클린룸 스테인리스 장비
클린룸 선반
제품 개요
클린룸 선반이 맡는 것은 임시 보관과 회전이지 장기 창고 보관이 아닙니다. 선반 판은 기류가 통과할 수 있어야 합니다. 막힌 판은 아래쪽에 기류 사각지대를 만들어 입자가 가라앉아 쌓이게 하므로, 청정 구역의 선반은 대부분 타공판이나 와이어 메시 구조를 씁니다.
하중과 물건에 따라 와이어 메시형, 테두리형, 울타리형, 다운형 다층, 중량 캔틸레버 등으로 나뉩니다. 웨이퍼 카세트와 포토마스크 박스에는 전용 이송대와 보관대가 따로 있습니다.
제품 특성
►재질: SUS 304 스테인리스(부식 환경에서는 SUS 316으로 변경 가능)
►구조: 전면 용접으로 사각지대 없음, 용접선을 평평하게 연마, 오염이 낄 틈 없음
►표면 처리: 연마 또는 무광 처리, 발진 없음, 분진 쌓임 없음, 청소 용이
►주문제작: 치수, 선반 수, 바퀴 조립체, 부속품을 모두 현장 요구에 맞춰 제작
►대표 형식: 웨이퍼 카세트 이송대, 웨이퍼 카세트 보관대, 테두리형, 울타리형, 테두리형 각관 선반, 다운형 다층 선반, 이동 선반판형 선반, 6단 와이어 메시 선반, 울타리형 와이어 메시 선반, 정전기 방지 테두리형 선반, 조합식 도장 선반, 테두리형 알루미늄 선반, 포토마스크 박스 보관대(알루미늄 버전), 캔틸레버 브래킷 선반, 중량 캔틸레버 선반
