클린룸 스테인리스 및 내약품 장비
PP 내산·내알칼리 카트
제품 개요
PP 내산·내알칼리 카트는 습식 공정 구역에서 약액, 세정 바스켓, 처리 대기 공작물을 운반하는 데 씁니다. 전체를 PP로 용접 성형해 산성 미스트 속에서 녹슬 금속 부품이 없고, 녹 때문에 청정 구역에 녹가루가 생기지도 않습니다. 운반하는 물건에 따라 웨이퍼 이송, 방진, 용액, 침지, 각관, 다각형, 캐비닛형, 서랍형, 박스형, 수조차 등의 형식으로 나뉘며, 석영관 카트와 건조대도 있습니다.
같은 시리즈에는 PP 퍼니스 튜브·석영 카트(퍼니스 튜브 외경에 맞춘 곡면 받침), 포토레지스트 카트와 2단 카트, 그리고 PP 선반, 내산·내알칼리 작업대, 계측기대, 세정 바스켓도 있습니다. 세정 바스켓은 원통형, 박스형, 프레임형, 실리콘 잉곳형으로 나뉘며, 산조에 바로 넣을 수 있고 금속 바스켓처럼 부식되어 금속 이온을 세정액에 끌어들이지 않습니다.
제품 특성
►재질: 수입 자기백색 폴리프로필렌(PP) 판, 동질 PP 용접봉으로 이음매 없이 용접, 금속 부품 없음
►캐스터: 내산·내알칼리 재질의 바퀴와 베어링 사용
►카트 형식: 내산·내알칼리 웨이퍼 이송 카트, 방진 카트, 내산·내알칼리 용액 카트, 용액 침지차, 내산·내알칼리 각관 카트, 다각형 카트, 내산·내알칼리 캐비닛형 카트, 서랍형 카트, 박스형 카트, 내산·내알칼리 석영관 카트, 석영관 건조대, 내산·내알칼리 수조차
►퍼니스 튜브·석영 및 포토레지스트 운반: PP 퍼니스 튜브·석영 카트(곡면 받침), PP 2단 카트, PP 포토레지스트 카트, PP 2단 작업대
►선반·작업대: 내산·내알칼리 각관 선반, 이동 선반판 선반, 내산·내알칼리 작업대, 내산·내알칼리 계측기대, 하부 고무 조절 발
►세정 바스켓: 내산·내알칼리 원통형, 박스형, 프레임형, 실리콘 잉곳 세정 바스켓
►주문제작: 치수, 판 두께, 단수, 테두리 높이, 받침 곡면 반경, 문 개수와 문 열림 방향
►참고 문서: NRC 『Prudent Practices in the Laboratory』(2011) §6.C.4
상세 설명
습식 공정 구역 카트의 두 적: 녹과 액 떨어짐
건식 구역의 카트가 가장 꺼리는 것은 발진이고, 습식 공정 구역의 카트가 가장 꺼리는 것은 부식과 액 떨어짐입니다. 게다가 이 두 문제는 서로를 키웁니다. 금속 부품이 부식되면 녹가루가 생기고, 녹가루가 약액조에 떨어져 공정을 오염시키며, 약액이 바닥에 떨어지면 다음 부식을 다시 앞당깁니다. 전 PP 구조는 금속을 완전히 배제하여 이 순환을 근원에서 끊습니다. 가장 간과하기 쉬운 것은 캐스터입니다. 차체는 PP인데 바퀴는 일반 금속 베어링이면 몇 달 만에 굳어 버리므로, 구매할 때 바퀴와 베어링의 재질도 사양에 함께 넣어야 합니다.화학물질 운반: 카트 자체가 격납 장치입니다
『Prudent Practices in the Laboratory』 §6.C.4는 화학물질을 운반할 때 깨지지 않는 2차 격납 용기만 쓰도록 요구합니다. 카트의 테두리와 바닥판이 바로 일종의 격납 장치입니다. 밀고 가는 도중 병이 넘어지거나 깨져도 액체는 바닥으로 흘러내리지 않고 카트 위에 머물러야 합니다. 미국 대학의 안전 지침은 세부 사항을 더 구체적으로 다룹니다. UC Berkeley는 서로 혼합하면 안 되는 화학물질을 같은 격납 용기에 두어서는 안 된다고 하고, Boston University는 카트 네 변에 적어도 2인치(약 5 cm)의 테두리를 두도록 권장합니다. 이 두 가지를 카트 설계에 반영하면 테두리가 충분히 높아야 한다는 것과 칸막이나 별도 트레이로 산과 알칼리, 산화성 산과 유기물을 분리해야 한다는 것이 됩니다. 용액 카트와 침지차는 무게 중심도 살펴야 합니다. 약액을 가득 담은 용기는 무게 중심이 높고 액체가 출렁이므로, 밀고 갈 때의 관성이 마른 자재보다 훨씬 큽니다. 무거운 것은 아래층에, 가벼운 것은 위층에 두고, 밀고 갈 때 급정지를 피하십시오.퍼니스 튜브·석영 카트: 곡면 받침으로 응력을 분산합니다
