Nouvelle TGMC 低有機物/低ボロン大風量 HEPA フィルター

製品概要

TGMC は低有機物＋低ボロンを同時実現したセパレーター型 HEPA フィルターで、捕集効率 99.97% @ 0.3 μm。有機物・ボロンの両 AMC を同時制御、半導体先端プロセスの大風量用途向け最高等級です。主な特長・低有機物＋低ボロンを同時実現・HEPA 99.97% @ 0.3 μm ・セパレーター型（大風量）・14 nm 以下大風量プロセスの標準対象業界：医療、医薬、電子

特長・仕様

No.	型式	捕集効率	W (mm)	H (mm)	D (mm)	風量 (CMM)	風量 (CMH)	初期圧損 (Pa)
1	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	305	305	150	6.0	360	249
2	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	305	610	150	13.0	780	249
3	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	457	610	150	20.5	1230	249
4	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	610	610	150	28.0	1680	249
5	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	762	610	150	35.0	2100	249
6	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	915	610	150	42.5	2550	249
7	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	1220	610	150	57.5	3450	249
8	TGMC-Z-E4	99.97%@0.3μm	1500	760	150	90.0	5400	249
9	TGMC-Z-E42	99.97%@0.3μm	305	305	290	8.5	510	249
10	TGMC-Z-E42	99.97%@0.3μm	305	610	290	19.0	1140	249
11	TGMC-Z-E42	99.97%@0.3μm	457	610	290	30.0	1800	249
12	TGMC-41-E42	99.97%@0.3μm	610	610	290	41.0	2460	249
13	TGMC-51-E42	99.97%@0.3μm	760	610	290	51.0	3060	249
14	TGMC-Z-E42	99.97%@0.3μm	1500	760	290	132.0	7920	249
15	TGMC-50-E42T	99.97%@0.3μm	610	610	290	50	3000	249±20
16	TGMC-62-E42T	99.97%@0.3μm	760	610	290	62	3720	249±20
17	TGMC-56-E48T	99.97%@0.3μm	610	610	290	56	3360	285

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詳細説明

TGMC は TG（低有機物）と BG（低ボロン）の両仕様をセパレーター型大風量フレームに統合。14 nm 以下ウェハーファブの大風量系統で、両 AMC クラスに敏感なシステム向けに設計。

材質と構造

項目	仕様
フレーム	ALUMINUM
濾材	GLASS PAPER
最高使用温度	60°C
相対湿度	60%RH
セパレーター	ALUMINUM
ガスケット	EPDM
グリル（下流）	-
グリル（上流）	-
シール剤	POLYURETHANE RESIN
最大風量	Can be calculated on request
最大終期圧損 (Pa)	498