BGMML 低硼 ULPA 濾網

產品概述

BGMML 為低硼（Low-Boron）Mini-pleats 型 ULPA 濾網，效率 99.9995% @ 0.1-0.2 μm。採用低硼玻纖濾材，避免濾網本體釋放硼化合物污染半導體製程，為 14nm 以下先進製程的標配。主要特色・ULPA 效率 99.9995% @ 0.1-0.2 μm ・低硼玻纖濾材（< 10 ppm B）・Mini-pleats 結構（低壓損）・14nm 以下製程標配適用產業：醫療、製藥、電子

產品特性

編號	型號	過濾效率	W (mm)	H (mm)	D (mm)	風量 (CMM)	風量 (CMH)	初期壓損 (Pa)
1	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	305	305	65	2.0	120	147
2	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	305	610	65	4.5	270	147
3	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	457	457	65	5.0	300	147
4	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	610	610	65	10.0	598	147
5	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	762	610	65	12.5	750	147
6	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	915	610	65	15.0	900	147
7	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	1220	610	65	20.5	1230	147
8	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	1500	1220	65	52.5	3150	147
9	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	305	305	98	2.0	120	118
10	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	305	610	98	4.5	270	118
11	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	457	457	98	5.0	300	118
12	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	610	610	98	10.0	598	118
13	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	762	610	98	12.5	750	118
14	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	915	610	98	15.0	900	118
15	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	1500	1220	98	52.5	3150	118

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電話：(02) 2598-1958

詳細說明

BGMML 專為半導體先進製程（14nm 以下）設計。標準 ULPA 濾材中的硼可能於高純氣流中析出，造成 P-type 摻雜污染；BGMML 採用低硼玻纖，硼釋放量 < 10 ppm。

材質與結構

項目	規格
框架	ALUMINUM
濾材	GLASS PAPER
最高使用溫度	60°C
相對濕度	60%RH
分隔板	HOT MELT ADHESIVE
墊片	CHLOROPRENE
出風護網	-
進風護網	-
密封膠	POLYURETHANE RESIN
最大風量	Can be calculated on request
最大終期壓損	294 (245 when H>760)