클린룸 스테인리스 장비
클린룸 선반
제품 개요
클린룸 선반이 맡는 것은 임시 보관과 회전이지 장기 창고 보관이 아닙니다. 선반 판은 기류가 통과할 수 있어야 합니다. 막힌 판은 아래쪽에 기류 사각지대를 만들어 입자가 가라앉아 쌓이게 하므로, 청정 구역의 선반은 대부분 타공판이나 와이어 메시 구조를 씁니다.
하중과 물건에 따라 와이어 메시형, 테두리형, 울타리형, 다운형 다층, 중량 캔틸레버 등으로 나뉩니다. 웨이퍼 카세트와 포토마스크 박스에는 전용 이송대와 보관대가 따로 있습니다.
제품 특성
►**Material**:SUS 304 stainless steel (SUS 316 available for corrosive environments)
►**Construction**:fully welded without dead corners, welds ground flush, no crevices to trap contamination
►**Surface finish**:polished or matt finish; generates no particles, retains no dust, easy to clean
►**Customisation**:dimensions, shelf count, castors and fittings all made to site requirements
►**Common configurations**:Wafer carrier transfer rack, wafer carrier storage rack、Lipped-edge, railed and square-tube lipped shelving、Recessed multi-tier shelving, adjustable-shelf shelving、Six-tier wire shelving, railed wire shelving、Antistatic lipped-edge shelving、Modular powder-coated shelving, lipped aluminium shelving、Photomask box storage rack (aluminium)、Bracket-arm shelving, heavy-duty cantilever racking






