**：FFU は連続運転の設備で、作業者との距離は 2〜3 m です。高速と低速の差は約 12 dB あり、実務では中速を常用し、高速は立ち上げと異常回復に使います。 - **フィルター等級**：HEPA と ULPA では圧力損失が異なります。ファンはフィルター抵抗に加えて循環経路全体の抵抗に打ち勝つ必要があり、等級選定を誤ると風量不足として即座に現れます。

乾式と液槽式

乾式 FFU はガスケットシール方式で、施工が速くコストも低く、多くの電子工場で標準的に採用されています。液槽式はグリッド上に液槽を設け、フィルター枠をシール剤に差し込んで連続したシール面を形成します。漏れ率要求の厳しい製薬・高清浄度区画に適しますが、グリッド系統が複雑になり、保守時に液面管理が必要です。