クリーンルーム用ステンレス機器
クリーンルーム用ステンレス台車
製品概要
クリーンルーム台車で重要なのは積載量ではなく発塵量です。最大の発塵源はキャスターであり、軸受の摩耗も樹脂車輪による床面の擦れも粒子を生じます。したがって清浄区では専用の低発塵キャスターを用い、床材に合わせて車輪硬度を選定する必要があります。
積載物に応じて平板型、縁付き型、防振型、キャビネット型などに分かれます。ウェハーキャリア、フォトマスクボックス、シリコンインゴットなど高価で壊れやすい物品には、単に載せるのではなく固定する専用構造を用意しています。
特長・仕様
►**材質**：SUS 304 ステンレス（腐食環境では SUS 316 に変更可）
►**構造**：全溶接で死角なし、溶接ビードは平滑に研磨、汚れが溜まる隙間なし
►**表面処理**：研磨またはマット仕上げ。発塵せず、粉塵も堆積せず、清掃が容易
►**特注**：寸法、棚板枚数、キャスター、付属品はすべて現場要求に合わせて製作
►**代表的な仕様**：パンチング型・折畳式・背面ラック付き平台車、縁付き型・パイプ柵型台車、防振台車、自在防振台車、ボックス型防振台車、ウェハーキャリア台車、フォトマスクボックス台車、シリコンインゴット台車、シリコンディスク台車、ガラス板台車、CMP 水台車、ポンプ台車、気密キャビネット台車、引出し台車、アルミ形材キャビネット台車、溶液ボトル台車、重量ドラム移送台車、静電防止 PCB 基板ラック（縦置き／横置き）
