CDS 약액 공급 시스템
제품 개요
제품 특성
상세 설명
CDS가 담당하는 구간
CDS가 맡는 것은 화학품 드럼·탱크(또는 탱크로리로 충전하는 저장 탱크)에서 공정 장비의 사용 지점까지 이어지는 이송 구간 전체입니다. 공급 유닛이 드럼·탱크에서 화학품을 뽑아 가압하거나 계량한 뒤, 주 배관을 거쳐 각 구역의 밸브 매니폴드 박스로 보내고, 다시 장비 한 대 한 대로 분배합니다. 반도체 업계에는 이 구간에 관한 SEMI 문서들이 있으며, 제목만 봐도 각각의 범위를 알 수 있습니다. SEMI F31은 벌크 화학품 공급 시스템, F39는 화학품 블렌딩(blending), F57은 화학품 공급에 쓰이는 고순도 폴리머 재료와 부품, S2는 반도체 제조 장비의 환경·보건·안전 가이드라인, S6은 배기, S14는 화재 위험 평가를 다룹니다. 계획할 때는 배관이 도면상 이어지는지만 볼 것이 아니라 이 범위에 따라 항목별로 확인할 수 있습니다.FM Global의 설계 권고
보험사 FM Global의 데이터 시트 DS 7-7(반도체 공장) §2.9.4–2.9.5에는 화학품 공급에 관한 구체적인 권고가 있어 설계 체크리스트로 쓸 수 있습니다: 이중관: 부식성 액체의 이송 배관은 이중관으로 하여, 내관이 파손되면 외관이 먼저 받아 냅니다. 이중 격납: 공급 유닛 자체에 이중 격납을 갖춥니다. 누출 인터록: 누출 감지는 경고등만 켜는 것이 아니라 공급 차단과 연동되고 동시에 경보를 내야 합니다. 비상 차단: 화학품을 사용하는 모든 장비에 비상 차단 장치를 둡니다. 전용 충전 커넥터: 화학품마다 전용 충전 커넥터를 써서 구조적으로 잘못 연결하는 일을 막습니다. 밸브 박스 재질: 밸브 매니폴드 박스(VMB)에는 FM 4910 플라스틱을 사용합니다. 마지막 항목은 특히 주의해야 합니다. 일반 PP는 FM 4910 재료가 아닙니다. 공장이 FM 체계의 보험에 가입되어 있다면 밸브 매니폴드 박스와 관련 플라스틱 부품에 FM 4910 등재 판재를 지정하고, 구매할 때 증빙 서류를 요구해야 합니다.두 겹의 보호, 감지 시점이 다릅니다
누액 감지는 '이미 샌' 상황을 맡습니다. 배관 트렌치, 설비 하부 받침판, 탱크 구역에 센서를 두어 액체를 감지하는 즉시 차단과 경보를 작동시킵니다. 감시 시스템은 '아직 새지는 않았지만 곧 샐' 상황을 맡습니다. 유량, 압력, 액위를 계속 지켜보며, 예를 들어 압력이 서서히 떨어지거나 유량이 사용량과 맞지 않는 등의 이상 추세를 누출이 커지기 전에 경보로 알립니다. 둘 중 어느 하나도 빠질 수 없습니다. 누액 감지만 있으면 사후 수습밖에 할 수 없고, 감시 시스템만 있으면 갑작스러운 배관 파열에 제때 대응하지 못합니다.배관은 관경 관행이 아니라 사용량으로 계산합니다
