NIPPON MUKI 전용관
ATMCH-SL 250°C 무실리콘 내열 대풍량 HEPA 필터
제품 개요
ATMCH-SL은 ATMCH의 무실리콘(Silicone-Free) 버전으로 250°C에서 연속 사용하며 효율은 0.3 μm 기준 99.97%입니다. 반도체나 실리콘 오염에 민감한 공정을 위해 설계했으며 모든 재료에 규소 화합물이 들어 있지 않습니다.
주요 특징
・250°C 연속 사용
・여과 효율 99.97% @ 0.3 μm
・완전 무실리콘(Silicone-Free)
・반도체 공정과 AMC 민감 환경에 적합
적용 산업: 의료, 제약, 전자, 발전, 원자력
제품 특성
| No. | Model | Efficiency | W (mm) | H (mm) | D (mm) | Airflow (CMM) | Airflow (CMH) | Initial PD (Pa) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | ATMCH-Z-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 305 | 305 | 150 | 6.0 | 360 | 249 |
| 2 | ATMCH-Z-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 305 | 610 | 150 | 12.5 | 750 | 249 |
| 3 | ATMCH-Z-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 457 | 457 | 150 | 14.5 | 870 | 249 |
| 4 | ATMCH-28-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 610 | 610 | 150 | 28.0 | 1680 | 249 |
| 5 | ATMCH-Z-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 915 | 610 | 150 | 43.0 | 2580 | 249 |
| 6 | ATMCH-Z-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 305 | 610 | 290 | 18.5 | 1110 | 249 |
| 7 | ATMCH-Z-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 457 | 610 | 290 | 29.5 | 1770 | 249 |
| 8 | ATMCH-41-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 610 | 610 | 290 | 41.0 | 2460 | 249 |
| 9 | ATMCH-Z-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 762 | 610 | 290 | 52.0 | 3120 | 249 |
| 10 | ATMCH-Z-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 1000 | 760 | 292 | 87.5 | 5250 | 249 |
상세 설명
ATMCH-SL is developed for semiconductor, photonics and similar processes sensitive to silicone-based airborne molecular contaminants (Si-AMC). All sealants and adhesives avoid silicone compounds so the filter itself is not a contamination source.
Materials & Construction
| Property | Specification |
|---|---|
| Filter frame | STAINLESS STEEL |
| Media | GLASS PAPER |
| Max. temperature | 250°C |
| Separator | ALUMINUM |
| Gasket | PTFE |
| Grille (downstream) | - |
| Grille (upstream) | - |
| Sealant | GLASS FIBER |
| Max airflow | Can be calculated on request |
| Max final PD (Pa) | 498 |
