クリーンルーム用ステンレス機器
クリーンルーム用ラック
製品概要
クリーンルーム用ラックが担うのは一時保管と回転であり、長期倉庫保管ではありません。棚板は気流を通す必要があります。中実の棚板は下方に気流の死域を作り、そこに粒子が堆積するためです。したがって清浄区のラックはパンチング板や線網構造が主流となります。
積載量と収納物に応じて線網型、縁付き型、柵型、沈み込み多段型、重量キャンチレバー型などに分かれます。ウェハーキャリアとフォトマスクボックスには専用の搬送架と保管架があります。
特長・仕様
►**材質**：SUS 304 ステンレス（腐食環境では SUS 316 に変更可）
►**構造**：全溶接で死角なし、溶接ビードは平滑に研磨、汚れが溜まる隙間なし
►**表面処理**：研磨またはマット仕上げ。発塵せず、粉塵も堆積せず、清掃が容易
►**特注**：寸法、棚板枚数、キャスター、付属品はすべて現場要求に合わせて製作
►**代表的な仕様**：ウェハーキャリア搬送架、ウェハーキャリア保管架、縁付き型・柵型・角パイプ縁付きラック、沈み込み多段ラック、可動棚板型ラック、6 段線網ラック、柵付き線網ラック、静電防止縁付きラック、組立式粉体塗装ラック、縁付きアルミラック、フォトマスクボックス保管架（アルミ製）、ブラケット型ラック、重量キャンチレバーラック