CDS의 주 배관은 여러 장비에 동시에 공급해야 합니다. 관행대로 관경을 고르기만 하면, 다른 장비가 동시에 약액을 쓸 때 가장 먼 장비는 압력이 부족하고 유량이 불안정해져 공정에 영향을 주는 일이 흔합니다. 설계할 때는 사용 지점마다의 사용량과 동시 사용률에 따라 주 배관과 말단의 압력 손실과 유량을 계산하고, 나중에 사용 지점을 늘릴 여유를 남겨 두어야 합니다. 이것이 확장성의 실제 의미입니다. 이중관은 경로 설계에도 영향을 줍니다. 외관이 내관에서 샌 액체를 받아 낸 뒤, 그 액체가 센서가 있는 위치까지 흘러가야 합니다. 따라서 배관의 경사, 저점, 누액 감지 지점을 함께 계획해야 하며, 그렇지 않으면 외관 안에 액체가 고였는데 감지기는 반대쪽 끝에 달려 있는 일이 생깁니다.드럼 교체가 가장 사고가 잦은 순간입니다
시스템은 평소 밀폐되어 있고, 사람이 가장 많이 개입하는 때는 드럼 교체입니다. 이때 생길 수 있는 문제로는 다른 화학품 연결, 커넥터 체결 불량, 잔액 낙하 등이 있습니다. FM Global이 권고하는 전용 충전 커넥터는 바로 화학품별 커넥터를 구조적으로 서로 바꿔 끼울 수 없게 하는 것입니다. 일부 시스템은 이중 드럼 자동 전환 방식을 채택해, 한 드럼이 비면 자동으로 다른 드럼으로 넘어가 공급이 끊기지 않게 합니다. 이는 제조사의 설계 옵션이므로, 계획할 때 사용량과 가동 중단 비용에 따라 필요 여부를 평가할 수 있습니다.자주 묻는 질문
CDS의 밸브 매니폴드 박스에는 왜 일반 PP를 쓸 수 없습니까?
주된 이유는 화재 위험과 보험 요건입니다. FM Global 데이터 시트 DS 7-7은 밸브 매니폴드 박스(VMB)에 FM 4910 플라스틱을 사용하도록 권고합니다. FM 4910은 클린룸 재료의 연소성 시험으로, 합격 조건은 화염 전파 지수 FPI ≤ 6, 연기 손상 지수 SDI ≤ 0.4이며 일반 PP는 이를 충족하지 못합니다. 공장이 FM 체계의 보험에 가입되어 있다면 밸브 매니폴드 박스와 관련 플라스틱 부품에 FM 4910 등재 판재를 지정하고 증빙 서류를 요구해야 합니다. FM 체계에 속하지 않는 공장이라도 재료의 연소성을 평가 항목에 넣는 것을 권장합니다.
누출 감지가 작동한 뒤 시스템은 무엇을 해야 합니까?
FM Global DS 7-7의 권고에 따르면, 누출 감지는 해당 화학품의 공급 차단과 연동되고 동시에 경보를 내야 합니다. 화학품을 사용하는 장비마다 자체 비상 차단 장치도 있어야 합니다. 인수 검사 때는 실제로 모의 시험을 할 수 있습니다. 감지 지점에 물을 떨어뜨리거나 센서를 작동시켜, 공급 유닛이 설정 시간 안에 멈추는지, 경보가 중앙 제어실과 현장에 전달되는지, 그리고 이상이 사라졌다고 자동으로 공급이 재개되는 것이 아니라 복귀에 사람의 확인이 필요한지를 확인합니다.
장비를 추가할 때 기존 CDS 주 배관에 연결할 수 있습니까?
압력 손실과 유량을 다시 계산해야 합니다. 주 배관은 원래 기존 사용 지점의 사용량과 동시 사용률을 기준으로 설계했으므로, 장비를 추가하면 최대 사용량이 늘어나 동시에 약액을 쓸 때 가장 먼 장비의 압력이 부족해질 수 있습니다. 검토할 때는 새 장비의 사용량, 사용 시간대, 위치를 정리해 주 배관과 말단의 압력 손실을 다시 계산합니다. 원래 설계에 확장 여유를 남겨 두었다면 보통 밸브 매니폴드 박스에 분기를 추가하는 것으로 충분하지만, 그렇지 않다면 주 배관을 키우거나 밸브 매니폴드 박스를 추가로 설치해야 할 수 있습니다.
