Nouvelle TGMC 저유기물·저붕소 대풍량 HEPA 필터

제품 개요

TGMC는 저유기물과 저붕소를 동시에 만족하는 세퍼레이터형 HEPA 필터로 효율은 0.3 μm 기준 99.97%입니다. 유기물과 붕소 두 종류의 AMC를 함께 제어하여 반도체 선단 공정의 대풍량 용도에서 최고 등급을 이룹니다. 주요 특징 ・저유기물과 저붕소를 동시에 충족 ・HEPA 효율 99.97% @ 0.3 μm ・세퍼레이터형(대풍량) ・14nm 이하 공정 대풍량 표준 사양 적용 산업: 의료, 제약, 전자

주요 규격

여과 효율: 99.97%@0.3μm
정격 풍량: 6 – 132 CMM (360 – 7920 CMH)
초기 압력손실: 249 – 285 Pa
표준 치수: W 305–1500 × H 305–760 × D 150–290 mm

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규격 총표

여과 효율: 99.97%@0.3μm
정격 풍량: 6 – 132 CMM (360 – 7920 CMH)
초기 압력손실: 249 – 285 Pa
표준 치수: W 305–1500 × H 305–760 × D 150–290 mm

모델 대조표

번호	모델	여과 효율	W (mm)	H (mm)	D (mm)	풍량 (CMM)	풍량 (CMH)	초기 압력손실 (Pa)
1	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	305	305	150	6.0	360	249
2	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	305	610	150	13.0	780	249
3	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	457	610	150	20.5	1230	249
4	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	610	610	150	28.0	1680	249
5	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	762	610	150	35.0	2100	249
6	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	915	610	150	42.5	2550	249
7	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	1220	610	150	57.5	3450	249
8	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	1500	760	150	90.0	5400	249
9	TGMC-Z-E42	99.97%@0.3μm	305	305	290	8.5	510	249
10	TGMC-Z-E42	99.97%@0.3μm	305	610	290	19.0	1140	249
11	TGMC-Z-E42	99.97%@0.3μm	457	610	290	30.0	1800	249
12	TGMC-41-E42	99.97%@0.3μm	610	610	290	41.0	2460	249
13	TGMC-51-E42	99.97%@0.3μm	760	610	290	51.0	3060	249
14	TGMC-Z-E42	99.97%@0.3μm	1500	760	290	132.0	7920	249
15	TGMC-50-E42T	99.97%@0.3μm	610	610	290	50	3000	249±20
16	TGMC-62-E42T	99.97%@0.3μm	760	610	290	62	3720	249±20
17	TGMC-56-E48T	99.97%@0.3μm	610	610	290	56	3360	285

상세 설명

TGMC는 TG(저유기물)와 BG(저붕소) 두 규격을 통합했으며 세퍼레이터형 구조로 대풍량을 제공합니다. 14nm 이하 웨이퍼 공장에서 대풍량이 필요하면서 두 종류의 AMC 모두에 민감한 시스템을 위해 설계했습니다.

재질과 구조

항목	사양
프레임	ALUMINUM
여재	GLASS PAPER
최고 사용 온도	60°C
상대 습도	60%RH
세퍼레이터	ALUMINUM
개스킷	EPDM
토출측 보호망	-
흡입측 보호망	-
실링재	POLYURETHANE RESIN
최대 풍량	Can be calculated on request
최대 최종 압력손실	498