日本無機專區
ATMCH-SL 250°C 無矽耐高溫大風量 HEPA 濾網
產品概述
ATMCH-SL 為 ATMCH 的無矽（Silicone-Free）版本，連續使用 250°C，效率 99.97% @ 0.3 μm。專為半導體或對矽污染敏感的製程設計，所有材料均不含矽化合物。
主要特色
・連續使用 250°C
・過濾效率 99.97% @ 0.3 μm
・完全無矽（Silicone-Free）
・適合半導體製程與 AMC 敏感環境
適用產業：醫療、製藥、電子、發電、核能
產品特性
| 編號 | 型號 | 過濾效率 | W (mm) | H (mm) | D (mm) | 風量 (CMM) | 風量 (CMH) | 初期壓損 (Pa) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | ATMCH-Z-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 305 | 305 | 150 | 6.0 | 360 | 249 |
| 2 | ATMCH-Z-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 305 | 610 | 150 | 12.5 | 750 | 249 |
| 3 | ATMCH-Z-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 457 | 457 | 150 | 14.5 | 870 | 249 |
| 4 | ATMCH-28-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 610 | 610 | 150 | 28.0 | 1680 | 249 |
| 5 | ATMCH-Z-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 915 | 610 | 150 | 43.0 | 2580 | 249 |
| 6 | ATMCH-Z-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 305 | 610 | 290 | 18.5 | 1110 | 249 |
| 7 | ATMCH-Z-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 457 | 610 | 290 | 29.5 | 1770 | 249 |
| 8 | ATMCH-41-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 610 | 610 | 290 | 41.0 | 2460 | 249 |
| 9 | ATMCH-Z-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 762 | 610 | 290 | 52.0 | 3120 | 249 |
| 10 | ATMCH-Z-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 1000 | 760 | 292 | 87.5 | 5250 | 249 |
詳細說明
ATMCH-SL 針對半導體、光電等對 Si-AMC（矽類空氣分子污染物）敏感的製程開發。所有密封材、黏著劑均不使用矽類化合物，避免濾網本體成為污染源。
材質與結構
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 框架 | STAINLESS STEEL |
| 濾材 | GLASS PAPER |
| 最高使用溫度 | 250°C |
| 分隔板 | ALUMINUM |
| 墊片 | PTFE |
| 出風護網 | - |
| 進風護網 | - |
| 密封膠 | GLASS FIBER |
| 最大風量 | Can be calculated on request |
| 最大終期壓損 | 498 |
