Nouvelle TGMC 저유기물·저붕소 대풍량 HEPA 필터

제품 개요

TGMC는 저유기물과 저붕소를 동시에 만족하는 세퍼레이터형 HEPA 필터로 효율은 0.3 μm 기준 99.97%입니다. 유기물과 붕소 두 종류의 AMC를 함께 제어하여 반도체 선단 공정의 대풍량 용도에서 최고 등급을 이룹니다. 주요 특징 ・저유기물과 저붕소를 동시에 충족 ・HEPA 효율 99.97% @ 0.3 μm ・세퍼레이터형(대풍량) ・14nm 이하 공정 대풍량 표준 사양 적용 산업: 의료, 제약, 전자

제품 특성

No.	Model	Efficiency	W (mm)	H (mm)	D (mm)	Airflow (CMM)	Airflow (CMH)	Initial PD (Pa)
1	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	305	305	150	6.0	360	249
2	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	305	610	150	13.0	780	249
3	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	457	610	150	20.5	1230	249
4	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	610	610	150	28.0	1680	249
5	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	762	610	150	35.0	2100	249
6	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	915	610	150	42.5	2550	249
7	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	1220	610	150	57.5	3450	249
8	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	1500	760	150	90.0	5400	249
9	TGMC-Z-E42	99.97%@0.3μm	305	305	290	8.5	510	249
10	TGMC-Z-E42	99.97%@0.3μm	305	610	290	19.0	1140	249
11	TGMC-Z-E42	99.97%@0.3μm	457	610	290	30.0	1800	249
12	TGMC-41-E42	99.97%@0.3μm	610	610	290	41.0	2460	249
13	TGMC-51-E42	99.97%@0.3μm	760	610	290	51.0	3060	249
14	TGMC-Z-E42	99.97%@0.3μm	1500	760	290	132.0	7920	249
15	TGMC-50-E42T	99.97%@0.3μm	610	610	290	50	3000	249±20
16	TGMC-62-E42T	99.97%@0.3μm	760	610	290	62	3720	249±20
17	TGMC-56-E48T	99.97%@0.3μm	610	610	290	56	3360	285

견적 문의

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Email：sales@baisheng-tech.com

전화：+886-2-2598-1958

상세 설명

TGMC integrates both TG (low-organic) and BG (low-boron) specifications in a separator-type high-airflow frame. Designed for high-flow systems in ≤14 nm fabs that are sensitive to both AMC classes.

Materials & Construction

Property	Specification
Filter frame	ALUMINUM
Media	GLASS PAPER
Max. temperature	60°C
Relative humidity	60%RH
Separator	ALUMINUM
Gasket	EPDM
Grille (downstream)	-
Grille (upstream)	-
Sealant	POLYURETHANE RESIN
Max airflow	Can be calculated on request
Max final PD (Pa)	498