퍼니스 튜브와 석영 부품은 길고 무겁고 깨지기 쉬워서, 일반 카트로 운반하면 밀고 갈 때의 진동만으로도 숨은 균열이 생길 수 있습니다. 석영관을 평판 위에 올리면 접촉면이 두 줄뿐이라 관 전체의 무게가 그 두 줄에 몰리고, 여기에 진동이 겹치면 숨은 균열의 원인이 됩니다. 숨은 균열은 겉으로 보이지 않다가 로에 넣어 온도를 올린 뒤에야 깨지며, 그때 잃는 것은 석영관만이 아니라 그 로에 든 제품 전체입니다. PP 퍼니스 튜브·석영 카트의 적재대는 퍼니스 튜브 외경에 맞춰 곡면 받침을 만들어 관 몸통이 곡면을 따라 밀착하게 합니다. 접촉면이 선에서 면으로 바뀌어 응력이 분산되며, 받침도 PP라서 단단한 접촉점이 국부적인 압손을 일으키지 않습니다. 아무리 좋은 받침도 급제동의 관성 충격은 막지 못하므로 밀고 가는 속도도 작업 규정에 넣어야 합니다. 포토레지스트 카트와 2단 작업대는 옐로룸과 습식 공정 구역 사이의 자재 순환에 씁니다.PP 선반, 작업대, 세정 바스켓
PP 선반은 세정을 마친 웨이퍼 부품과 지그를 두는 데 쓰며, 전체가 이음매 없이 용접되어 있고 하부에 고무 조절 발이 있어 바닥의 요철을 흡수할 수 있습니다. 세정 바스켓의 핵심은 금속 이온입니다. 반도체 세정의 목적 가운데 하나가 금속 이온 제거인데, 금속 바스켓을 쓰면 씻으면서 동시에 오염시키는 셈입니다. 원통형: 원기둥 형태의 부품이나 소형 부품을 담습니다. 박스형: 낱개 부품을 모아 세정하며, 바닥과 측면에 구멍을 뚫어 약액이 흐르게 합니다. 프레임형: 판상 또는 대형 공작물용으로, 프레임이 지지하여 접촉면이 적습니다. 실리콘 잉곳형: 실리콘 잉곳 외경에 맞춰 지지하여 구르거나 부딪히는 것을 막습니다. PP 바스켓의 한계는 내열성입니다. 조 온도가 PP의 사용 상한에 가까우면 바스켓이 연화되어 변형되므로, 고온 공정에서는 먼저 조 온도가 PP의 사용 범위 안에 있는지 확인해야 합니다(PP의 내열성 설명은 PP 실험대 페이지 참조).PP 카트와 세정 바스켓의 일상 점검
PP 카트와 세정 바스켓은 용접 비드로 연결되어 있어 용접 품질이 수명을 좌우합니다. 약액에 닿은 뒤에는 순수로 헹궈 잔류 산이 모서리에 농축되지 않게 하고, 용접부에 미세 균열이 없는지, 모서리가 변색되거나 변형되지 않았는지 정기적으로 점검하십시오. 세정 바스켓은 특히 바닥과 손잡이의 용접점을 봐야 하는데, 그곳이 바스켓에 가득 담긴 공작물의 무게를 받기 때문입니다. 균열을 발견하면 사용을 멈추고 보수하십시오. 산조 안에서 끊어질 때까지 기다려서는 안 됩니다.자주 묻는 질문
약액을 운반하는 PP 카트의 테두리는 얼마나 높아야 하나요?
적어도 병이 넘어졌을 때 액체가 카트 밖으로 넘치지 않을 높이여야 합니다. Boston University의 안전 지침은 카트 네 변에 적어도 2인치(약 5 cm)의 테두리를 두도록 권장하며, 이를 하한으로 삼을 수 있습니다. 실제 높이는 싣는 용기 크기에 따라 조정해야 하며, 큰 병이나 드럼은 더 높게 하거나 전체가 트레이 형태인 용액 카트를 쓰는 것이 좋습니다. 테두리와 바닥판은 틈 없이 연속 용접해야 쏟아진 액체가 카트 위에 머무르며, 카트 안에서는 칸막이로 용기를 서로 떼어 놓아 병끼리 부딪혀 넘어지지 않게 합니다.
산과 알칼리를 같은 PP 카트로 함께 운반해도 되나요?
같은 격납 공간에 두지 마십시오. UC Berkeley의 지침은 서로 혼합하면 안 되는 화학물질을 같은 격납 용기에 두어서는 안 된다고 하는데, 한 병이 깨지면 흘러나온 액체가 다른 병과 접촉하기 때문입니다. 『Prudent Practices』도 질산과 과염소산을 산화제로, 아세트산을 유기산으로 분류하므로 이들도 함께 두어서는 안 됩니다. 카트의 칸막이나 독립 트레이로 분리하거나, 아예 두 번에 나누어 두 대의 카트로 운반하십시오.
퍼니스 튜브·석영 카트의 곡면 받침은 어떤 치수에 맞춰 주문 제작하나요?
퍼니스 튜브나 석영관의 외경과 길이에 맞춥니다. 받침의 곡면이 관 몸통에 밀착해야 접촉면이 두 줄에서 하나의 면으로 바뀌어 무게가 분산됩니다. 곡면 반경이 너무 크면 관이 받침 위에서 구르고, 너무 작으면 가장자리만 닿아 오히려 응력이 집중됩니다. 긴 관은 길이에 따라 받침 개수와 간격을 정해 관 몸통이 너무 길게 떠 있지 않게 해야 합니다. 주문하실 때는 관의 외경, 길이, 무게와 함께, 한 카트에 서로 다른 치수의 관을 실을지도 알려 주십시오.
