日本無機
ATMCH-SL 250°C ノンシリコン耐熱大風量 HEPA
製品概要
ATMCH-SL は ATMCH のノンシリコン版で、連続使用 250°C、捕集効率 99.97% @ 0.3 μm。半導体プロセスなどシリコン汚染に敏感な用途向けに、全材料からシリコン化合物を排除しました。
主な特長
・連続使用 250°C
・捕集効率 99.97% @ 0.3 μm
・完全ノンシリコン
・半導体・Si-AMC 敏感環境に対応
対象業界：医療、医薬、電子、発電、原子力
特長・仕様
| No. | 型式 | 捕集効率 | W (mm) | H (mm) | D (mm) | 風量 (CMM) | 風量 (CMH) | 初期圧損 (Pa) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | ATMCH-Z-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 305 | 305 | 150 | 6.0 | 360 | 249 |
| 2 | ATMCH-Z-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 305 | 610 | 150 | 12.5 | 750 | 249 |
| 3 | ATMCH-Z-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 457 | 457 | 150 | 14.5 | 870 | 249 |
| 4 | ATMCH-28-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 610 | 610 | 150 | 28.0 | 1680 | 249 |
| 5 | ATMCH-Z-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 915 | 610 | 150 | 43.0 | 2580 | 249 |
| 6 | ATMCH-Z-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 305 | 610 | 290 | 18.5 | 1110 | 249 |
| 7 | ATMCH-Z-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 457 | 610 | 290 | 29.5 | 1770 | 249 |
| 8 | ATMCH-41-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 610 | 610 | 290 | 41.0 | 2460 | 249 |
| 9 | ATMCH-Z-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 762 | 610 | 290 | 52.0 | 3120 | 249 |
| 10 | ATMCH-Z-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 1000 | 760 | 292 | 87.5 | 5250 | 249 |
詳細説明
ATMCH-SL は半導体、光学などシリコン系空気分子汚染物（Si-AMC）に敏感なプロセス向けに開発。シール剤・接着剤にシリコン化合物を使用しないため、フィルター自体が汚染源となりません。
材質と構造
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| フレーム | STAINLESS STEEL |
| 濾材 | GLASS PAPER |
| 最高使用温度 | 250°C |
| セパレーター | ALUMINUM |
| ガスケット | PTFE |
| グリル（下流） | - |
| グリル（上流） | - |
| シール剤 | GLASS FIBER |
| 最大風量 | Can be calculated on request |
| 最大終期圧損 (Pa) | 498 |
