Nouvelle TGMC 低有機物/低硼大風量 HEPA 濾網

產品概述

TGMC 為同時低有機物＋低硼的分隔板型 HEPA 濾網，效率 99.97% @ 0.3 μm。同時控制有機物與硼兩類 AMC，為半導體前沿製程大風量應用的最高等級。主要特色・同時低有機物＋低硼・HEPA 效率 99.97% @ 0.3 μm ・分隔板型（大風量）・14nm 以下製程大風量標配適用產業：醫療、製藥、電子

產品特性

編號	型號	過濾效率	W (mm)	H (mm)	D (mm)	風量 (CMM)	風量 (CMH)	初期壓損 (Pa)
1	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	305	305	150	6.0	360	249
2	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	305	610	150	13.0	780	249
3	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	457	610	150	20.5	1230	249
4	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	610	610	150	28.0	1680	249
5	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	762	610	150	35.0	2100	249
6	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	915	610	150	42.5	2550	249
7	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	1220	610	150	57.5	3450	249
8	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	1500	760	150	90.0	5400	249
9	TGMC-Z-E42	99.97%@0.3μm	305	305	290	8.5	510	249
10	TGMC-Z-E42	99.97%@0.3μm	305	610	290	19.0	1140	249
11	TGMC-Z-E42	99.97%@0.3μm	457	610	290	30.0	1800	249
12	TGMC-41-E42	99.97%@0.3μm	610	610	290	41.0	2460	249
13	TGMC-51-E42	99.97%@0.3μm	760	610	290	51.0	3060	249
14	TGMC-Z-E42	99.97%@0.3μm	1500	760	290	132.0	7920	249
15	TGMC-50-E42T	99.97%@0.3μm	610	610	290	50	3000	249±20
16	TGMC-62-E42T	99.97%@0.3μm	760	610	290	62	3720	249±20
17	TGMC-56-E48T	99.97%@0.3μm	610	610	290	56	3360	285

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電話：(02) 2598-1958

詳細說明

TGMC 整合了 TG（低有機物）與 BG（低硼）兩大規格，分隔板型結構提供大風量。為 14nm 以下晶圓廠需要大風量且對兩類 AMC 都敏感的系統設計。

材質與結構

項目	規格
框架	ALUMINUM
濾材	GLASS PAPER
最高使用溫度	60°C
相對濕度	60%RH
分隔板	ALUMINUM
墊片	EPDM
出風護網	-
進風護網	-
密封膠	POLYURETHANE RESIN
最大風量	Can be calculated on request
最大終期壓損	498