클린룸 선반
제품 개요
제품 특성
상세 설명
선반판을 타공판이나 와이어 메시로 만드는 이유
수직 단방향류 클린룸에서는 기류가 천장에서 아래로 공급되어 바닥이나 측벽으로 리턴됩니다. 막힌 선반판은 기류 경로에 가림판을 하나 놓은 것과 같아서 판 아래에 저속 와류 구역이 생기고, 입자가 그곳에 가라앉으면 기류에 실려 나가지 않습니다. 타공판과 와이어 메시는 기류를 통과시켜 선반판 아래에서도 환기가 유지됩니다. 대신 하중이 낮고 작은 물건이 구멍으로 떨어지므로, 중량물과 낱개 부품에는 트레이를 따로 두어야 하며 선반 전체를 다시 막힌 판으로 바꾸는 것은 답이 아닙니다.GMP의 관점에서 선반은 '돌출물'입니다
EU GMP Annex 1(2022) §4.6은 청정 구역에서 청소하기 어려운 오목한 곳을 피하고, 돌출된 선반, 캐비닛, 설비를 최소화할 것을 요구합니다. 이 문장이 선반 계획에 주는 의미는 분명합니다. 청정 구역에는 '곧 쓸 물건'만 두고 장기 재고는 구역 밖에 둡니다. 실무에서는 세 가지 질문으로 걸러 볼 수 있습니다. 이 물건은 얼마 안에 쓰는가? 구역 밖에 두면 작업에 지장이 있는가? 이 선반을 매일 닦는 담당자가 있는가? 세 답이 모두 부정에 가깝다면 그 선반은 청정 구역에 들여서는 안 됩니다. 선반 수가 적을수록 청소와 감사의 부담도 함께 줄어듭니다.용도에 따라 고르기
| 용도 | 해당 형식 | 설계 중점 |
|---|---|---|
| 일반 회전, 가벼운 물건 | 6단 와이어 메시 선반, 울타리형 와이어 메시 선반 | 통기성이 가장 좋고, 낱개 부품은 트레이에 담음 |
| 미끄러짐 방지 | 테두리형, 울타리형, 테두리형 각관 선반 | 턱 높이는 물건에 따라 정하고, 안쪽 모서리는 닦기 쉬워야 함 |
| 웨이퍼 카세트, 포토마스크 박스 | 웨이퍼 카세트 이송대, 웨이퍼 카세트 보관대, 포토마스크 박스 보관대 | 박스 외형에 맞춰 위치를 잡아 꺼내고 넣을 때 서로 부딪히지 않음 |
| 단 간격이 자주 바뀜 | 이동 선반판형, 다운형 다층 선반 | 선반판을 조절해 높이가 다른 물건에 대응 |
| 긴 자재, 중하중 | 중량 캔틸레버 선반, 캔틸레버 브래킷 선반 | 캔틸레버가 하중을 받아 긴 자재가 여러 단에 걸치지 않음 |
| ESD 민감 물건 | 정전기 방지 테두리형 선반 | 접지가 필요하며 주기적으로 측정 |
스테인리스, 알루미늄, 도장의 선택
스테인리스: 소독제에 강하고 벗겨질 도막이 없어, 청정 등급이 높은 구역의 기본 선택입니다. 알루미늄: 가볍고 옮기기 쉬워 포토마스크 박스 보관대에 알루미늄 버전이 많이 쓰입니다. 표면이 스테인리스보다 무르기 때문에 부딪히면 긁힌 자국이 남기 쉽습니다. 도장: 비용이 가장 낮지만 소지가 탄소강이어서, 도막이 긁혀 소지가 드러나면 그 부분부터 녹이 슬고 떨어진 부스러기도 입자원이 됩니다. 청정 등급 요구가 비교적 느슨하고 소독제로 자주 닦지 않는 구역에 적합합니다.배치 위치도 기류에 영향을 줍니다
선반을 측벽에 바짝 붙이면 측벽 아래쪽 리턴 그릴을 막아 방 전체의 기류 경로가 바뀔 수 있고, 선반이 너무 높고 촘촘하면 천장 급기와 바닥 사이에 벽이 하나 생깁니다. 평면 계획 단계에서 리턴 그릴 위치를 표시하고 선반과 리턴 그릴 사이에 통로를 남겨야 하며, 설비가 반입된 뒤에야 둘 곳이 없다는 것을 알게 되어서는 안 됩니다.청소: 선반 밑 바닥이 가장 자주 빠집니다
선반에서 가장 청소하기 어려운 곳은 선반판이 아니라 맨 아래 단과 바닥 사이의 공간입니다. 맨 아래 단이 바닥에서 너무 낮으면 걸레나 닦기 도구가 들어가지 못해 선반 밑에 먼지가 오랫동안 쌓입니다. 계획할 때 맨 아래 단과 바닥 사이에 충분한 청소 공간을 두거나, 캐스터를 단 이동식 선반으로 바꿔 청소할 때 통째로 밀어 내십시오. 캐스터를 다는 대가는 선반이 움직이는 물건이 된다는 점입니다. 캐스터는 청정 구역용 저발진 바퀴와 밀폐 베어링을 고르고, 평소에는 브레이크를 걸어 사람이 부딪혀도 선반 전체가 미끄러지지 않게 합니다.자주 묻는 질문
타공 선반판은 하중이 낮은데, 무거운 물건은 어떻게 두나요?
무거운 물건은 맨 아래 단에 두거나 중량 캔틸레버 선반을 쓰고, 위쪽 단의 타공판이나 와이어 메시에는 올리지 마십시오. 특정 단에 정말 하중이 필요하다면 그 단만 두꺼운 막힌 판으로 바꾸고 나머지 단은 타공판이나 와이어 메시로 유지해 기류의 통로를 남깁니다. 낱개 부품과 작은 부품은 트레이나 박스에 담아 선반에 올려 구멍으로 떨어지지 않게 합니다. 선반판의 스팬이 길수록 하중이 낮아지므로, 중량물 단은 스팬을 줄이거나 가운데에 지지대를 더할 수 있습니다.
클린룸 선반을 벽에 붙여 두어도 되나요?
먼저 벽에 리턴 그릴이 있는지 확인해야 합니다. 측벽 아래쪽으로 리턴하는 클린룸에서는 선반을 벽에 붙이면 리턴 그릴을 직접 막아 방의 기류 경로가 바뀌고 국부적인 사각지대가 생깁니다. 평면도에 리턴 그릴 위치를 표시하고 선반이 이를 피하거나 벽면과의 사이에 통로를 남기도록 합니다. 벽에 리턴 그릴이 없다면 선반을 벽에 붙여도 되지만, 아래쪽과 뒷면에는 여전히 청소 공간을 남겨 벽 모서리가 닦을 수 없는 곳이 되지 않게 하십시오.
웨이퍼 카세트 보관대와 일반 테두리형 선반은 무엇이 다른가요?
위치 결정이 다릅니다. 일반 테두리형 선반은 물건이 미끄러져 떨어지는 것만 막을 뿐, 박스는 선반판 위에서 여전히 움직이고 서로 부딪힐 수 있습니다. 웨이퍼 카세트 보관대는 박스의 외형과 치수에 맞춰 위치를 잡아 박스마다 정해진 자리가 있으므로, 꺼내고 넣을 때 옆 박스를 밀지 않고 재고 확인과 선입선출도 쉽습니다. 웨이퍼 카세트 이송대는 이를 옮길 수 있게 만든 것으로, 공정 스테이션 사이의 회전에 씁니다. 주문 제작할 때는 박스의 모델명이나 외형 치수를 알려 주셔야 합니다.
