Nouvelle TGMML 低有機物/低硼 ULPA 濾網

產品概述

TGMML 為低有機物＋低硼（Low-Organic / Low-Boron）的 Mini-pleats 型 ULPA 濾網，效率 99.9995% @ 0.1 μm。同時控制濾網本體的有機物與硼釋放量，為半導體前沿製程與光阻敏感區域的最高等級 ULPA。主要特色・ULPA 效率 99.9995% @ 0.1 μm ・同時低有機物＋低硼・Mini-pleats 結構（低壓損）・14nm 以下 AMC 敏感區標配適用產業：醫療、製藥、電子

產品特性

編號	型號	過濾效率	W (mm)	H (mm)	D (mm)	風量 (CMM)	風量 (CMH)	初期壓損 (Pa)
1	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	305	305	65	2.0	120	147
2	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	305	610	65	4.5	270	147
3	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	457	457	65	5.0	300	147
4	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	610	610	65	10.0	598	147
5	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	762	610	65	12.5	750	147
6	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	915	610	65	15.0	900	147
7	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	1220	610	65	20.5	1230	147
8	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	1500	915	65	39.0	2340	147
9	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	305	305	98	2.0	120	118
10	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	305	610	98	4.5	270	118
11	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	457	457	98	5.5	328	118
12	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	610	610	98	10.0	600	118
13	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	762	610	98	12.5	750	118
14	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	915	610	98	15.5	930	118
15	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	1500	915	98	39.5	2370	118

LINE @baisheng

Email：sales@baisheng-tech.com

電話：(02) 2598-1958

詳細說明

TGMML 同時解決半導體廠最關注的兩種 AMC（氨基甲酸鹽類有機物、硼）。適用於微影機台周邊、光阻塗佈區等對有機與硼都敏感的環境。

材質與結構

項目	規格
框架	ALUMINUM
濾材	GLASS PAPER
最高使用溫度	60°C
相對濕度	60%RH
分隔板	HOT MELT ADHESIVE
墊片	EPDM
出風護網	-
進風護網	-
密封膠	POLYURETHANE RESIN
最大風量	Can be calculated on request
最大終期壓損	294