โซน NIPPON MUKI
แผ่นกรอง HEPA สารอินทรีย์ต่ำ/โบรอนต่ำ อัตราลมสูง Nouvelle TGMC
รายละเอียดสินค้า
TGMC เป็นแผ่นกรอง HEPA แบบมีแผ่นคั่นที่ทั้งสารอินทรีย์ต่ำและโบรอนต่ำพร้อมกัน ประสิทธิภาพ 99.97% @ 0.3 μm ควบคุม AMC ทั้งสองประเภทในตัวเดียว จึงเป็นระดับสูงสุดสำหรับงานอัตราลมสูงที่โหนดเซมิคอนดักเตอร์แนวหน้า
คุณสมบัติเด่น
・สารอินทรีย์ต่ำและโบรอนต่ำพร้อมกัน
・HEPA 99.97% @ 0.3 μm
・โครงสร้างแบบมีแผ่นคั่น (อัตราลมสูง)
・สเปกมาตรฐานของงานลมปริมาณมากที่โหนดต่ำกว่า 14 นาโนเมตร
อุตสาหกรรมเป้าหมาย：การแพทย์ เภสัชกรรม อิเล็กทรอนิกส์
สเปกสำคัญ
- ประสิทธิภาพการกรอง
- 99.97%@0.3μm
- อัตราลมพิกัด
- 6 – 132 CMM (360 – 7920 CMH)
- ความดันตกเริ่มต้น
- 249 – 285 Pa
- ขนาดมาตรฐาน
- W 305–1500 × H 305–760 × D 150–290 mm
ตารางสเปก
- ประสิทธิภาพการกรอง
- 99.97%@0.3μm
- อัตราลมพิกัด
- 6 – 132 CMM (360 – 7920 CMH)
- ความดันตกเริ่มต้น
- 249 – 285 Pa
- ขนาดมาตรฐาน
- W 305–1500 × H 305–760 × D 150–290 mm
ตารางเทียบรุ่น
| ลำดับ | รุ่น | ประสิทธิภาพ | W (mm) | H (mm) | D (mm) | อัตราลม (CMM) | อัตราลม (CMH) | ความดันตกเริ่มต้น (Pa) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | TGMC-Z-E4 | 99.97%@0.3μm | 305 | 305 | 150 | 6.0 | 360 | 249 |
| 2 | TGMC-Z-E4 | 99.97%@0.3μm | 305 | 610 | 150 | 13.0 | 780 | 249 |
| 3 | TGMC-Z-E4 | 99.97%@0.3μm | 457 | 610 | 150 | 20.5 | 1230 | 249 |
| 4 | TGMC-Z-E4 | 99.97%@0.3μm | 610 | 610 | 150 | 28.0 | 1680 | 249 |
| 5 | TGMC-Z-E4 | 99.97%@0.3μm | 762 | 610 | 150 | 35.0 | 2100 | 249 |
| 6 | TGMC-Z-E4 | 99.97%@0.3μm | 915 | 610 | 150 | 42.5 | 2550 | 249 |
| 7 | TGMC-Z-E4 | 99.97%@0.3μm | 1220 | 610 | 150 | 57.5 | 3450 | 249 |
| 8 | TGMC-Z-E4 | 99.97%@0.3μm | 1500 | 760 | 150 | 90.0 | 5400 | 249 |
| 9 | TGMC-Z-E42 | 99.97%@0.3μm | 305 | 305 | 290 | 8.5 | 510 | 249 |
| 10 | TGMC-Z-E42 | 99.97%@0.3μm | 305 | 610 | 290 | 19.0 | 1140 | 249 |
| 11 | TGMC-Z-E42 | 99.97%@0.3μm | 457 | 610 | 290 | 30.0 | 1800 | 249 |
| 12 | TGMC-41-E42 | 99.97%@0.3μm | 610 | 610 | 290 | 41.0 | 2460 | 249 |
| 13 | TGMC-51-E42 | 99.97%@0.3μm | 760 | 610 | 290 | 51.0 | 3060 | 249 |
| 14 | TGMC-Z-E42 | 99.97%@0.3μm | 1500 | 760 | 290 | 132.0 | 7920 | 249 |
| 15 | TGMC-50-E42T | 99.97%@0.3μm | 610 | 610 | 290 | 50 | 3000 | 249±20 |
| 16 | TGMC-62-E42T | 99.97%@0.3μm | 760 | 610 | 290 | 62 | 3720 | 249±20 |
| 17 | TGMC-56-E48T | 99.97%@0.3μm | 610 | 610 | 290 | 56 | 3360 | 285 |
คำอธิบายโดยละเอียด
TGMC รวมสองสเปกหลักคือ TG (สารอินทรีย์ต่ำ) กับ BG (โบรอนต่ำ) ไว้ด้วยกัน โครงสร้างแบบแผ่นคั่นให้อัตราลมสูง ออกแบบสำหรับระบบในโรงงานเวเฟอร์ต่ำกว่า 14nm ที่ต้องการอัตราลมสูงและไวต่อ AMC ทั้งสองชนิด
วัสดุและโครงสร้าง
| รายการ | ข้อกำหนด |
|---|---|
| กรอบ | ALUMINUM |
| วัสดุกรอง | GLASS PAPER |
| อุณหภูมิใช้งานสูงสุด | 60°C |
| ความชื้นสัมพัทธ์ | 60%RH |
| แผ่นคั่น | ALUMINUM |
| ปะเก็น | EPDM |
| ตะแกรงป้องกันด้านลมออก | - |
| ตะแกรงป้องกันด้านลมเข้า | - |
| กาวซีล | POLYURETHANE RESIN |
| อัตราลมสูงสุด | Can be calculated on request |
| ความดันตกคร่อมช่วงปลายสูงสุด | 498 |
Airflow vs Pressure Drop (representative)
พื้นที่การใช้งาน
- AHU อัตราลมสูงของโรงงานเวเฟอร์ต่ำกว่า 14nm - บริเวณรอบเครื่องลิโทกราฟี EUV/DUV - ระบบปรับอากาศรวมศูนย์ของโซนเคลือบโฟโตรีซิสต์ข้อแนะนำในการเลือกรุ่น
- รุ่นมินิพลีท → TGML (ความดันตกคร่อมต่ำ) - ต้องการเพียงโบรอนต่ำ → BGMC จะประหยัดกว่า - ต้องการเพียงสารอินทรีย์ต่ำ → ติดต่อเพื่อสั่งทำพิเศษข้อมูลอ้างอิงสำหรับการเลือกใช้
ก่อนสั่งซื้อ โปรดตรวจสอบระดับประสิทธิภาพ ชนิดของวัสดุกรอง และสภาพแวดล้อมการใช้งานว่าตรงกับความต้องการของคุณหรือไม่
