Nouvelle TGMML 低有機物/低ボロン ULPA フィルター

製品概要

TGMML は低有機物＋低ボロンのミニプリーツ型 ULPA フィルターで、捕集効率 99.9995% @ 0.1 μm。有機物とボロンのアウトガスを同時に制御、半導体先端プロセス・フォトレジスト敏感区向けの最高等級 ULPA です。主な特長・ULPA 99.9995% @ 0.1 μm ・低有機物＋低ボロンを同時実現・ミニプリーツ構造（低圧損）・14 nm 以下 AMC 敏感区域の標準対象業界：医療、医薬、電子

特長・仕様

No.	型式	捕集効率	W (mm)	H (mm)	D (mm)	風量 (CMM)	風量 (CMH)	初期圧損 (Pa)
1	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	305	305	65	2.0	120	147
2	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	305	610	65	4.5	270	147
3	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	457	457	65	5.0	300	147
4	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	610	610	65	10.0	598	147
5	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	762	610	65	12.5	750	147
6	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	915	610	65	15.0	900	147
7	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	1220	610	65	20.5	1230	147
8	TGMML-Z-E41	99.9995%@0.1μm	1500	915	65	39.0	2340	147
9	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	305	305	98	2.0	120	118
10	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	305	610	98	4.5	270	118
11	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	457	457	98	5.5	328	118
12	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	610	610	98	10.0	600	118
13	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	762	610	98	12.5	750	118
14	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	915	610	98	15.5	930	118
15	TGMML-Z-E38	99.9995%@0.1μm	1500	915	98	39.5	2370	118

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詳細説明

TGMML は半導体工場で最も重要な 2 つの AMC（アミン系有機物、ボロン）を同時に制御。リソグラフィ機周辺やフォトレジスト塗布・現像区など、両方に敏感な環境に使用されます。

材質と構造

項目	仕様
フレーム	ALUMINUM
濾材	GLASS PAPER
最高使用温度	60°C
相対湿度	60%RH
セパレーター	HOT MELT ADHESIVE
ガスケット	EPDM
グリル（下流）	-
グリル（上流）	-
シール剤	POLYURETHANE RESIN
最大風量	Can be calculated on request
最大終期圧損 (Pa)	294