BGMML 低ボロン ULPA フィルター

製品概要

BGMML は低ボロン（Low-Boron）ミニプリーツ型 ULPA フィルターで、捕集効率 99.9995% @ 0.1-0.2 μm。低ボロンガラス繊維濾材の採用により、フィルター由来のボロン汚染を防止、14nm 以下先端プロセスの標準仕様となっています。主な特長・ULPA 99.9995% @ 0.1-0.2 μm ・低ボロンガラス繊維濾材（< 10 ppm B）・ミニプリーツ構造（低圧損）・14nm 以下先端プロセス標準仕様対象業界：医療、医薬、電子

特長・仕様

No.	型式	捕集効率	W (mm)	H (mm)	D (mm)	風量 (CMM)	風量 (CMH)	初期圧損 (Pa)
1	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	305	305	65	2.0	120	147
2	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	305	610	65	4.5	270	147
3	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	457	457	65	5.0	300	147
4	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	610	610	65	10.0	598	147
5	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	762	610	65	12.5	750	147
6	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	915	610	65	15.0	900	147
7	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	1220	610	65	20.5	1230	147
8	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	1500	1220	65	52.5	3150	147
9	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	305	305	98	2.0	120	118
10	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	305	610	98	4.5	270	118
11	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	457	457	98	5.0	300	118
12	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	610	610	98	10.0	598	118
13	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	762	610	98	12.5	750	118
14	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	915	610	98	15.0	900	118
15	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	1500	1220	98	52.5	3150	118

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詳細説明

BGMML は半導体先端ノード（≤14 nm）向けに設計。標準 ULPA 濾材中のボロンは高純度気流下でアウトガスし、P 型ドーピング汚染を引起す可能性があります；BGMML は低ボロンガラス繊維（<10 ppm B 放出）を採用。

材質と構造

項目	仕様
フレーム	ALUMINUM
濾材	GLASS PAPER
最高使用温度	60°C
相対湿度	60%RH
セパレーター	HOT MELT ADHESIVE
ガスケット	CHLOROPRENE
グリル（下流）	-
グリル（上流）	-
シール剤	POLYURETHANE RESIN
最大風量	Can be calculated on request
最大終期圧損 (Pa)	294 (245 when H>760)