NIPPON MUKI
Filtro HEPA de alto caudal, baja emisión orgánica y bajo boro Nouvelle TGMC
Descripción del producto
TGMC es un filtro HEPA de tipo separador con baja emisión orgánica y bajo boro de forma simultánea, y una eficiencia del 99,97% @ 0,3 μm. Controla a la vez los AMC orgánicos y los de boro: es el grado más alto para aplicaciones de alto caudal en nodos de semiconductores de vanguardia.
Características principales
・Baja emisión orgánica y bajo boro de forma simultánea
・HEPA 99,97% @ 0,3 μm
・Tipo separador (alto caudal)
・Estándar para procesos de alto caudal por debajo de 14 nm
Sectores destinatarios：Sanitario, Farmacéutico, Electrónica
Características y especificaciones
| N.º | Modelo | Eficiencia | An (mm) | Al (mm) | P (mm) | Caudal (CMM) | Caudal (CMH) | ΔP inicial (Pa) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | TGMC-Z-E4 | 99.97%@0.3μm | 305 | 305 | 150 | 6.0 | 360 | 249 |
| 2 | TGMC-Z-E4 | 99.97%@0.3μm | 305 | 610 | 150 | 13.0 | 780 | 249 |
| 3 | TGMC-Z-E4 | 99.97%@0.3μm | 457 | 610 | 150 | 20.5 | 1230 | 249 |
| 4 | TGMC-Z-E4 | 99.97%@0.3μm | 610 | 610 | 150 | 28.0 | 1680 | 249 |
| 5 | TGMC-Z-E4 | 99.97%@0.3μm | 762 | 610 | 150 | 35.0 | 2100 | 249 |
| 6 | TGMC-Z-E4 | 99.97%@0.3μm | 915 | 610 | 150 | 42.5 | 2550 | 249 |
| 7 | TGMC-Z-E4 | 99.97%@0.3μm | 1220 | 610 | 150 | 57.5 | 3450 | 249 |
| 8 | TGMC-Z-E4 | 99.97%@0.3μm | 1500 | 760 | 150 | 90.0 | 5400 | 249 |
| 9 | TGMC-Z-E42 | 99.97%@0.3μm | 305 | 305 | 290 | 8.5 | 510 | 249 |
| 10 | TGMC-Z-E42 | 99.97%@0.3μm | 305 | 610 | 290 | 19.0 | 1140 | 249 |
| 11 | TGMC-Z-E42 | 99.97%@0.3μm | 457 | 610 | 290 | 30.0 | 1800 | 249 |
| 12 | TGMC-41-E42 | 99.97%@0.3μm | 610 | 610 | 290 | 41.0 | 2460 | 249 |
| 13 | TGMC-51-E42 | 99.97%@0.3μm | 760 | 610 | 290 | 51.0 | 3060 | 249 |
| 14 | TGMC-Z-E42 | 99.97%@0.3μm | 1500 | 760 | 290 | 132.0 | 7920 | 249 |
| 15 | TGMC-50-E42T | 99.97%@0.3μm | 610 | 610 | 290 | 50 | 3000 | 249±20 |
| 16 | TGMC-62-E42T | 99.97%@0.3μm | 760 | 610 | 290 | 62 | 3720 | 249±20 |
| 17 | TGMC-56-E48T | 99.97%@0.3μm | 610 | 610 | 290 | 56 | 3360 | 285 |
Descripción detallada
El TGMC integra a la vez las especificaciones TG (baja emisión orgánica) y BG (bajo boro) en un marco de alto caudal de tipo separador. Diseñado para sistemas de alto caudal en fábricas de 14 nm o menos sensibles a ambas clases de AMC.
Materiales y construcción
| Propiedad | Especificación |
|---|---|
| Marco del filtro | ALUMINIO |
| Medio filtrante | PAPEL DE VIDRIO |
| Temperatura máxima | 60°C |
| Humedad relativa | 60%HR |
| Separador | ALUMINIO |
| Junta | EPDM |
| Rejilla (aguas abajo) | - |
| Rejilla (aguas arriba) | - |
| Sellante | RESINA DE POLIURETANO |
| Caudal máximo | Calculable bajo pedido |
| ΔP final máxima (Pa) | 498 |
Airflow vs Pressure Drop (representative)
Aplicaciones
- UTA de alto caudal en fábricas de menos de 14 nm - Entorno de equipos de litografía EUV / DUV - Climatización centralizada para zonas de recubrimiento fotorresistenteNotas de selección
- Versión mini-pleats → TGML (baja ΔP). - Solo bajo boro → el BGMC es más económico. - Solo baja emisión orgánica → consulte una solución a medida.Referencias de selección
Antes de pedir, verifique el grado de eficiencia, el tipo de medio filtrante y si el entorno de trabajo se ajusta a sus requisitos.
