NIPPON MUKI 전용관
ATMCH-SL 250°C 무실리콘 내열 대풍량 HEPA 필터
제품 개요
ATMCH-SL은 ATMCH의 무실리콘(Silicone-Free) 버전으로 250°C에서 연속 사용하며 효율은 0.3 μm 기준 99.97%입니다. 반도체나 실리콘 오염에 민감한 공정을 위해 설계했으며 모든 재료에 규소 화합물이 들어 있지 않습니다.
주요 특징
・250°C 연속 사용
・여과 효율 99.97% @ 0.3 μm
・완전 무실리콘(Silicone-Free)
・반도체 공정과 AMC 민감 환경에 적합
적용 산업: 의료, 제약, 전자, 발전, 원자력
주요 규격
- 여과 효율
- 99.97%@0.3μm
- 정격 풍량
- 6 – 87.5 CMM (360 – 5250 CMH)
- 초기 압력손실
- 249 Pa
- 최고 사용 온도
- 250°C
규격 총표
- 여과 효율
- 99.97%@0.3μm
- 정격 풍량
- 6 – 87.5 CMM (360 – 5250 CMH)
- 초기 압력손실
- 249 Pa
- 표준 치수
- W 305–1000 × H 305–760 × D 150–292 mm
- 최고 사용 온도
- 250°C
모델 대조표
| 번호 | 모델 | 여과 효율 | W (mm) | H (mm) | D (mm) | 풍량 (CMM) | 풍량 (CMH) | 초기 압력손실 (Pa) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | ATMCH-Z-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 305 | 305 | 150 | 6.0 | 360 | 249 |
| 2 | ATMCH-Z-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 305 | 610 | 150 | 12.5 | 750 | 249 |
| 3 | ATMCH-Z-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 457 | 457 | 150 | 14.5 | 870 | 249 |
| 4 | ATMCH-28-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 610 | 610 | 150 | 28.0 | 1680 | 249 |
| 5 | ATMCH-Z-Q-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 915 | 610 | 150 | 43.0 | 2580 | 249 |
| 6 | ATMCH-Z-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 305 | 610 | 290 | 18.5 | 1110 | 249 |
| 7 | ATMCH-Z-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 457 | 610 | 290 | 29.5 | 1770 | 249 |
| 8 | ATMCH-41-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 610 | 610 | 290 | 41.0 | 2460 | 249 |
| 9 | ATMCH-Z-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 762 | 610 | 290 | 52.0 | 3120 | 249 |
| 10 | ATMCH-Z-P-SLS4 | 99.97%@0.3μm | 1000 | 760 | 292 | 87.5 | 5250 | 249 |
상세 설명
ATMCH-SL은 반도체, 광전자처럼 Si-AMC(규소계 공기 분자 오염물질)에 민감한 공정을 겨냥해 개발했습니다. 모든 실링재와 접착제에 규소계 화합물을 쓰지 않아 필터 본체가 오염원이 되는 것을 막습니다.
재질과 구조
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 프레임 | STAINLESS STEEL |
| 여재 | GLASS PAPER |
| 최고 사용 온도 | 250°C |
| 세퍼레이터 | ALUMINUM |
| 개스킷 | PTFE |
| 토출측 보호망 | - |
| 흡입측 보호망 | - |
| 실링재 | GLASS FIBER |
| 최대 풍량 | Can be calculated on request |
| 최대 최종 압력손실 | 498 |








